透射电镜载网的清洗方法和清洗设备技术

本申请公开了一种透射电镜载网的清洗方法，清洗方法包括：将待清洗载网放入清洁腔室并将清洁腔室抽真空；向清洁腔室输入混合清洁气体；将混合清洁气体激发形成等离子体与待清洗载网的残余物反应。将待清洗载网放入清洁腔室并将清洁腔室抽真空，向清洁腔室输入混合清洁气体，将混合清洁气体激发形成等离子体与待清洗载网的残余物反应，使残余物挥发成气态化合物，从而将待清洗载网的残余物清洗掉。本申请还提供一种透射电镜载网的清洗设备。请还提供一种透射电镜载网的清洗设备。请还提供一种透射电镜载网的清洗设备。

【技术实现步骤摘要】
透射电镜载网的清洗方法和清洗设备


[0001]本申请涉及透射电镜
，更具体而言，涉及一种透射电镜载网的清洗方法和清洗设备。

技术介绍

[0002]因制造工艺的问题，透射电镜载网常常被污染，也即是透射电镜载网残留各种化合物，例如含碳氢的有机化合物。电子束会和污染物发生作用后，会影响通过透射电镜对样品的观察。

技术实现思路

[0003]本申请提供了一种透射电镜载网的清洗方法和透射电镜载网的清洗设备。
[0004]本申请申请实施方式提供一种透射电镜载网的清洗方法，包括：
[0005]将待清洗载网放入清洁腔室并将所述清洁腔室抽真空；
[0006]向所述清洁腔室输入混合清洁气体；
[0007]将所述混合清洁气体激发形成等离子体与所述待清洗载网的残余物反应。
[0008]如此，将待清洗载网放入清洁腔室并将清洁腔室抽真空，向清洁腔室输入混合清洁气体，将混合清洁气体激发形成等离子体与待清洗载网的残余物反应，使残余物挥发成气态化合物，从而将待清洗载网的残余物清洗掉。
[0009]在某些实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透射电镜载网的清洗方法，其特征在于，包括：将待清洗载网放入清洁腔室并将所述清洁腔室抽真空；向所述清洁腔室输入混合清洁气体；将所述混合清洁气体激发形成等离子体与所述待清洗载网的残余物反应。2.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述混合清洁气体包括含氟气体。3.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述混合气体包括：Ar，O2，He，CO2，H2，CO，SF6，CF4，NF3和F2。4.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述向所述清洁腔室输入混合清洁气体，包括：将多种清洁气体输入混合腔室进行混合得到混合清洁气体；将所述混合气体输入所述清洁腔室。5.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述将所述混合清洁气体激发形成等离子体与所述待清洗载网的残余物反应，包括：在预设时间内持续将所述混合清洁气体激发形成等离子体与所述待清洗载网的残余物反应。6.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，在将所述混合清洁气体激发形成等离子体与所述待清洗载网的残余物反应的步骤之后，所述清洗方法包括：抽离反应后的混合气体并通入空气...

【专利技术属性】
技术研发人员：何东升，
申请(专利权)人：何东升，
类型：发明
国别省市：