鳍式场效应晶体管和制备方法技术

本申请实施例提供了一种鳍式场效应晶体管和制备方法，该鳍式场效应晶体管包括：衬底，所述衬底上形成有有源区和沟道区；鳍片，形成于所述衬底上，并贯穿所述有源区和所述沟道区；其中，所述鳍片的处于所述沟道区部分的宽度，小于所述鳍片处于所述有源区部分的宽度，采用本申请提供的鳍式场效应晶体管的结构，可以在保证开关速度的情况下提高鳍式场效应晶体管的可靠性。体管的可靠性。体管的可靠性。体管的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：许俊豪，贝尼斯坦特，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：