气液混合装置及方法制造方法及图纸

一种气液混合装置，包括一压力槽以及一气体输入管，于所述压力槽的槽体内设有限流板，以所述限流板将所述压力槽内分隔为一气液混合室以及一液体储存室，所述气体输入管由外穿入所述气液混合室内且具有多个气孔，所述限流板具有一限流通道，将所述限流通道的总截面积，限制为小于向所述压力槽输入液体的输入口的截面积的四分之一；通过限流通道的截面积限制所述气液混合室的液体流出量，使输入所述槽体的液体能快速补充至所述气液混合室，减少所述气液混合室的压力变化，进而提供稳定浓度的气体溶解液。气体溶解液。气体溶解液。

【技术实现步骤摘要】
气液混合装置及方法


[0001]本专利技术涉及一种气液混合的手段，尤其涉及一种能供应稳定浓度气体溶解液的气液混合装置及方法。

技术介绍

[0002]目前将气体混合于液体的系统，例如传统型压力桶的系统，其架构包含压缩机、静态混合器、喷射器、高压溶解槽、饱和槽等装置，在使用时管路之间的控制与回馈多半需要以电子控制的方式进行，然而电子控制的系统受限于需要电力供应，因此有必要开发一种非电子控制的装置，用于稳定供应特定浓度的气体溶解液。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术之目的在于提供一种气液混合装置，通过流量限制的方式稳定气液混合空间内的压力，达到能提供稳定浓度的气体溶解液的效果。
[0004]缘以达成上述目的，本专利技术提供一种气液混合装置，包括：
[0005]一压力槽，包括一压力槽体及一限流板，其中所述压力槽体具有一气体输入管穿孔，所述限流板设置于所述压力槽体内部且将所述压力槽体内部的空间分隔为一气液混合室以及一液体储存室，所述限流板具有一限流通道，所述限流通道连通所述气液混合室以及所述液体储存室，且所述限流通道的总截面积小于所述液体输入口截面积的四分之一，所述压力槽体对应所述气液混合室的部分具有一液体输入口，所述压力槽体对应所述液体储存室的部分具有一液体输出口；以及
[0006]一气体输入管，穿过所述气体输入管穿孔而使部分管段位于所述压力槽体外，部分管段位于所述压力槽体内部，其中所述气体输入管位于所述压力槽体内部的管段的内端具有一内端部，所述内端部位于所述气液混合室并具有多个气孔。
[0007]缘以达成上述目的，本专利技术提供一种气液混合方法，其方法的步骤包括：
[0008]将由一气液混合室通往一液体储存室的限流通道的总截面积，限制在通往所述气液混合室的液体输入口的截面积的四分之一以下；以及
[0009]由所述液体输入口持续输入液体，并向所述气液混合室持续注入欲溶入液体的气体的气泡，使气泡在所述气液混合室内溶入液体成为气体溶解液，通过前述截面积的比例使所述限流通道产生限流的效果，使流入所述气液混合室内的液体能快速补充而将压力补满，减少所述气液混合室内液体的压力变化，令气体溶解液的浓度稳定，再由所述液体储存室向外输出气体溶解液。
[0010]本专利技术使用或实施时，液体由所述液体输入口进入所述压力槽体后，由所述气体输入管输入的气体通过多个气孔化为气泡，与液体混合溶解在所述气液混合室内成为气体溶解液，接着气体溶解液流入所述液体储存室，再由所述液体输出口输出提供机台清洗或其他用途的使用。
[0011]本专利技术之效果在于，由于限流通道的总截面积在所述液体输入口的截面积的四分
之一以下，因此气体溶解液由所述液体输出口流出供应机台后，液体能快速地流入所述气液混合室补充将压力补满，减少所述气液混合室内液体的压力变化，过程中不需要电子控制的手段，通过液体流入与流出孔径的比例限制，即可使所述气液混合室内产生的气体溶解液的浓度稳定，进而输出浓度稳定的气体溶解液。
附图说明
[0012]图1是本专利技术一优选实施例压力槽配合气体输入管的立体示意图。
[0013]图2为本专利技术一优选实施例连接多个晶圆清洗装置的示意图。
[0014]图3为本专利技术一优选实施例加装/未装限流板时之流量与导电率图。
[0015]图4A为本专利技术一优选实施例液体输出平衡时的气孔状态示意图。
[0016]图4B为本专利技术一优选实施例液体输出减少瞬间的气孔状态示意图。
[0017]图4C为本专利技术一优选实施例液体输出增加时的气孔状态示意图。
具体实施方式
[0018]为能更清楚地说明本专利技术，兹举优选实施例并配合附图详细说明如后。请参图1、图2所示，为本专利技术一优选实施例之气液混合装置100，主要包括一压力槽10以及一气体输入管20，其中：
[0019]所述压力槽10包括一压力槽体12以及一限流板14，所述限流板14结合于所述压力槽体12的内部，如本优选实施例中所述限流板14是将所述压力槽10内部的空间上下两侧分隔成一气液混合室121以及一液体储存室122，所述压力槽体12对应所述气液混合室121的顶部具有一液体输入口123，所述压力槽体12对应所述液体储存室122的底部的两侧具有一液体输出口124以及一气体输入管穿孔125；本专利技术除前述将所述压力槽10设为直式的状态以外，在其他优选实施例中也可以通过所述限流板14将所述压力槽体12内的所述气液混合室121以及所述液体储存室122分隔为左右并列的状态。
[0020]所述限流板14具有一限流通道141，以所述限流通道141连通所述气液混合室121以及所述液体储存室122，在本优选实施例中所述限流通道141是单孔型态的圆孔，在其他的优选实施例中所述限流板14亦可设计成双孔或多孔的型态，所述限流板14的中间具有一中间穿孔142；本优选实施例将所述限流通道141的总截面积设为小于所述液体输入口截面积的四分之一的设计，借此可利用所述限流通道141限制液体向所述液体储存室122流出的限流功能，使流入所述气液混合室121内的液体能快速补充而将压力补满，达到减少所述气液混合室121内液体的压力变化的效果。
[0021]所述气体输入管20是管体，并且内端由外密封地穿经所述气体输入管穿孔125而伸入所述压力槽体12的液体储存室122内，使部分管段位于所述压力槽体12，部分管段位于所述压力槽体12内部。所述气体输入管20穿入所述液体储存室122的内端是封闭端，于穿入后向上转折而由所述中间穿孔142密封地穿入所述气液混合室121，所述气体输入管20伸入所述气液混合室121内的部分为一内端部22，所述内端部22的周围具有多个气孔24；在其他优选实施例中所述气体输入管20可改由所述压力槽体12的顶部直接穿入所述气液混合室121，同样可以达到利用多个气孔24向所述气液混合室121输入气泡与液体混合的效果，这时所述限流板14因不需要让所述气体输入管20穿过，因此没有设置前述的中间穿孔142。
[0022]前述优选实施例的所述气液混合装置100混合气体与液体时，是由所述压力槽10的液体输入口123与所述气体输入管20分别输入液体与气体，例如在本优选实施例中液体与气体分别使用去离子水(DIW)与二氧化碳气体(CO
2 gas)。由所述液体输入口123输入所述气液混合室121的去离子水会充满所述气液混合室121以及所述液体储存室122，由所述气体输入管20输入的二氧化碳气体会通过多个气孔24化为气泡，在所述气液混合室121内混合、溶入去离子水成为二氧化碳的气体溶解液(CO2‑
DIW)；所述气液混合装置100通过所述液体输出口124以并联的方式连接一个以上的晶圆清洗装置C，在本优选实施例中是连接多个晶圆清洗装置C，各晶圆清洗装置C的前端分别设有一机台手动阀C1，通过操作各机台手动阀C1可控制各晶圆清洗装置C的气体溶解液的总使用量。
[0023]为了让液体接触各气孔24的孔壁时，产生毛细现象的毛细压力(Ca本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气液混合装置，包括：一压力槽，包括一压力槽体及一限流板，其中所述压力槽体具有一气体输入管穿孔，所述限流板设置于所述压力槽体内部且将所述压力槽体内部的空间分隔为一气液混合室以及一液体储存室，所述限流板具有一限流通道，所述限流通道连通所述气液混合室以及所述液体储存室，且所述限流通道的总截面积小于所述液体输入口截面积的四分之一，所述压力槽体对应所述气液混合室的部分具有一液体输入口，所述压力槽体对应所述液体储存室的部分具有一液体输出口；以及一气体输入管，穿过所述气体输入管穿孔而使部分管段位于所述压力槽体外，部分管段位于所述压力槽体内部，其中所述气体输入管位于所述压力槽体内部的管段的内端具有一内端部，所述内端部位于所述气液混合室并具有多个气孔。2.如权利要求1所述的气液混合装置，其中，所述液体储存室的体积小于所述气液混合室的体积的四分之一以下。3.如权利要求1或2所述的气液混合装置，其中，包括一浓度侦测装置，所述浓度侦测装置连接于所述液体输出口，用于量测由所述液体储存室向所述液体输出口输出的气体溶解液的气体浓度变化。4.如权利要求3所述的气液混合装置，其中，配合所述气液混合室以及所述液体储存室的位置，于所述压力槽体分别安装一气液混合室压力计以及一液体储存室压力计，以所述气液混合室压力计量测所述气液混合室内的液体压力，以所述液体储存室压力计量测所述液体储存室内的液体压力。5.如权利要求4所述的气液混合装置，其中，所述压力槽体对应所述气液混合室的部分具有一泄流孔，于所述泄流孔连接一泄流管，于所述泄流管串联设有一泄流限流阀件。6.如权利要求5所述的气液混合装置，其中，所述气体输入管穿孔是位于所述压力槽体对应所述液体储存室的位置，令所述气体输入管的部分管段穿入所述液体储存室，所述限流板的中间具有一中间穿孔，所述气体输入管的所述内端部由所述中间穿孔穿入所述气液混合室。7.如权利要求6所述的气液混合装置，其中，于所述液体输入口连接一液体输入管接向一液体供应来源，于所述气体输入管的外端连接一气体供应来源，于所述液体输出口连接一液体输出管，所述浓度侦测装置串联地设于所述液体输出管。8.如权利要求7所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚楚乔，郭哲玮，邝厚武，朱雅琪，
申请(专利权)人：信纮科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：