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本实用新型公开了光刻机用防微振基座配套IF基座，包括支撑腿和设置于支撑腿顶部的上框架，所述上框架的顶部安装有活动面板，所述支撑腿的底部固定有用于调平的垫板，所述支撑腿的表面连接有找平结构，本实用新型涉及防微振基座技术领域。该光刻机用防微振基...
该专利属于合肥玖福半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥玖福半导体技术有限公司授权不得商用。

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