基板翻转搬送装置及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种基板翻转搬送装置包括夹持机构、移动机构和反转机构，所述夹持机构用于夹持基板；所述移动机构驱使所述夹持机构在与所述基板接触的接触位置与离开所述基板的退避位置之间进退；所述反转机构包括旋转轴和旋转连接机构，所述旋转连接机构的一端与所述夹持机构连接，所述旋转连接机构的另一端与所述旋转轴连接，通过所述旋转连接机构带动所述夹持机构绕所述旋转轴旋转，以使所述基板反转并使基板的中心轴线从第一位置运动到第二位置，实现了集基板反转和基板搬运于一体，使得基板在实现偏心反转的同时还使基板传送了一定的位移，有助于形成过渡连接，便于与其他处理装置配合而顺利完成后续工艺。本发明专利技术还提供了一种基板处理装置。供了一种基板处理装置。供了一种基板处理装置。

【技术实现步骤摘要】
基板翻转搬送装置及基板处理装置


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种基板翻转搬送装置及基板处理装置。

技术介绍

[0002]一直以来，在半导体基板(以下仅称为“基板”)的制造工序中，对基板实施多种处理。例如基板的表面以及背面进行处理。在该基板处理装置中，表面向上的状态的基板从托架搬入反转通路，在反转通路中反转基板之后，向处理单元中搬送。在处理单元中完成背面处理的基板在再次搬入反转通路进行反转之后向托架搬送。
[0003]公开号为CN109560031A的中国专利公开了一种基板反转装置、基板处理装置以及基板夹持装置。在基板反转装置中，多个下导向件使随着向基板的宽度方向内侧而向下方的下倾斜面与水平状态的基板的周缘部接触，并从下方支撑基板；多个上导向件使随着向宽度方向内侧而向上方的上倾斜面与基板的周缘部接触，在与多个下导向件之间夹持基板；反转机构通过使上述多个下导向件以及上述多个上导向件以朝向水平方向的旋转轴为中心旋转，从而使由上述多个下导向件以及上述多个上导向件夹持的上述基板反转。但是该专利中的基板反转装置只能使基板以朝向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板翻转搬送装置，其特征在于，包括：夹持机构，用于夹持基板；移动机构，驱使所述夹持机构在与所述基板接触的接触位置与离开所述基板的退避位置之间进退；反转机构，包括旋转轴和旋转连接机构，所述旋转连接机构的一端与所述夹持机构连接，所述旋转连接机构的另一端与所述旋转轴连接，通过所述旋转连接机构带动所述夹持机构绕所述旋转轴旋转，以使所述基板反转并使所述基板的中心轴线从第一位置运动到第二位置。2.根据权利要求1所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述旋转连接机构包括连接臂和伸缩组件，所述连接臂和所述伸缩组件连接，通过所述伸缩组件调节所述连接臂的长度，以使所述基板搬运到预设位置。3.根据权利要求1所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述反转机构还包括驱动机构，所述驱动机构驱动所述旋转连接机构和所述旋转轴中的至少一个旋转，以使所述旋转连接机构带动所述夹持机构绕所述旋转轴旋转。4.根据权利要求1所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述夹持机构包括第一夹持组件和第二夹持组件，所述第一夹持组件和所述第二夹持组件相对夹持于所述基板的周缘部；所述旋转连接机构包括第一旋转连接组件和第二旋转连接组件，所述旋转轴的一端部与该端部同侧设置的所述第一旋转连接组件活动连接，所述旋转轴的另一端部与该端部同侧设置的所述第二旋转连接组件活动连接，所述第一旋转连接组件与所述第一夹持组件连接，所述第二旋转连接组件与所述第二夹持组件连接，所述第一旋转连接组件和所述第二旋转连接组件分别带动所述第一夹持组件和所述第二夹持组件绕所述旋转轴同步旋转。5.根据权利要求4所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述第一夹持组件和所述第二夹持组件均包括固定组件，所述固定组件包括下导向件固定组件、上导向件固定组件和固定支撑件，所述下导向件固定组件和所述上导向件固定组件分别与所述固定支撑件活动连接，所述第一夹持组件的固定支撑件与所述第一旋转连接组件连接固定，所述第二夹持组件的固定支撑件与所述第二旋转连接组件连接固定。6.根据权利要求5所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述第一夹持组件和所述第二夹持组件均包括：若干下导向件，与所述基板的周缘部接触并从下方支撑所述基板，所述若干下导向件固定设置于所述下导向件固定组件；若干上导向件，与所述基板的周缘部接触并与所述下导...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭博，
申请(专利权)人：上海芯源微企业发展有限公司，
类型：发明
国别省市：