产品良率的评估方法技术

本发明专利技术提供了一种产品良率的评估方法，包括：从已经完成测试的产品中选出良率达标的产品，并提取产品各个参数的值，作为基准参数值，并制作成第一文件；从待分析良率的产品中提取各个参数的值，作为待评估参数值，并制作成第二文件；采用分析工具调用第一文件和第二文件，对待评估参数值和基准参数值进行比较，以形成良率评估报告，其中，选取单个待评估参数，将其与对应的基准参数值进行比较，以得到单个待评估参数的分析图。本发明专利技术提供的产品良率的评估方法代替了人工分析测试数据，减少了人力，提高了分析效率，同时，还能将多个参数的测试数据同时进行比较和分析。试数据同时进行比较和分析。试数据同时进行比较和分析。

【技术实现步骤摘要】
产品良率的评估方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其是涉及一种产品良率的评估方法。

技术介绍

[0002]在半导体器件制造工艺中，测试是保证器件出厂品质的重要环节，通过测试，能将制造过程中产生的一些残次品，或者性能不合格产品挑选出来，或者是通过测试，获知器件的性能参数，能对产品进行等级的区分。例如，在晶圆上形成多个器件，需要对形成的器件的功能进行测试。
[0003]当某一产品在量产之前，需要进行试产，从试产的产品上进行一些功能参数的测试，以判断功能参数是否达标，如果达标就可以进行量产，如果不能达标，则需要找出不能达标的原因，对制程或者采用的零件的质量进行改进。如果没有这一步，可能导致量产时出现大量的不良品，从而使得产品良率较低。
[0004]现有技术，在产品良率的分析过程中，每进行一项参数的测试，需要人工拉取测试数据，再采用分析软件或者计算软件，将测试数据进行分析，最后做成分析图。然而，如果需要测试的参数较多，则需要大量的人工，并且由于各项参数的测试结果是分开的，所以不方便多个参数的测试数据同时进行比较和分析。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种产品良率的评估方法，可以代替人工分析测试数据，减少人力，提高分析效率，同时，还可以将多个参数的测试数据同时进行比较和分析。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种产品良率的评估方法，包括：
[0007]从已经完成测试的产品中选出良率达标的产品，并提取所述产品各个参数的值，作为基准参数值，并制作成第一文件；
[0008]从待分析良率的产品中提取各个参数的值，作为待评估参数值，并制作成第二文件；
[0009]采用分析工具调用所述第一文件和第二文件，对待评估参数值和基准参数值进行比较，以形成良率评估报告，其中，选取单个待评估参数，将其与对应的基准参数值进行比较，以得到单个待评估参数的分析图。
[0010]可选的，在所述的产品良率的评估方法中，所述第一文件和第二文件均是excel格式的文件。
[0011]可选的，在所述的产品良率的评估方法中，采用分析工具调用所述第一文件和第二文件的方法包括：通过选择工单号和产品名称调用所述第一文件和第二文件。
[0012]可选的，在所述的产品良率的评估方法中，所述分析工具包括多个栏，通过对每个栏的操作以选择分析过程、分析参数和显示分析结果。
[0013]可选的，在所述的产品良率的评估方法中，所述分析图能展示在所述分析工具中。
[0014]可选的，在所述的产品良率的评估方法中，所述分析图为图表的形式。
[0015]可选的，在所述的产品良率的评估方法中，所述测试工具包括：lot ID选择栏，用于选择产品的lot ID；prod ID选择栏，用于选择产品的product ID；Import栏，用于输入所述第一文件或者第二文件；Method栏，用于选择采用的比较方法；BSL栏，用于显示基准参数值；NEW栏，用于显示待评估参数值；项目选择栏，用于选择分析报告的分析项目；参数分类栏，用于选择测试项目；参数选择栏，用于选择所述测试项目中的测试参数；参数对比结果栏，用于显示待评估参数值和基准参数值的比较结果；分析图展示栏，用于显示分析图。
[0016]可选的，在所述的产品良率的评估方法中，选取单个待评估参数，将其与对应的基准参数值进行比较，以得到单个待评估参数的分析图的方法包括：输入lot ID；输入product ID；导入第一文件和第二文件；分出基准参数值和待评估参数值；选择比较方式；选择需要分析的测试项目；拉取参数分类及对应参数；勾选需要分析的参数；点击计算；显示分析结果和分析图。
[0017]可选的，在所述的产品良率的评估方法中，所述测试项目包括：CP测试、BIN测试、Inline测试、WAT测试和lot打分测试。
[0018]可选的，在所述的产品良率的评估方法中，对待评估参数值和基准参数值进行比较的方法包括：基于HC数据统计方法的比较方法和基于CPK数据统计方法的比较方法。
[0019]在本专利技术提供的产品良率的评估方法中，产品良率的评估方法包括：从已经完成测试的产品中选出良率达标的产品，并提取产品各个参数的值，作为基准参数值，并制作成第一文件；从待分析良率的产品中提取各个参数的值，作为待评估参数值，并制作成第二文件；采用分析工具调用第一文件和第二文件，对待评估参数值和基准参数值进行比较，以形成良率评估报告，其中，选取单个待评估参数，将其与对应的基准参数值进行比较，以得到单个待评估参数的分析图。本专利技术提供的产品良率的评估方法代替了人工分析测试数据，减少了人力，提高了分析效率，同时，还能将多个参数的测试数据同时进行比较和分析。
附图说明
[0020]图1是本专利技术实施例的产品良率的评估方法的流程图；
[0021]图2是本专利技术实施例的测试工具的示意图。
具体实施方式
[0022]下面将结合示意图对本专利技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。
[0023]在下文中，术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。
[0024]请参照图1，本专利技术提供了一种产品良率的评估方法，包括：
[0025]S11：从已经完成测试的产品中选出良率达标的产品，并提取产品各个参数的值，作为基准参数值，并制作成第一文件；
[0026]S12：从待分析良率的产品中提取各个参数的值，作为待评估参数值，并制作成第二文件；
[0027]S13：采用分析工具调用第一文件和第二文件，对待评估参数值和基准参数值进行比较，以形成良率评估报告，其中，选取单个待评估参数，将其与对应的基准参数值进行比较，以得到单个待评估参数的分析图。
[0028]优选的，第一文件和第二文件均是excel格式的文件。采用分析工具调用第一文件和第二文件的方法包括：通过选择工单号和产品名称调用第一文件和第二文件。
[0029]优选的，分析工具包括多个栏，通过对每个栏的操作以选择分析过程、分析参数和显示分析结果。分析图能展示在分析工具中。
[0030]具体的，请参照图2，测试工具包括：lot ID选择栏，用于选择产品的lot ID；prod ID选择栏，用于选择产品的product ID；Import栏，用于输入第一文件或者第二文件，根据product ID和lot ID可以找到其对应的测试数据所在的第一文件或者第二文件；Method栏，用于选择采用的比较方法，本专利技术实施例的对待评估参数值和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种产品良率的评估方法，其特征在于，包括：从已经完成测试的产品中选出良率达标的产品，并提取所述产品各个参数的值，作为基准参数值，并制作成第一文件；从待分析良率的产品中提取各个参数的值，作为待评估参数值，并制作成第二文件；采用分析工具调用所述第一文件和第二文件，对待评估参数值和基准参数值进行比较，以形成良率评估报告，其中，选取单个待评估参数，将其与对应的基准参数值进行比较，以得到单个待评估参数的分析图。2.如权利要求1所述的产品良率的评估方法，其特征在于，所述第一文件和第二文件均是excel格式的文件。3.如权利要求1所述的产品良率的评估方法，其特征在于，采用分析工具调用所述第一文件和第二文件的方法包括：通过选择工单号和产品名称调用所述第一文件和第二文件。4.如权利要求1所述的产品良率的评估方法，其特征在于，所述分析工具包括多个栏，通过对每个栏的操作以选择分析过程、分析参数和显示分析结果。5.如权利要求1所述的产品良率的评估方法，其特征在于，所述分析图能展示在所述分析工具中。6.如权利要求1所述的产品良率的评估方法，其特征在于，所述分析图为图表的形式。7.如权利要求4所述的产品良率的评估方法，其特征在于，所述测试工具包括：lot ID选择栏，用于选择产品的lot ID；prod ID选择栏，用于选择产品...

【专利技术属性】
技术研发人员：王美玲，焦爽，毛贵蕴，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：