密封机构及晶圆传输设备制造技术

本发明专利技术公开了一种密封机构及晶圆传输设备，所述密封机构包括铰链结构和调节结构；所述铰链结构包括第一铰接块、第二铰接块以及铰接转轴，所述第一铰接块和所述第二铰接块通过铰接转轴连接；所述调节结构包括第一调节块、第二调节块、第一调节螺丝、第二调节螺丝以及第三调节螺丝；所述晶圆传输设备包括柜体和柜门，通过铰链结构实现柜体和柜门的稳定安装，同时通过调节结构和铰链结构的配合实现柜门的上下左右位置调节，使得多个门板之间在开启时，更独立和流畅，减少了碰撞，同时通过调整门板的间隙使得门板和柜体之间更加美观、整齐。整齐。整齐。

【技术实现步骤摘要】
密封机构及晶圆传输设备


[0001]本专利技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种密封机构及晶圆传输设备。

技术介绍

[0002]在半导体的生产过程中，常常需要使用各种柜体作为辅助，例如晶圆传输设备，这些柜体上都需要设置门板，通常是多层门板上下平行设置，通过分层打开，进行取放材料。
[0003]常规的多层门板和柜体的安装通过铰链设置，这些铰链基本上分为两大类，其一，外置铰链；其二，隐藏式铰链。但这两类铰链均有不足之处，第一，缺少限位结构，易导致门板多度开启；第二，缺少多方向门板位置调整结构，在长时间使用后，门板易发生倾斜，且在打开时易与相邻的门板造成碰撞，而且多层门板之间的间隙不统一，或大或小，导致门板和柜体的密封性变差。

技术实现思路

[0004]为克服上述缺点，本专利技术的目的在于提供一种密封机构及晶圆传输设备，解决传统的铰链缺少在多个方向上的门板位置调整结构，从而导致门板易发生倾斜，且在打开时易与相邻的门板造成碰撞，多层门板之间的间隙不统一，或大或小，导致门板和柜体的密封性变差的技术问题。
[0005]为了达到以上目的，本专利技术采用的技术方案是：一种密封机构，所述密封机构包括铰链结构和调节结构；
[0006]所述铰链结构包括第一铰接块、第二铰接块以及铰接转轴，所述第一铰接块和所述第二铰接块通过铰接转轴连接；
[0007]所述调节结构包括第一调节块、第二调节块、第一调节螺丝、第二调节螺丝以及第三调节螺丝；
[0008]所述第一铰接块上开设有第一安装槽，所述第一调节块设置在所述第一安装槽内，且所述第一调节块与柜体固定连接，所述第一调节螺丝设置在所述第一铰接块上并抵靠所述第一调节块；
[0009]所述第二铰接块上开设有第二安装槽，所述第二调节块设置在所述第二安装槽内，且所述第二调节块与柜门固定连接，所述第二调节螺丝设置在所述第二铰接块上并抵靠所述第二调节块，所述第三调节螺丝设置在所述第二调节块上并抵靠所述第二铰接块；
[0010]通过旋转第一调节螺丝的方式可使柜门在第一方向上移动；
[0011]通过旋转第二调节螺丝和第三调节螺丝的方式可使柜门在第二方向上移动。
[0012]本专利技术的有益效果为：本方案设计的一种密封机构，通过铰链结构实现柜体和柜门的稳定安装，同时通过调节结构和铰链结构的配合实现柜门的上下左右位置调节，使得多个门板之间在开启时，更独立和流畅，减少了碰撞，同时通过调整门板的间隙使得门板和柜体之间更加美观、整齐。
[0013]进一步地，所述第一铰接块上开设有第一导向孔，所述第一导向孔位于所述第一
安装槽的槽底部，所述第一调节块上设置有第一凸起，所述第一凸起插入所述第一导向孔内；所述第二铰接块上开设有第二导向孔，所述第二导向孔位于所述第二安装槽的槽底部位，所述第二调节块上设置有第二凸起，所述第二凸起插入所述第二导向孔内；通过导向孔和凸起的结构配合，可以对第一调节块和第二调节块在移动时起到导向作用，保证第一调节块和第二调节块在移动时一直处于平移状态，避免出现位置偏移的情况，凸起在导向孔内的移动方向和调节块的移动方向保持一致。
[0014]进一步地，所述第一方向和所述第二方向互相垂直；第一调节块和第二调节块的移动方式都为平移，同时两者的移动方向互相垂直，第一方向为上下平移，第二方向为左右平移。
[0015]进一步地，所述第一铰接块上开设有第一螺丝孔，所述第一调节螺丝穿过所述第一螺丝孔并抵靠在所述第一调节块上；
[0016]所述第二铰接块上开设有第二螺丝孔，所述第二调节螺丝穿过所述第二螺丝孔并抵靠在所述第二调节块上；
[0017]所述第二调节块上开设有第三螺丝孔，所述第三调节螺丝穿过所述第三螺丝孔并抵靠在所述第二铰接块上。
[0018]旋转第一调节螺丝时，第一调节螺丝将力作用在第一调节块上，旋转第二调节螺丝时，第二调节螺丝将力作用在第二调节块上，旋转第三调节螺丝时，第三调节螺丝将力作用在第二铰接块上。
[0019]进一步地，所述第一调节螺丝的数量不少于两个；由于柜门的移动方向分别为上下移动和左右移动，同一方向上的移动形式有两种，所述第一调节螺丝至少要设置两个，两个螺丝配合一个内旋一个外旋从而实现柜门的上下移动；而第二调节螺丝和第三调节螺丝形成配合，实现柜门在左右方向上的移动。
[0020]进一步地，所述第一调节块和所述第二调节块上都开设有螺纹孔，所述第一调节块和所述第二调节块都通过螺丝分别与所述柜体、所述柜门固定连接；通过螺丝的方式将第一调节块和第二调节块分别与柜体、柜门进行固定，螺丝固定方式方便安装以及后期的拆卸。
[0021]进一步地，所述第二铰接块设置在柜门的内侧；此结构为隐藏式铰链设计，当从门板外侧看时，并不能看出此铰链的存在，从而有效地提高整体美观度。
[0022]进一步地，所述第一铰接块上设置限位挡边，且柜门绕铰接转轴旋转时，所述柜门能与限位挡边接触；通过限位挡边的设置，可以控制门板的旋转角度，例如，限位挡边越靠近门板，其打开的角度越小，限位挡边越远离门板，其打开的角度越大，当然，最大的开启角度为180度。
[0023]进一步地，所述铰接转轴的端部设置限位卡槽，且所述限位卡槽内设置限位环；限位环的尺寸大于铰接转轴的尺寸，能保证铰接转轴设置时的稳定，不会在门板打开的过程中，发生铰接转轴的脱落。
[0024]进一步地，所述调节结构还包括第四调节螺丝，所述第四调节螺丝设置在所述第一铰接块上并插入所述第一调节块内部。
[0025]进一步地，所述第一铰接块上开设有第四螺丝孔，所述第四调节螺丝穿过所述第四螺丝孔并插入所述第一调节块内部，且所述第四螺丝孔的螺纹方向与所述第一螺丝孔的
螺纹方向相反。
[0026]进一步地，第一调节块上靠近第四调节螺丝的一侧开设有与第四调节螺丝匹配的螺纹孔，第四调节螺丝穿过第一铰接块上的第四螺丝孔后拧入第一调节块的螺纹孔中。
[0027]本专利技术还公开一种晶圆传输设备，包括设备本体，所述设备本体包括柜体、柜门以及上述密封机构，通过所述密封机构实现柜门的上下左右位置调节。
附图说明
[0028]图1为本专利技术实施例一密封机构分解示意图。
[0029]图2为本专利技术实施例一密封机构与柜门、柜体安装示意图。
[0030]图3为本专利技术实施例一密封机构整体示意图。
[0031]图4为本专利技术实施例一第二铰接块结构示意图。
[0032]图5为本专利技术实施例一限位挡边结构示意图。
[0033]图6为本专利技术实施例二密封机构整体结构示意图。
[0034]图7为本专利技术实施例二密封机构整体剖视图。
[0035]图8为本专利技术实施例二密封机构与柜门、柜体安装示意图。
[0036]图中：
[0037]10、第一调节块；11、第一调节螺丝；12、第一螺丝孔；13、第一安装槽；14、第一导向孔；15、第四调节螺丝；
[0038]20、第二调节块；21、第二调节螺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封机构，其特征在于：所述密封机构包括铰链结构和调节结构；所述铰链结构包括第一铰接块、第二铰接块以及铰接转轴，所述第一铰接块和所述第二铰接块通过铰接转轴连接；所述调节结构包括第一调节块、第二调节块、第一调节螺丝、第二调节螺丝以及第三调节螺丝；所述第一铰接块上开设有第一安装槽，所述第一调节块设置在所述第一安装槽内，且所述第一调节块与柜体固定连接，所述第一调节螺丝设置在所述第一铰接块上并抵靠所述第一调节块；所述第二铰接块上开设有第二安装槽，所述第二调节块设置在所述第二安装槽内，且所述第二调节块与柜门固定连接，所述第二调节螺丝设置在所述第二铰接块上并抵靠所述第二调节块，所述第三调节螺丝设置在所述第二调节块上并抵靠所述第二铰接块；通过旋转第一调节螺丝的方式可使柜门在第一方向上移动；通过旋转第二调节螺丝和第三调节螺丝的方式可使柜门在第二方向上移动。2.根据权利要求1所述的密封机构，其特征在于：所述第一铰接块上开设有第一导向孔，所述第一导向孔位于所述第一安装槽的槽底部，所述第一调节块上设置有第一凸起，所述第一凸起插入所述第一导向孔内；所述第二铰接块上开设有第二导向孔，所述第二导向孔位于所述第二安装槽的槽底部位，所述第二调节块上设置有第二凸起，所述第二凸起插入所述第二导向孔内。所述第一凸起在所述第一导向孔内的移动方向与第一方向相同，所述第二凸起在所述第二导向孔内的移动方向与第二方向相同。3.根据权利要求2所述的密封机构，其特征在于：所述第一方向和所述第二方向互相垂直。4.根据权利要求1所述的密封机构，其特征在于：所述第一铰接块上开设有第一螺丝孔，所述第一调节螺丝穿过所述第一螺丝孔并抵靠在所述第一调节块上；所述第二铰接块上开设有第二螺丝孔，所述第二调节螺丝穿过所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟亚东，张庆，鲍伟成，王文广，薛增辉，祝佳辉，葛敬昌，
申请(专利权)人：上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司，
类型：发明
国别省市：