一种应用于光学元件多表面检测的抗振方法技术

本发明专利技术涉及一种应用于光学元件多表面检测的抗振方法，该方法包括条纹图像筛选算法、图像相位修正算法，其特征在于，所述条纹图像筛选算法根据图像上若干空间点的灰度变化，分别计算各腔长产生信号的中心频率，计算多个信号的相位分布，并根据各个信号的相位分布计算得到其灰度理论变化曲线，继而通过排序法判定挑选灰度理论与实际灰度分布偏差最少的条纹图像(振动干扰较少)；所述图像相位修正算法根据相邻的两个采样空间点的相位偏差和空间几何位置进行相位图像的全域相位修正；本发明专利技术所述的光学元件多表面检测的抗振方法，可有效改善表面检测的相位图像质量，避免振动等外部环境因素带来的干扰和测量误差。境因素带来的干扰和测量误差。境因素带来的干扰和测量误差。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于光学元件多表面检测的抗振方法


[0001]本专利技术涉及光学元件的多表面检测技术(即MST技术)，特别是涉及一种应用于光学元件多表面检测的抗振方法。

技术介绍

[0002]在实际工程中，光学元件面形检测使用的最主要的方法是移相干涉法。但是在实际操作中，测量平行平晶等光学元件时，将发生多表面干涉的现象，而采用基于波长移相调谐的原理，针对不同厚度下的平行平晶设置不同的测试腔长，使待测平行平晶前后面反射波前形成的干涉条纹强度变化频率可以在频率区分开来，就可以使用快速傅里叶变换(FFT)算法，从多表面干涉条纹中提取出各个腔体两个表面的综合相位信息，进而通过计算得到待测表面的面形信息。
[0003]多表面测量激光干涉仪提供了一个前所未有的崭新的测量方式和能力，传统的激光干涉仪应用是测量两个面的波前变化，也就是说测量一个由两个面所形成的腔。但是，如果所测量的是一个没有经过镀膜的平行平板，则就会产生两个叠加的干涉条纹(三个腔所形成)，这样就会干扰标准的位相干涉测量分析。目前的多表面激光干涉仪，采用多表面检测技术，通过波长调制技术和傅立叶变换本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于光学元件多表面检测的抗振方法，该方法包括条纹图像筛选算法、图像相位修正算法，其特征在于，所述条纹图像筛选算法根据图像上若干空间点的灰度变化，分别计算各腔长产生信号的中心频率，计算多个信号的相位分布，并根据各个信号的相位分布计算得到其灰度理论变化曲线，继而通过排序法判定挑选灰度理论与实际灰度分布偏差最少的条纹图像(振动干扰较少)；所述图像相位修正算法根据相邻的两个采样空间点的相位偏差和空间几何位置进行相位图像的全域相位修正。2.根据权利要求1所述的条纹图像筛选算法，其特征在于，所述条纹图像筛选算法根据图像上若干空间点的灰度变化，分别计算各腔长产生信号的中心频率，计算多个信号的相位分布，并根据各个信号的相位分布计算得到其灰度理论...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝沛，李志松，翟天保，
申请(专利权)人：上海乾曜光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：