压力传感器制造技术

本发明专利技术提供一种能够抑制来自外部的冲击波及到感知部的压力传感器。本发明专利技术的压力传感器(1)包括：基座部(10)；感知部(20)，其与基座部(10)在高度方向(4)上隔着空间地相对配置，感知对在高度方向(4)上与基座部(10)所在侧相反的那一侧的感知面(23)施加的压力；周围部(30)，其自基座部(10)沿高度方向(4)立起设置，配置为以隔着在感知部(20)的周围形成的槽(70)的方式包围感知部(20)；连结部(40)，其连结感知部(20)和周围部(30)；以及梁构件(50)，其设于槽(70)，对朝向感知部(20)移动的周围部(30)作用阻力。(30)作用阻力。(30)作用阻力。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器


[0001]本专利技术涉及一种感知来自外部的压力的压力传感器。

技术介绍

[0002]压力传感器中的感知微小的压力的部件有时由MEMS(Micro Electro Mechanical Systems、微机电系统)构成。
[0003]由MEMS构成的压力传感器包括：感知部，其具有根据来自外部的压力而变形的膜；以及周围部，其设于感知部的周围。在该情况下，有可能因从压力传感器的外部对周围部作用的冲击波及到感知部而导致感知部破损。
[0004]在专利文献1所公开的压力传感器中，感知部与周围部之间的大部分被槽隔开，仅是感知部和周围部的一部分利用臂连结。由此来减少对周围部施加的冲击波及到感知部的状况。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：美国专利技术专利申请公开第2017/0253477号说明书

技术实现思路

[0008]专利技术要解决的问题
[0009]但是，即使感知部和周围部被槽隔开，在下落时等时候较大的冲击作用于周围部的情况下，周围部也有可能由于移动而与感知部接触而导致感知部破损。
[0010]此外，若水等液体进入到专利文献1所公开的压力传感器的槽而导致槽被液体占据，则作用于周围部的冲击会经由液体传递到感知部，感知部有可能破损。
[0011]因而，本专利技术的目的在于解决所述问题，提供一种能够抑制来自外部的冲击波及到感知部的压力传感器。
[0012]用于解决问题的方案
[0013]为了达到所述目的，本专利技术如下地构成。
[0014]本专利技术的一技术方案的压力传感器包括：
[0015]基座部；
[0016]感知部，其与所述基座部在高度方向上隔着空间地相对配置，感知对在所述高度方向上与所述基座部所在侧相反的那一侧的感知面施加的压力；
[0017]周围部，其自所述基座部沿所述高度方向立起设置，配置为以隔着在所述感知部的周围形成的槽的方式包围所述感知部；
[0018]连结部，其连结所述感知部和所述周围部；以及
[0019]阻尼部，其设于所述槽，对朝向所述感知部移动的所述周围部作用阻力。
[0020]专利技术的效果
[0021]根据本专利技术，能够抑制来自外部的冲击波及到感知部。
附图说明
[0022]图1是本专利技术的第1实施方式的压力传感器的立体图。
[0023]图2是图1的压力传感器的俯视图。
[0024]图3是沿着图2中的A－A线的剖视图。
[0025]图4是沿着图2中的B－B线的剖视图。
[0026]图5是本专利技术的第2实施方式的压力传感器的与图3相同的剖视图。
[0027]图6是本专利技术的第3实施方式的压力传感器的俯视图。
[0028]图7是本专利技术的第4实施方式的压力传感器的俯视图。
[0029]图8是本专利技术的第5实施方式的压力传感器的俯视图。
[0030]图9是本专利技术的各实施方式的变形例的压力传感器的俯视图。
[0031]图10是本专利技术的各实施方式的变形例的压力传感器的俯视图。
[0032]图11是本专利技术的第6实施方式的压力传感器的与图3相同的剖视图。
具体实施方式
[0033]本专利技术的一形态的压力传感器包括：
[0034]基座部；
[0035]感知部，其与所述基座部在高度方向上隔着空间地相对配置，感知对在所述高度方向上与所述基座部所在侧相反的那一侧的感知面施加的压力；
[0036]周围部，其自所述基座部沿所述高度方向立起设置，配置为以隔着在所述感知部的周围形成的槽的方式包围所述感知部；
[0037]连结部，其连结所述感知部和所述周围部；以及
[0038]阻尼部，其设于所述槽，对朝向所述感知部移动的所述周围部作用阻力。
[0039]根据该结构，在从压力传感器的外部对周围部作用冲击的情况下，利用设于槽的阻尼部来缓和冲击从周围部向感知部的传递。由此，能够抑制来自外部的冲击波及到感知部。其结果，能够降低感知部破损的可能性。
[0040]也可以是，所述感知部具备与所述周围部相对的外周面，所述周围部具备与所述外周面相对的内周面，在所述外周面与所述内周面之间形成有所述槽，所述阻尼部包括梁构件，该梁构件支承于所述基座部，在与所述外周面和所述内周面中的至少一者之间具有间隙并且沿着所述槽延伸。
[0041]根据该结构，在从压力传感器的外部对周围部作用冲击的情况下，梁构件作为缓冲件发挥功能。由此能够抑制来自外部的冲击波及到感知部。
[0042]此外，根据该结构，与在槽配置有梁构件的情况相应地使周围部与感知部之间的间隙变短。由此，在从压力传感器的外部对周围部作用冲击的情况下，根据压膜阻尼(日文：
スクイーズフィルムダンピング
)效应而产生相对于周围部朝向感知部的移动而言的阻力，因此能够减少冲击向感知部的传递。
[0043]此外，根据该结构，与在槽配置有梁构件的情况相应地使周围部与感知部之间的间隙变短。由此，能够利用液体的表面张力来抑制水等液体进入槽。
[0044]本专利技术的一形态的压力传感器也可以是，还包括盖部，该盖部与所述感知面隔着空间地相对配置，该盖部支承于所述周围部，在与所述感知面相对的位置形成有贯通孔，所
述阻尼部与所述外周面之间的所述间隙和所述阻尼部与所述内周面之间的所述间隙中的较长的间隙的宽度比所述贯通孔的直径短。
[0045]专利文献1所公开的压力传感器包括盖，该盖从上方覆盖感知部从而防止水等液体进入压力传感器的内部。但是，由于专利文献1所公开的压力传感器是气压传感器，因此无法将外部的大气与感知部完全阻断。因此，在专利文献1所公开的压力传感器中，在盖形成有用于使感知部与大气连通的贯通孔。因此，液体会经由贯通孔进入压力传感器的内部的槽。对此，根据该结构，构成为，所述阻尼部与所述外周面之间的所述间隙和所述阻尼部与所述内周面之间的所述间隙中的较长的间隙的宽度比贯通孔的直径短。因此，即便液体经由贯通孔进入到盖部与感知面之间的空间，也能够利用液体的表面张力来抑制液体进入槽。
[0046]在专利文献1所公开的压力传感器中，能够通过缩短贯通孔的直径从而减少液体向压力传感器的内部的进入。但是，若缩短贯通孔的直径，则在压力传感器的内外气体的流动会急剧地变化，会导致压力传感器的外部的气压到达压力传感器的内部的膜为止的时间延迟变大。根据该结构，如上所述，即使液体经由贯通孔进入到盖部与感知面之间的空间，也能够抑制液体进入槽，因此无需将贯通孔的直径缩短所需程度以上。因此，能够抑制上述那样的时间延迟变大的状况。
[0047]也可以是，所述梁构件的面向所述槽的梁侧面具有梁凸部。此外也可以是，所述外周面具有外周凸部。此外也可以是，所述连结部的面向所述槽的连结侧面具有连结凸部。
[0048]若水等液体进入到槽而导致液体附着于梁构件、感知部、周围部、连结部，则在液体的表面张本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压力传感器，其中，该压力传感器包括：基座部；感知部，其与所述基座部在高度方向上隔着空间地相对配置，感知对在所述高度方向上与所述基座部所在侧相反的那一侧的感知面施加的压力；周围部，其自所述基座部沿所述高度方向立起设置，配置为以隔着在所述感知部的周围形成的槽的方式包围所述感知部；连结部，其连结所述感知部和所述周围部；以及阻尼部，其设于所述槽，对朝向所述感知部移动的所述周围部作用阻力。2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中，所述感知部具备与所述周围部相对的外周面，所述周围部具备与所述外周面相对的内周面，在所述外周面与所述内周面之间形成有所述槽，所述阻尼部包括梁构件，该梁构件支承于所述基座部，在与所述外周面和所述内周面中的至少一者之间具有间隙并且沿着所述槽延伸。3.根据权利要求2所述的压力传感器，其中，该压力传感器还包括盖部，该盖部与所述感知面隔着空间地相对配置，该盖部支承于所述周围部，在与所述感知面相对的位置形成有贯通孔，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：滨崎良平，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：