一种清洗机用清洗架制造技术

本实用新型专利技术提供一种清洗机用清洗架，用于晶片清洗，包括两个平行设置的支架，两所述支架上对应开设有若干呈环形等间隔设置的安装槽，各所述安装槽沿支架径向设置并贯通支架外周；相对应的两个所述安装槽之间连接有卡位轴；各所述卡位轴的内侧开设有若干等间距间隔开的卡齿，所述晶片放置于各卡位轴的相邻的两个卡齿之间。本实用新型专利技术结构简单、设计合理，不仅能够同时对多片晶片进行清洗，还能极大的减少晶片转移的次数，同时，通过沿安装槽移动卡位轴，调整各卡位轴的相对位置，即可实现不同尺寸晶片的承载清洗，无需额外储备不同尺寸的支架，降低了企业成本。降低了企业成本。降低了企业成本。

【技术实现步骤摘要】
一种清洗机用清洗架


[0001]本技术涉及晶片清洗装置，尤其涉及一种清洗机用清洗架。

技术介绍

[0002]目前半导体晶片的清洗程序一般是单片清洗，例如清洗一片锗片，需要接近十分钟。在清洗过程中晶片转移频繁，晶片的掉落及擦碰机率大大增加。清洗用人成本高，针对不同晶片、不同尺寸须要用不同规格的清洗工具，清洗用具繁多造价昂贵，目前市场上有生产两寸、四寸、六寸、厚薄片、双面抛光片等不同尺寸规格，每种不同尺寸的晶片须要不同的清洗工具。
[0003]如中国专利CN206194706U提供了一种清洗架，可以同时放置多片晶片在清洗架内完成清洗和甩干过程，减少晶片转移次数，降低晶片被损伤的风险，但是当需要清洗其他尺寸的晶片时，它还是需更换其他尺寸的支架并增加卡位轴的数量才能实现对不同尺寸规格的清洗需求，厂家需要准备较多不同尺寸的支架才能满足需求，提高了企业成本，且这种结构调整起来也较为不便。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种清洗机用清洗架。
[0005]为实现上述目的，本技术提供一种清洗机用清洗架，用于晶片清洗，包括两个平行设置的支架，两所述支架上对应开设有若干呈环形等间隔设置的安装槽，各所述安装槽沿支架径向设置并贯通支架外周；相对应的两个所述安装槽之间连接有卡位轴；各所述卡位轴的内侧开设有若干等间距间隔开的卡齿，所述晶片放置于各卡位轴的相邻的两个卡齿之间。
[0006]作为本技术的优先设置，两所述支架外侧中心处设置有转轴，所述转轴端部设置有扁平的连接部，所述连接部一侧设置有卡接部，在所述连接部上还设置有连接孔。
[0007]作为本技术的优先设置，在所述支架上以所述转轴为中心等间隔环设有若干第一镂空部；在所述第一镂空部外侧同轴环设有第二镂空部。
[0008]作为本技术的优先设置，所述卡位轴两端同轴设置有穿过所述安装槽的螺柱，并在所述螺柱上连接有紧固螺帽，所述螺柱与紧固螺帽配合将卡位轴固定在支架上。
[0009]作为本技术的优先设置，所述卡位轴数量为4个。
[0010]本技术的有益效果为：
[0011](1)本技术结构简单、设计合理，不仅能够同时对多片晶片进行清洗，还能极大的减少晶片转移的次数，同时，通过沿安装槽移动卡位轴，调整各卡位轴的相对位置，即可实现不同尺寸晶片的承载清洗，无需额外储备不同尺寸的支架，降低了企业成本。
附图说明
[0012]图1是本技术提供的清洗机用清洗架立体结构示意图。
具体实施方式
[0013]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0014]需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0015]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0016]实施例
[0017]参照图1，本技术提供一种清洗机用清洗架，用于晶片清洗，包括两个平行设置的支架1，两所述支架1上对应开设有若干呈环形等间隔设置的安装槽2，各所述安装槽2沿支架1径向设置并贯通支架1外周；相对应的两个所述安装槽2之间连接有卡位轴3，优选地，所述卡位轴数量为4个；各卡位轴3的内侧开设有若干等间距间隔开的卡齿4，相邻卡齿4间形成卡槽，晶片放置于各卡位轴3的相邻的两个卡齿4之间的卡槽内。在卡位轴3两端同轴设置有穿过安装槽2的螺柱5，并在螺柱5上连接有紧固螺帽6，所述螺柱5与紧固螺帽6配合将卡位轴3固定在支架1上。通过沿安装槽2移动卡位轴3，调整各卡位轴3的相对位置，即可实现不同尺寸晶片的承载清洗。
[0018]作为本技术实施例的优先设置，两所述支架1外侧中心处设置有转轴7，所述转轴7端部设置有扁平的连接部8，所述连接部8一侧设置有卡接部9，在所述连接部9上还设置有连接孔10。通过设置转轴7、连接部8，在清洗机设置相对应的旋转轴，将转轴与清洗机内旋转轴通过螺栓螺帽穿过连接孔10进行连接，能够实现清洗架在清洗过程中的旋转，提高清洗效果。
[0019]作为本技术实施例的优先设置，为了使支架1轻量化，在所述支架上1以所述转轴7为中心等间隔环设有若干第一镂空部11；在所述第一镂空部11外侧同轴环设有第二镂空部12。
[0020]综上所述，本技术结构简单、设计合理，不仅能够同时对多片晶片进行清洗，还能极大的减少晶片转移的次数，同时，通过沿安装槽移动卡位轴，调整各卡位轴的相对位置，即可实现不同尺寸晶片的承载清洗，无需额外储备不同尺寸的支架，降低了企业成本。
[0021]此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本实用新
型的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在上面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本技术的总体
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗机用清洗架，用于晶片清洗，包括两个平行设置的支架，其特征在于，两所述支架上对应开设有若干呈环形等间隔设置的安装槽，各所述安装槽沿支架径向设置并贯通支架外周；相对应的两个所述安装槽之间连接有卡位轴；各所述卡位轴的内侧开设有若干等间距间隔开的卡齿，所述晶片放置于各卡位轴的相邻的两个卡齿之间。2.如权利要求1所述的清洗机用清洗架，其特征在于，两所述支架外侧中心处设置有转轴，所述转轴端部设置有扁平的连接部，所述连接部一侧设置有卡接...

【专利技术属性】
技术研发人员：张昌森，倪亚东，
申请(专利权)人：无锡杰瑞德自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：