一种低温等离子体诱导功能薄膜的制备方法及其关键材料技术

本发明专利技术公开了一种低温等离子体诱导功能薄膜的制备方法及其关键材料。本发明专利技术所述制备方法包括如下步骤：S1：清洗柔性基板；S2：将油墨旋涂于柔性基板；S3：将旋涂有油墨的柔性基板置于加热板进行预热处理后，置于等离子体设备，设置等离子体处理的功率、时间和气体流量，然后通入N2/H2混合气进行诱导，得到功能薄膜。本发明专利技术制备的功能薄膜具有优良的稳定性、抗氧化性，固化结构密实，导电性优良且与柔性基板的附着力较大。的附着力较大。的附着力较大。

【技术实现步骤摘要】
一种低温等离子体诱导功能薄膜的制备方法及其关键材料


[0001]本专利技术涉及柔性薄膜和电路制备
，尤其涉及一种低温等离子体诱导功能薄膜的制备方法及其关键材料。

技术介绍

[0002]与真空蒸镀、化学沉积和光刻等传统功能薄膜和电路制备工艺相比，柔性电子印刷技术在灵活性、操作便捷性、可加工性、成本低廉性和大面积制造等方面具有一定优势，因此近年来逐渐进入人们的视野。柔性电子印刷技术现已被用于发光二极管、RFID射频天线、薄膜晶体管、太阳能电池和生物材料等领域。柔性电子印刷技术中印刷油墨是十分重要的一部分，目前市场上主要以金属颗粒油墨为主，其中，银颗粒油墨因其高导电性、相对较低的熔点和抗氧化性等优点被广泛应用。但银油墨作为一种贵金属其价格较高且存在电迁移等问题。所以有学者提出用铜油墨来代替银油墨。
[0003]根据油墨中有无铜颗粒，铜油墨可以分为铜颗粒油墨与无颗粒油墨。其中，铜颗粒油墨为了防止铜氧化需要在铜颗粒表面包裹一层有机物或者不活跃金属，这不仅会增大制造难度与制造成本而且还会造成油墨中颗粒团聚现象。因此，无颗粒铜油墨尤其是铜络合物本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于等离子体诱导制备功能薄膜的油墨，其特征在于，按质量百分比计，所述油墨包括如下组分的原料：金属盐24.9～47.1％，2
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乙基己胺9.8～13.4％，2
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氨基
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2甲基
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丙醇14.3～27.9％，粘结剂1～5％，有机溶剂10～50％。2.根据权利要求1所述的油墨，其特征在于，所述金属盐为四水甲酸铜或四水甲酸铜与其他金属盐的混合，所述其他金属盐为二水甲酸镍、草酸银中的一种或两种；所述四水甲酸铜与其他金属盐的质量比为2～20:1。3.根据权利要求1所述的油墨，其特征在于，所述有机溶剂为正丁醇、乙二醇中的一种或两种。4.根据权利要求1所述的油墨，其特征在于，所述粘结剂为聚乙烯吡咯烷酮，所述聚乙烯吡咯烷酮的纯度为99％，分子量为44000～54000；所述2
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氨基
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2甲基
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丙醇与2
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乙基己胺的摩尔比为1～3.2:1；所述金属盐的摩尔量与2
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乙基己胺和2
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氨基
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2甲基
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丙醇摩尔总量的比为1:2。5.一种权利要求1～4任一项所述油墨的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤，按质量百分比：(1)将金属盐研磨得到金属盐粉末；(2)将2
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【专利技术属性】
技术研发人员：李万里，梁程，李一田，张婕，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：发明
国别省市：