石墨舟运载装置制造方法及图纸

本公开涉及一种石墨舟运载装置，包括：石墨舟车，具有多个沿Z方向设置的承载层，多个承载层分别用于承载石墨舟；机架，用于放置石墨舟车；第一输送机构，设置在机架上，用于沿X方向向石墨舟车输送石墨舟或将石墨舟车上的石墨舟输出至下游设备，第二输送机构，安装于机架，用于驱动石墨舟车沿Z方向移动，以将预定的承载层移动至对应第一输送机构的位置处。实现了石墨舟运载的自动化和连续性，省去了人工搬运，从而避免了人工转移石墨舟的过程中出现石墨舟出现损坏的问题，通过两个输送机构实现了石墨舟和石墨舟车的分别传动，使两者独立运行，互不干扰，且降低了石墨舟输送难度，提高了石墨舟的传输效率和生产效率以及运输过程的安全性。安全性。安全性。

【技术实现步骤摘要】
石墨舟运载装置


[0001]本公开涉及石墨舟运输
，具体地，涉及一种石墨舟运载装置。

技术介绍

[0002]石墨舟和石墨舟车通常会应用在硅片生产或于液晶面板等行业中。在真空镀膜工艺过程中，石墨舟作为硅片载体，每个石墨舟可以装载许多片硅片；石墨舟车又作为石墨舟的载体，每辆石墨舟车可以装载若干个石墨舟。由于硅片需要正反两面镀膜且镀膜设备要求是每次许多片硅片一起镀膜。相关技术中，在对硅片镀膜时，通常需要人工对装载硅片的石墨舟进行转移，将石墨舟放置在石墨舟车上或从石墨舟车上取出，再进行转移，在转移过程中人工操作不稳固，石墨舟和硅片很容易磕碰和受震，且容易出现晃动进而发生堆叠的产品发生倾倒的情况。

技术实现思路

[0003]本公开的目的是提供一种石墨舟运载装置，该石墨舟运载装置能够至少部分的解决相关技术中存在的技术问题。
[0004]为了实现上述目的，本公开提供一种石墨舟运载装置，包括：
[0005]石墨舟车，具有多个沿Z方向设置的承载层，多个所述承载层分别用于承载石墨舟；
[0006]机架，用于放置所述石墨舟车本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟运载装置，其特征在于，包括：石墨舟车，具有多个沿Z方向设置的承载层，多个所述承载层分别用于承载石墨舟；机架，用于放置所述石墨舟车；第一输送机构，设置在所述机架上，用于沿X方向向所述石墨舟车输送所述石墨舟或将所述石墨舟车上的所述石墨舟输出至下游设备，第二输送机构，安装于所述机架，用于驱动所述石墨舟车沿Z方向移动，以将预定的所述承载层移动至对应所述第一输送机构的位置处。2.根据权利要求1所述的石墨舟运载装置，其特征在于，所述石墨舟车包括构造为U型结构的框架和设置在所述U型结构两个侧面上的多个间隔设置的支撑件，所述两个侧面相对设置的两个所述支撑件形成为所述承载层，用于支撑在所述石墨舟的对侧边缘，所述第一输送机构沿Y方向位于相对的两个所述支撑件之间并与所述支撑件间隔设置。3.根据权利要求2所述的石墨舟运载装置，其特征在于，所述U型结构包括多个Z向延伸的支撑杆，每个所述支撑杆上分别设置有多个Z向间隔的所述支撑件。4.根据权利要求1所述的石墨舟运载装置，其特征在于，所述第一输送机构包括：第一动力件，用于输出驱动力；传送带，用于承载所述石墨舟，由所述第一动力件驱动以朝向所述石墨舟车输送或从所述石墨舟车输出所述石墨舟。5.根据权利要求4所述的石墨舟运载装置，其特征在于，所述机架包括顶部框架和侧向框架，所述顶部框架上安装有安装框架，所述第一输送机构安装在所述安装框架的梁上，所述安装框架沿X向与所述石墨舟车间隔设置；所述第一输送机构还包括与所述第一动力件传动连接的转轴和连接在所述转轴两端的传动轮，所述传送带为两条，分别套接在一端的所述传动轮上，所述传动轮铰接于支撑框架，所述支撑框架与所述安装框架的梁连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉，王刘洋，丁力，周楠，唐壮，任烨飞，
申请(专利权)人：江苏宏芯亿泰智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：