一种晶圆环激光开槽机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆环激光开槽机，涉及晶圆环领域，包括底座，所述底座的顶部设置有工作箱，所述工作箱的顶部设置有网板，所述工作箱的顶部设置有固定板，所述固定板的一侧设置有气缸本体，所述气缸本体的输出端固定连接有夹持板，所述夹持板的内壁设置有防滑垫，所述底座的顶部设置有支撑板，所述支撑板的顶部设置有顶板；本实用新型专利技术通过设置两个夹持板，将晶圆环放置两个夹持板中间，设置气缸本体，带动夹持板相互靠近，从而各夹持板带动防滑垫紧贴在晶圆环的外壁，便于根据晶圆环的大小进行调节，对晶圆环夹持固定，防止晶圆环在开槽时受力出现移动或偏移，不需要人工手动进行固定或间断调整晶圆环，提高了激光开槽机的工作效率。的工作效率。的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆环激光开槽机


[0001]本技术涉及晶圆环
，尤其涉及一种晶圆环激光开槽机。

技术介绍

[0002]晶圆环属于塑料制品，适用于承载硅片、划片、贴片、磨片、硅片分类、硅片运输等，在晶圆环工厂内加工中，晶圆环开槽是必要流程，从而需要使用激光开槽机对晶圆环进行开槽；
[0003]现有的工厂对晶圆环进行开槽时，会使用激光开槽机，常见的激光开槽机在使用时，一般将待开槽的晶圆环直接放置在激光开槽机连接的工作台上，然后人工启动激光开槽机对晶圆环进行开槽，由于工作人员直接将晶圆环放置在工作台上，在激光开槽机对晶圆环时，晶圆环会受力产生移动或偏移，使晶圆环开的槽容易歪斜，从而需要工作人员及时发现手动进行调整晶圆环的位置，对工作人员要求较高，因此本技术提出一种晶圆环激光开槽机以解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本技术提出一种晶圆环激光开槽机，该晶圆环激光开槽机通过设置两个夹持板，将晶圆环放置两个夹持板中间，设置气缸本体，带动夹持板相互靠近，从而各夹持板带动防滑垫紧贴在晶圆环的外壁，便于根据晶圆环的大小进行调节，对晶圆环夹持固定，防止晶圆环在开槽时受力出现移动或偏移，不需要人工手动进行固定或间断调整晶圆环，提高了激光开槽机的工作效率。
[0005]为实现本技术的目的，本技术通过以下技术方案实现：一种晶圆环激光开槽机，包括底座，所述底座的顶部设置有工作箱，所述工作箱的顶部设置有网板，所述工作箱的顶部设置有固定板，所述固定板的一侧设置有气缸本体，所述气缸本体的输出端固定连接有夹持板，所述夹持板的内壁设置有防滑垫，所述底座的顶部设置有支撑板，所述支撑板的顶部设置有顶板，所述顶板的顶部设置有冷却箱，所述冷却箱的顶部设置有进水管，所述冷却箱的内底壁设置有水泵，所述水泵的底部设置有连接管。
[0006]所述连接管的底部设置有伸缩管，所述顶板的底部设置有液压缸本体，所述液压缸本体的输出端固定连接有激光开槽机本体，所述激光开槽机本体的一侧设置有连接板，所述连接板的内壁设置有喷水管。
[0007]进一步改进在于：所述工作箱与网板之间为固定连接，所述网板的内壁均开设有镂空。
[0008]进一步改进在于：所述夹持板的数量为两个，所述两个夹持板均与防滑垫之间为紧密贴合。
[0009]进一步改进在于：所述连接管与伸缩管之间为焊接连接，所述伸缩管与喷水管之间为固定连接，所述伸缩管为PU伸缩管。
[0010]进一步改进在于：所述工作箱的内底壁设置有导流板，所述工作箱的一侧设置有
排污管，所述排污管的正面设置有电磁阀。
[0011]进一步改进在于：所述工作箱与导流板之间为嵌套连接，所述导流板为三十五度角斜坡。
[0012]进一步改进在于：所述排污管与工作箱之间为固定连接，所述排污管与电磁阀的中轴线相重合。
[0013]本技术的有益效果为：本技术通过设置两个夹持板，将晶圆环放置两个夹持板中间，设置气缸本体，带动夹持板相互靠近，从而各夹持板带动防滑垫紧贴在晶圆环的外壁，便于根据晶圆环的大小进行调节，对晶圆环夹持固定，防止晶圆环在开槽时受力出现移动或偏移，不需要人工手动进行固定或间断调整晶圆环，提高了激光开槽机的工作效率。
附图说明
[0014]图1为本技术正视剖面结构示意图；
[0015]图2为本技术夹持板正视结构示意图；
[0016]图3为本技术冷却箱正视结构示意图；
[0017]图4为本技术俯视结构示意图；
[0018]图5为本技术立体结构示意图。
[0019]图中：1、底座；2、工作箱；3、网板；4、导流板；5、排污管；6、电磁阀；7、固定板；8、气缸本体；9、夹持板；10、防滑垫；11、支撑板；12、顶板；13、冷却箱；14、进水管；15、水泵；16、连接管；17、伸缩管；18、液压缸本体；19、激光开槽机本体；20、连接板；21、喷水管。
具体实施方式
[0020]为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例对本技术做进一步详述，本实施例仅用于解释本技术，并不构成对本技术保护范围的限定。
[0021]根据图1
‑
5所示，本实施例提出了一种晶圆环激光开槽机，包括底座1，底座1的顶部设置有工作箱2，工作箱2的顶部设置有网板3，工作箱2的顶部设置有固定板7，固定板7的一侧设置有气缸本体8，气缸本体8的输出端固定连接有夹持板9，夹持板9的内壁设置有防滑垫10，底座1的顶部设置有支撑板11，支撑板11的顶部设置有顶板12，顶板12的顶部设置有冷却箱13，冷却箱13的顶部设置有进水管14，冷却箱13的内底壁设置有水泵15，水泵15的底部设置有连接管16。
[0022]连接管16的底部设置有伸缩管17，顶板12的底部设置有液压缸本体18，液压缸本体18的输出端固定连接有激光开槽机本体19，激光开槽机本体19的一侧设置有连接板20，连接板20的内壁设置有喷水管21，本装置在使用时，工作人员将晶圆环放置在两个夹持板9中间，启动各气缸本体8，使气缸本体8的输出端带动夹持板9相互靠近，从而各夹持板9带动防滑垫10紧贴在晶圆环的外壁，便于根据晶圆环的大小进行调节，对晶圆环夹持固定。
[0023]工作箱2与网板3之间为固定连接，网板3的内壁均开设有镂空，通过污水和杂质通过网板3内的镂空落入工作箱2内。
[0024]夹持板9的数量为两个，两个夹持板9均与防滑垫10之间为紧密贴合，通过启动各气缸本体8，使气缸本体8的输出端带动夹持板9相互靠近。
[0025]连接管16与伸缩管17之间为焊接连接，伸缩管17与喷水管21之间为固定连接，伸缩管17为PU伸缩管，通过设置伸缩管17为PU材质，具有弹性强、可来回伸缩、回塑性好。
[0026]工作箱2的内底壁设置有导流板4，工作箱2的一侧设置有排污管5，排污管5的正面设置有电磁阀6。
[0027]工作箱2与导流板4之间为嵌套连接，导流板4为三十五度角斜坡，通过污水和杂质通过导流板4的斜坡流进排污管5，从而排污管5将污水和杂质进行排出。
[0028]排污管5与工作箱2之间为固定连接，排污管5与电磁阀6的中轴线相重合，通过启动电磁阀6，从而排污管5将污水和杂质进行排出。
[0029]该晶圆环激光开槽机通过工作人员将晶圆环放置在两个夹持板9中间，启动各气缸本体8，使气缸本体8的输出端带动夹持板9相互靠近，从而各夹持板9带动防滑垫10紧贴在晶圆环的外壁，便于根据晶圆环的大小进行调节，对晶圆环夹持固定，然后将晶圆环夹持固定在工作箱2上后，将外界水源通过进水管14加入冷却箱13内，对冷却箱13内加满水，然后启动液压缸本体18，使液压缸本体18的输出端带动激光开槽机本体19向下，同时激光开槽机本体19带动连接板20内的喷水管21向下，使喷水管21向下拉动伸缩管17，设置伸缩管17为PU材质，具有弹性强、可来回伸缩、回塑性好，从而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆环激光开槽机，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的顶部设置有工作箱(2)，所述工作箱(2)的顶部设置有网板(3)，所述工作箱(2)的顶部设置有固定板(7)，所述固定板(7)的一侧设置有气缸本体(8)，所述气缸本体(8)的输出端固定连接有夹持板(9)，所述夹持板(9)的内壁设置有防滑垫(10)，所述底座(1)的顶部设置有支撑板(11)，所述支撑板(11)的顶部设置有顶板(12)，所述顶板(12)的顶部设置有冷却箱(13)，所述冷却箱(13)的顶部设置有进水管(14)，所述冷却箱(13)的内底壁设置有水泵(15)，所述水泵(15)的底部设置有连接管(16)；所述连接管(16)的底部设置有伸缩管(17)，所述顶板(12)的底部设置有液压缸本体(18)，所述液压缸本体(18)的输出端固定连接有激光开槽机本体(19)，所述激光开槽机本体(19)的一侧设置有连接板(20)，所述连接板(20)的内壁设置有喷水管(21)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆环激光开槽机，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：王达，朱联联，
申请(专利权)人：上海朗太精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：