一种半导体衬底检验台制造技术

本实用新型专利技术属于检验台架设备技术领域，具体涉及一种半导体衬底检验台；其包括工作台、过滤风机和过滤孔板；工作台的工作面上设置有防护框，防护框的其中一侧设置有敞口；过滤风机设置在防护框上，且过滤风机的出风口朝向工作台的工作面设置；过滤孔板架设在工作台上，且过滤孔板与工作台的工作面之间存有工作间隙。该半导体衬底检验台中的过滤风机能够将周围环境的空气抽吸至其内部，并将空气经过过滤后向工作台的工作面吹送，其能够消除工作台上检测空间内空气中的颗粒和粉尘等杂物，使检测空间的环境能够满足半导体衬底的检验要求，无需对整个车间的环境进行改造，从而有效的降低半导体衬底的检验成本。半导体衬底的检验成本。半导体衬底的检验成本。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体衬底检验台


[0001]本技术属于检验台架设备
，具体涉及一种半导体衬底检验台。

技术介绍

[0002]半导体材料被广泛应用于电子器件的制造，半导体材料的应用与人们的日常生活和尖端科技都息息相关。
[0003]半导体材料已经从上世纪以硅、锗为代表的第一代，发展到以碳化硅、氮化镓等为代表的第三代，无论是基于第一代、第二代或第三代半导体材料的电子器件制造工艺，都离不开半导体衬底，半导体衬底的成本直接关系着衬底上制作的电子器件的成本。
[0004]在对半导体衬底进行检验时，需要避免半导体衬底的表面附着颗粒、粉尘等杂物，使得半导体衬底的检验环境极为严格，对检验车间环境的要求较高，需要借助净化设备或者建设无尘车间来改善车间的环境，但是，净化设备的使用或者无尘车间的建设均需要消耗大量的金钱，导致半导体衬底的检验成本随之增加。因此，专利技术一种能够改善检验环境的工作台，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]为了解决现有技术存在的上述问题，本技术一种半导体衬底检验台，以解决现有技术中存在的半导体衬底检验环境的要求极为严格，需要借助净化设备或者建设无尘车间来改善车间的环境，导致半导体衬底的检验成本增加的技术问题。
[0006]本技术通过以下技术方案具体实现：
[0007]一种半导体衬底检验台，包括工作台、过滤风机和过滤孔板；
[0008]所述工作台的工作面上设置有防护框，所述防护框的其中一侧设置有敞口；
[0009]所述过滤风机设置在所述防护框上，且所述过滤风机的出风口朝向所述工作台的工作面设置；
[0010]所述过滤孔板架设在所述工作台上，且所述过滤孔板与所述工作台的工作面之间存有工作间隙。
[0011]为了更好的实现本技术，在上述结构中作进一步的优化，所述过滤风机的出风口处设置有过滤网。
[0012]为了更好的实现本技术，在上述结构中作进一步的优化，所述过滤风机的侧壁上设置有插槽，所述插槽靠近所述过滤风机的出风口设置，所述过滤网插设在所述插槽中。
[0013]为了更好的实现本技术，在上述结构中作进一步的优化，所述防护框的内壁侧设置有支撑架，所述支撑架紧贴所述工作台的工作面设置，所述过滤孔板架设在所述支撑架上。
[0014]为了更好的实现本技术，在上述结构中作进一步的优化，所述工作台的工作面与水平面平行，所述过滤孔板所在的平面与所述工作台的工作面平行。
[0015]为了更好的实现本技术，在上述结构中作进一步的优化，所述工作台上设置有用于存储物品的抽屉，所述抽屉位于所述工作台的工作面的下方。
[0016]为了更好的实现本技术，在上述结构中作进一步的优化，所述防护框上设置有便于导线穿过的贯穿孔。
[0017]为了更好的实现本技术，在上述结构中作进一步的优化，所述工作台上设置有至少一个隔板，所有的所述隔板均位于所述防护框内，所述隔板所在的平面垂直于所述工作台的工作面，且所述工作台的长度方向与所述隔板所在的平面垂直，所有的所述隔板等间距的沿所述工作台的长度方向排列设置将所述工作台分隔为多个检测工位。
[0018]综上所述，本技术具有以下技术效果：
[0019]该半导体衬底检验台中的防护框能够将工作面的上方空间围护成独立的检测空间，过滤风机能够将周围环境的空气抽吸至其内部，并将空气经过过滤后向工作台的工作面吹送，其能够消除检测空间内的空气中的颗粒和粉尘等杂物，且能够将检测空间中的颗粒和粉尘等杂物通过过滤孔板吹送至工作面上，使检测空间的环境能够满足半导体衬底的检验要求，无需对整个车间的环境进行改造，从而有效的降低半导体衬底的检验成本。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1是本技术一种半导体衬底检验台的结构示意图；
[0022]图2是本技术一种半导体衬底检验台中过滤网处于抽出状态的结构示意图。
[0023]附图标记：
[0024]1、工作台；11、防护框；111、支撑架；112、贯穿孔；12、隔板；
[0025]2、过滤风机；21、插槽；
[0026]3、过滤孔板；
[0027]4、过滤网；
[0028]5、抽屉。
具体实施方式
[0029]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本技术所保护的范围。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有说明，
″
多个
″
的含义是两个或两个以上；术语
″
上
″
、
″
下
″
、
″
左
″
、
″
右
″
、
″
内
″
、
″
外
″
、
″
前端
″
、
″
后端
″
、
″
头部
″
、
″
尾部
″
等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语
″
第一
″
、
″
第二
″
、
″
第三
″
等仅用于描述
目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语
″
安装
″
、
″
相连
″
、
″
连接
″
应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]实施例：
[0033]如图1和图2所示：
[0034]一种半导体衬底检验台，其包括工作台1、过滤风机2和过滤孔板3；其中，
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体衬底检验台，其特征在于：包括工作台(1)、过滤风机(2)和过滤孔板(3)；所述工作台(1)的工作面上设置有防护框(11)，所述防护框(11)的其中一侧设置有敞口；所述过滤风机(2)设置在所述防护框(11)上，且所述过滤风机(2)的出风口朝向所述工作台(1)的工作面设置；所述过滤孔板(3)架设在所述工作台(1)上，且所述过滤孔板(3)与所述工作台(1)的工作面之间存有工作间隙。2.根据权利要求1所述的半导体衬底检验台，其特征在于：所述过滤风机(2)的出风口处设置有过滤网(4)。3.根据权利要求2所述的半导体衬底检验台，其特征在于：所述过滤风机(2)的侧壁上设置有插槽(21)，所述插槽(21)靠近所述过滤风机(2)的出风口设置，所述过滤网(4)插设在所述插槽(21)中。4.根据权利要求1所述的半导体衬底检验台，其特征在于：所述防护框(11)的内壁侧设置有支撑架(111)，所述支撑架(111)紧贴所述工作台(1)的工作面设置，所述过滤孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：石志奎，李昭静，王泽华，
申请(专利权)人：青岛浩瀚全材半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：