下载鳍式场效应晶体管和制备方法的技术资料

文档序号:36548006

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本申请实施例提供了一种鳍式场效应晶体管和制备方法,该鳍式场效应晶体管包括:衬底,所述衬底上形成有有源区和沟道区;鳍片,形成于所述衬底上,并贯穿所述有源区和所述沟道区;其中,所述鳍片的处于所述沟道区部分的宽度,小于所述鳍片处于所述有源区部分的...
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