一种真空探针台制造技术

本申请涉及探针台领域，尤其是涉及一种真空探针台，包括工作台、设置在工作台上的真空腔座，所述真空腔座内设置有安装块，所述安装块的上端设置有用于放置晶圆的承载板，所述真空腔座内滑移设置有第一导块，所述第一导向块的侧壁上固定有第一导杆，所述安装块与第一导杆滑移连接，所述真空腔座内滑移设置有第二导块，所述第二导块的侧壁上固定有第二导杆，所述安装块与第二导杆滑移连接，所述第一导杆与第二导杆上下交错，且第一导杆与第二导杆呈垂直设置，所述第一导块与第二导块的滑移方向呈垂直设置，所述真空腔座上设置有用于驱使第一导块与第二导向块同步或异步滑移的调节组件，本申请具有检测方便快捷的效果。本申请具有检测方便快捷的效果。本申请具有检测方便快捷的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种真空探针台


[0001]本申请涉及探针台领域，尤其是涉及一种真空探针台。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。主要是为了在批量生产之前确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
[0003]公告号为CN211955566U的技术涉及半导体测试
，尤其涉及一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，包括真空腔体、三维移动机构、电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构，真空腔体设置电信接口、冷源接口、抽气接口和三维移动机构接口，并且真空腔体内设置载物台，载物台设置冷源流通管道，真空腔体外的冷源装置通过循环管道与所述冷源流通管道相接，并且载物台底面设置加热部件，真空腔体通过真空接头把光电信号引入真空腔体内的同时也能保证真空腔体的真空度；制冷剂直接通过载物台循环，能够实现快速降温，同时配合加热部件，通过加热与降温交替进行，快速达到半导体的测试温度，大大缩减测试时间，提升半导体器件的测试效率。
[0004]由上述技术可知现有的真空探针台，在实际测试样品的过程中，需要将整个硅晶片放置在真空腔内，然后进行抽真空，当整个腔室达到所需的真空度时，需要调节分布在真空腔周侧的若干个探针臂，实现对硅晶片上各个电极之间的接触检测，由于真空环境的限制以及波纹管的伸缩可调性，为了便于探针臂移动，每个探针臂需要装设在单独的波纹管内，波纹管保障了真空腔内的真空度，同时也可满足探针臂移动的可能性。
[0005]但是在实际测试过程中，已知现有硅晶片的尺寸通常较大的可达四十英寸左右，尤其是当需要测试硅晶片边缘的电极时，需要调节相应探针臂在X轴方向移动距离较大，又或者对硅晶片边缘间距几微米的两电极进行检测时，需要调节相应探针臂不仅在X轴方向移动距离较大，而且Y轴方向的移动距离也是比较大的，而由于波纹管内腔直径的限制，现有的探针臂无法移动较大的距离；且如果单方面增大波纹管的设计直径，分布在真空腔周侧的探针臂数量势必需要减少，探针臂数量减少后便无法实现对硅晶片表面电极的全覆盖检测。

技术实现思路

[0006]为了在保障现有探针臂数量的前提下，便于对硅晶片表面任一电极进行检测，本申请提供一种真空探针台。
[0007]本申请提供的一种真空探针台，采用如下的技术方案：一种真空探针台，包括工作台、设置在工作台上的真空腔座，所述真空腔座内设置有安装块，所述安装块的上端设置有用于放置晶圆的承载板，所述真空腔座内滑移设置有第一导块，所述第一导向块的侧壁上固定有第一导杆，所述安装块与第一导杆滑移连接，所述真空腔座内滑移设置有第二导块，所述第二导块的侧壁上固定有第二导杆，所述安装块与第二导杆滑移连接，所述第一导杆与第二导杆上下交错，且第一导杆与第二导杆呈垂直
设置，所述第一导块与第二导块的滑移方向呈垂直设置，所述真空腔座上设置有用于驱使第一导块与第二导向块同步或异步滑移的调节组件。
[0008]通过采用上述技术方案，预先将硅晶片固定安装在承载板上，当需要对硅晶片边缘处的两个相近的电极进行电测时，为了减少探针臂的移动距离，减少探针臂的移动干涉，通过调节组件可驱使对第一导块沿着第一导杆滑移或第二导料块沿着第二导杆滑移，由于第一导杆与第二导杆上下交错的设置，从而调节完成承载板的位置后，整个承载板便处于固定位置的状态，承载板难以自由沿着第一导杆或第二导杆的轴向滑移，通过上述的调节方式，可快速将承载板的电极移动至合适探针臂的下方，此时探针臂无需大范围的移动，检测方便快捷。
[0009]可选的，所述调节组件包括两个转动连接在真空腔座内腔内的第一丝杠、设置在真空腔座外侧驱使第一丝杠转动的驱动部件，两个所述第一丝杠呈垂直设置，其中一个第一丝杠与第一导块螺纹连接，另一第一丝杠与第二导块螺纹连接。
[0010]通过采用上述技术方案，通过驱动部件可驱使相应的第一丝杠转动，从而实现承载板在单个方向的移动，通过两个驱动部件同时工作，从而可实现承载板在X轴以及Y轴两个方向上的移动。
[0011]可选的，驱动部件包括固定在真空腔座外侧的安装管、同轴转动连接在安装管内腔的驱动杆、固定在驱动杆伸出安装管一端外的手轮，所述驱动杆远离手轮一端延伸至真空腔座内腔内与第一丝杠同轴固定连接，所述安装管与驱动杆之间填充有密封层。
[0012]通过采用上述技术方案，驱使手轮转动，使得驱动杆与手轮同步转动，转动过程中，为了使得真空腔座内的真空度难以产生泄漏，通过在安装管与驱动杆之间填充密封黄油，从而形成密封层，使得外界气体难以沿着驱动杆的外侧缝隙渗入至真空腔座内，保障了真空腔座内的真空度。
[0013]可选的，所述驱动杆的外侧还同轴固定有密封圈，两个所述密封圈分别设置在安装管的两端开口处。
[0014]通过采用上述技术方案，密封圈增强了安装管两端开口处的密封性，使得驱动杆在转动的过程中难以影响真空腔座内腔的真空度。
[0015]可选的，所述第一丝杠端部同轴设置有第一锥齿轮，另一所述第一丝杠端部同轴固定有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合，在所述第一锥齿轮同轴设置有用于驱使第二锥齿轮单向转动的联动件。
[0016]通过采用上述技术方案，当需要其中一个第一丝杠转动的过程中，预先实现对承载板X方向的移动，当需要另一个丝杠实现承载板Y轴方向的调节时，此时反向转动调节X轴方向的第一丝杠，从而在联动件的作用下，驱使单个第一丝杠转动，实现承载板X轴与Y轴方向的调节。
[0017]可选的，所述联动件包括同轴固定在其中一个丝杠端部的圆盘、同轴设置在圆盘外侧的内棘轮、转动连接在圆盘侧壁上的棘爪、设置在圆盘侧壁上按压棘爪与内棘轮啮合的压簧，所述内棘轮转动连接在真空腔座的内腔底面上，所述第一锥齿轮同轴固定在内棘轮的外侧。
[0018]通过采用上述技术方案，通过驱动一个第一丝杠转动实现承载板X轴与Y轴方向的调节时，转动调节X轴向的第一丝杠，使得第一锥齿轮啮合第二锥齿轮转动，从而在压簧的
作用下，棘爪啮合着内棘轮使得圆盘同步转动，从而实现转动一个第一丝杠，带动另一个第一丝杠转动，实现对承载板两个方向的调节。
[0019]可选的，还包括探针臂，所述探针臂包括设置在安装台上的三维移动座、固定在三维移动座上的移动杆、固定在移动杆远离三维移动座一端的连接块、设置在连接块侧壁上的探针杆，所述连接块的侧壁上贯穿开设有用于探针杆转动的安装槽，所述安装槽的内壁上开设有导向孔，所述探针杆伸入安装槽内一端的侧壁上固定有滑移在导向孔内的导向块，所述安装槽的侧壁上还开设有用于插设探针杆端部的插接槽。
[0020]通过采用上述技术方案，三维移动座可实现对探针臂进行XYZ三个轴向进行调节，已知为了便于实现通过六个探针臂可对晶圆表面的所有电极进行测试，若干个探针臂之间所围合形成的开口较小，难以直接将晶圆直接放置在承载板上，此时预先沿着探针杆的轴向拉动探针杆，使得探针杆远离探针的一端脱离插接槽，然后转动整个探针杆一百一十度左右，从而实现将探针杆与移动杆形成折叠夹角，从而更加便本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空探针台，包括工作台(1)、设置在工作台(1)上的真空腔座(2)，其特征在于：所述真空腔座(2)内设置有安装块(3)，所述安装块(3)的上端设置有用于放置晶圆的承载板(4)，所述真空腔座(2)内滑移设置有第一导块(5)，所述第一导向块(30)的侧壁上固定有第一导杆(6)，所述安装块(3)与第一导杆(6)滑移连接，所述真空腔座(2)内滑移设置有第二导块(7)，所述第二导块(7)的侧壁上固定有第二导杆(8)，所述安装块(3)与第二导杆(8)滑移连接，所述第一导杆(6)与第二导杆(8)上下交错，且第一导杆(6)与第二导杆(8)呈垂直设置，所述第一导块(5)与第二导块(7)的滑移方向呈垂直设置，所述真空腔座(2)上设置有用于驱使第一导块(5)与第二导向块(30)同步或异步滑移的调节组件(9)。2.根据权利要求1所述的一种真空探针台，其特征在于：所述调节组件(9)包括两个转动连接在真空腔座(2)内腔内的第一丝杠(10)、设置在真空腔座(2)外侧驱使第一丝杠(10)转动的驱动部件(11)，两个所述第一丝杠(10)呈垂直设置，其中一个第一丝杠(10)与第一导块(5)螺纹连接，另一第一丝杠(10)与第二导块(7)螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种真空探针台，其特征在于：驱动部件(11)包括固定在真空腔座(2)外侧的安装管(12)、同轴转动连接在安装管(12)内腔的驱动杆(13)、固定在驱动杆(13)伸出安装管(12)一端外的手轮(14)，所述驱动杆(13)远离手轮(14)一端延伸至真空腔座(2)内腔内与第一丝杠(10)同轴固定连接，所述安装管(12)与驱动杆(13)之间填充有密封层(15)。4.根据权利要求3所述的一种真空探针台，其特征在于：所述驱动杆(13)的外侧还同轴固定有密封圈(16)，两个所述密封圈(16)分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓婷，
申请(专利权)人：上海柯舜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：