一种半导体腔室的固定组件制造技术

本实用新型专利技术属于半导体腔室领域，具体涉及一种半导体腔室的固定组件，包括腔室、限位机构、夹持机构,所述腔室的上端固定连接有固定板，所述固定板的上端固定连接有挡板,所述挡板上设置有限位机构,所述限位机构包括卡槽、拉杆、限位块、定位块、弹簧，所述挡板上设置有夹持机构，所述夹持机构包括螺纹杆、旋钮、把手、轴承、夹块。本实用新型专利技术通过设计卡槽、拉杆、限位块、定位块、弹簧，通过弹簧的弹性作用使得拉杆末端卡接在卡槽内，从而对螺纹杆进行限位，防止螺纹杆自转造成固定不稳定，造成损失，通过设计螺纹杆、旋钮、把手、轴承、夹块，通过螺纹杆带动轴承转动并一起移动从而带动夹块夹紧带固定的部件，完成固定。完成固定。完成固定。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体腔室的固定组件


[0001]本技术涉及半导体腔室
，具体为一种半导体腔室的固定组件。

技术介绍

[0002]随着科技的快速发展，在高新产业中半导体的运用愈发广泛，并逐渐渗透至我们生活所需的各种物品，半导体腔室的安装固定也成了广泛研究的问题，目前技术中对半导体腔室固定操作起来都比较繁琐，并且现有技术中的固定装置，在固定完成后也易发生松动，容易产生损失。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种半导体腔室的固定组件，解决了固定过于繁琐、对腔室进行固定时易松动的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体腔室的固定组件，包括腔室、限位机构、夹持机构,所述腔室的上端固定连接有固定板，所述固定板的上端固定连接有挡板,所述挡板上设置有限位机构,所述限位机构包括卡槽、拉杆、限位块、定位块、弹簧，所述挡板上设置有夹持机构，所述夹持机构包括螺纹杆、旋钮、把手、轴承、夹板。
[0005]优选的，所述挡板上开设有卡槽，所述卡槽内卡接有拉杆，所述拉杆上固定连接有限位块，所述拉杆上滑动连接有定位块，所述拉杆的外侧设置有弹簧，通过设计限位机构，可防止固定松动，造成损失。
[0006]优选的，所述挡板内通过螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆上固定连接有轴承，所述轴承上固定连接有夹块，所述螺纹杆上固定连接有旋钮，所述旋钮上固定连接有把手，通过设计夹持机构，提供了一种便于操作的固定机构。
[0007]优选的，所述弹簧的一端固定连接于限位块上，所述弹簧的另一端固定连接于定位块上，通过设计弹簧，可以使得拉杆在弹簧的作用下移动并且卡接在卡槽内，从而实现限位。
[0008]优选的，所述固定板的数量有四个，四个所述固定板固定连接于腔室的上端，通过设计固定板，方便了在固定板上设计其他机构，方便操作。
[0009]优选的，所述定位块的数量有四个，四个所述定位块固定连接于螺纹杆上，通过设计定位块，从而可以再定位块上设计其他装置便于限位。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]1、本技术通过设计卡槽、拉杆、限位块、定位块、弹簧，通过弹簧的弹性作用使得拉杆末端卡接在卡槽内，从而对螺纹杆进行限位，防止螺纹杆自转造成固定不稳定，造成损失。
[0012]2、本技术通过设计螺纹杆、旋钮、把手、轴承、夹块，通过螺纹杆带动轴承转动并一起移动从而带动夹块夹紧带固定的部件，完成固定。
附图说明
[0013]图1为本技术整体结构立体图；
[0014]图2为图1的剖视图；
[0015]图3为图1的俯视图。
[0016]图中：1、腔室；2、固定板；3、挡板；4、限位机构；5、夹持机构；41、卡槽；42、拉杆；43、限位块；44、定位块；45、弹簧；51、螺纹杆；52、旋钮；53、把手；54、轴承；55、夹块。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1、图2、图3，一种半导体腔室的固定组件，包括腔室1、限位机构4、夹持机构5,腔室1的上端固定连接有固定板2，固定板2的上端固定连接有挡板3,挡板3上设置有限位机构4,限位机构4包括卡槽41、拉杆42、限位块43、定位块44、弹簧45，挡板3上设置有夹持机构5，夹持机构5包括螺纹杆51、旋钮52、把手53、轴承54、夹块55，固定板2的数量有四个，四个固定板2固定连接于腔室1的上端，定位块44的数量有四个，四个定位块44固定连接于螺纹杆51上。
[0019]请参阅图1、图2、图3，挡板3上开设有卡槽41，卡槽41内卡接有拉杆42，拉杆42上固定连接有限位块43，拉杆42上滑动连接有定位块44，拉杆42的外侧设置有弹簧45，弹簧45的一端固定连接于限位块43上，弹簧45的另一端固定连接于定位块44上，通过设计限位机构4可以对螺纹杆51进行限位，防止固定松动。
[0020]请参阅图1、图2、图3，挡板3内通过螺纹连接有螺纹杆51，螺纹杆51上固定连接有轴承54，轴承54上固定连接有夹块55，螺纹杆51上固定连接有旋钮52，旋钮52上固定连接有把手53，通过设计夹持机构5，提供了一种便于操作的固定方式。
[0021]工作原理：对腔室1固定时，首先解除对螺纹杆51的限位，拉动拉杆42，使其末端移除卡槽41，此时解除对螺纹杆51的限位将腔室1放至将要固定的位置，此时转动把手53，在把手53的转动下旋钮52转动，从而带动螺纹杆51进行转动，螺纹杆51与挡板3之间发生螺纹运动，从而螺纹杆51向前移动，从而使得轴承54的内圈转动并移动，从而使得与轴承54连接的夹块55移动，等待四个螺纹杆51都夹紧时，松开拉杆42，在弹簧45的弹性作用下拉杆42移动，并且拉杆42的末端卡接在卡槽41内，从而对螺纹杆51进行限位。
[0022]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体腔室的固定组件，包括腔室(1)、限位机构(4)、夹持机构(5),其特征在于：所述腔室(1)的上端固定连接有固定板(2)，所述固定板(2)的上端固定连接有挡板(3),所述挡板(3)上设置有限位机构(4),所述限位机构(4)包括卡槽(41)、拉杆(42)、限位块(43)、定位块(44)、弹簧(45)，所述挡板(3)上设置有夹持机构(5)，所述夹持机构(5)包括螺纹杆(51)、旋钮(52)、把手(53)、轴承(54)、夹块(55)。2.根据权利要求1所述的一种半导体腔室的固定组件，其特征在于：所述挡板(3)上开设有卡槽(41)，所述卡槽(41)内卡接有拉杆(42)，所述拉杆(42)上固定连接有限位块(43)，所述拉杆(42)上滑动连接有定位块(44)，所述拉杆(42)的外侧设置有弹簧(45)。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾伟中，黄劲松，胡晓梅，
申请(专利权)人：昆山富鑫铨精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：