光刻机用防微振基座配套IF基座制造技术

本实用新型专利技术公开了光刻机用防微振基座配套IF基座，包括支撑腿和设置于支撑腿顶部的上框架，所述上框架的顶部安装有活动面板，所述支撑腿的底部固定有用于调平的垫板，所述支撑腿的表面连接有找平结构，本实用新型专利技术涉及防微振基座技术领域。该光刻机用防微振基座配套IF基座，安装方便，操作简单，有效的起到支撑作用，并且在进行组装时，通过找平结构可以保证每条支撑腿安装时都处于水平状态，并且可以根据支撑腿的宽度进行自适应调节，可以快速的进行拆卸安装。行拆卸安装。行拆卸安装。

【技术实现步骤摘要】
光刻机用防微振基座配套IF基座


[0001]本技术涉及防微振基座
，具体为光刻机用防微振基座配套IF基座。

技术介绍

[0002]防微振基座是用来安装放置精密仪器的安装平台，通过不锈钢精密部件与精密仪器固定连接，其稳固性和尺寸精度直接影响仪器的工作精度，特别是对于光刻机等对基础座制作精度和刚性要求非常严格的器件来说，现有的防微振基座通常采用钢筋混凝土基座，其自重较大，安装移动较为困难，不能进行灵活的安装调整。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术提供了光刻机用防微振基座配套IF基座，解决了上述提出的问题。
[0004]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：光刻机用防微振基座配套IF基座，包括支撑腿和设置于支撑腿顶部的上框架，所述上框架的顶部安装有活动面板，所述支撑腿的底部固定有用于调平的垫板，所述支撑腿的表面连接有找平结构，所述找平结构包括主杆，所述主杆的两侧均螺纹连接有调节杆，所述主杆的表面固定连接有固定架，所述固定架的表面通过卡接件卡接有水平仪，所述调节杆的表面活动连接有连接板，所述调节杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.光刻机用防微振基座配套IF基座，包括支撑腿(1)和设置于支撑腿(1)顶部的上框架(2)，所述上框架(2)的顶部安装有活动面板(3)，所述支撑腿(1)的底部固定有用于调平的垫板，其特征在于：所述支撑腿(1)的表面连接有找平结构，所述找平结构包括主杆(5)，所述主杆(5)的两侧均螺纹连接有调节杆(6)，所述主杆(5)的表面固定连接有固定架(7)，所述固定架(7)的表面通过卡接件(8)卡接有水平仪(9)，所述调节杆(6)的表面活动连接有连接板(10)，所述调节杆(6)的表面螺纹连接有调节圈(11)，所述调节圈(11)的表面与连接板(10)的表面抵接，所述连接板(10)的表面与支撑腿(1)的表面抵接。2.根据权利要求1所述的光刻机用防微振基座配套IF基座，其特征在于：所述支撑腿(1)采用Q235B钢材料，所述支撑腿截面为三角形、长方形或正方形三种形状，支撑腿(1)外表面涂装绝缘涂层，支撑腿(1)顶部设置螺纹孔，用于安装上框架(2)，底...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵江民，
申请(专利权)人：合肥玖福半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：