一种紫外滤光镜及其制备方法和应用技术

本发明专利技术公开了一种紫外滤光镜及其制备方法和应用，其中紫外滤光镜包括基片、第一膜层和第二膜层；基片具有相对设置的第一表面和第二表面；第一膜层设在第一表面，第一膜层由若干第一高折射率材料层和若干第一低折射率材料层交替设置而成，第一膜层靠近第一表面一侧和远离第一表面一侧均为第一高折射率材料层；第二膜层设在第二表面，第二膜层由若干第二高折射率材料层和若干第二低折射率材料层交替设置而成。本发明专利技术所述紫外滤光镜，通过在基片相对的两侧设置不同的交替设置的高折射率材料层和低折射率材料层，将反射带一分为二，整体膜层分布更为合理，且基片相对的两侧表面应力相对均匀，同时避免了单面应力过大出现的裂膜现象。膜现象。膜现象。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外滤光镜及其制备方法和应用


[0001]本专利技术属于光学元件及气体检测
，尤其涉及一种紫外滤光镜及其制备方法和应用。

技术介绍

[0002]目前SO2气体浓度检测系统，一般使用的检测光源是锌灯，锌灯光源后加入准直透镜进行光束准直，再配合透过式干涉滤光片进行滤光，获得有效激发光波段的光束，光束进入测量腔对SO2气体进行浓度检测。
[0003]紫外荧光光谱法SO2气体浓度检测中，需要紫外光(213nm
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214nm附近)作为激发光，使被测的SO2气体发出荧光(300nm
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420nm)，由于紫外波段光学特性，213nm的紫外光源价格昂贵，通常使用滤光的方式，从含有213nm的光源的锌灯中滤除掉其他波长成分，仅保留所需的有效波长，目前通用的方法是采用透过式干涉式滤光片，虽然其体积小便于集成，但这种滤光片价格高，透光效率极低、通常有效波长只有10
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20％的透射率，而其他无效波长也会有接近5％的透射率，导致在进行SO2气体光学检测时，本底信号过大，淹没SO2气体的特征信号，使分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外滤光镜，其特征在于，包括基片，所述基片具有相对设置的第一表面和第二表面；第一膜层，所述第一膜层设在所述第一表面，所述第一膜层由若干第一高折射率材料层和若干第一低折射率材料层交替设置而成，所述第一膜层靠近所述第一表面一侧和远离所述第一表面一侧均为第一高折射率材料层；第二膜层，所述第二膜层设在所述第二表面，所述第二膜层由若干第二高折射率材料层和若干第二低折射率材料层交替设置而成，所述第二膜层靠近所述第二表面一侧为第二低折射率材料层，所述第二膜层远离所述第二表面一侧为第二高折射率材料层。2.根据权利要求1所述的紫外滤光镜，其特征在于，所述第一高折射率材料层的单位厚度为27
‑
33nm，第一高折射率材料层的厚度20
‑
43.9nm之间；所述第一低折射率材料层的单位厚度为35
‑
41nm，第一低折射率材料层的厚度在32.66
‑
53.78nm之间；所述第二高折射率材料层的单位厚度为27
‑
33nm，第二高折射率材料层的厚度在22.91
‑
43.09nm之间；所述第二低折射率材料层的单位厚度为35
‑
41nm，第二低折射率材料层的厚度在30.63
‑
84.54nm之间。3.根据权利要求1所述的紫外滤光镜，其特征在于，所述第一膜层中第一高折射率材料层和第一低折射率材料层的总数为19
‑
39层；所述第二膜层中第二高折射率材料层和第二低折射率材料层的总数为18
‑
38层。4.根据权利要求1所述的紫外滤光镜，其特征在于，所述基片材质为紫外熔融石英或氟化钙；所述第一高折射率材料层和第二高折射率材料层的材质均为二氧化铪或氧化铝；所述第一低折射率材料层和所述第二低折射率材料层的材质均为氟化铝或氟化镁。5.一种制备如权利要求1至4任意一项所述的紫外滤光镜的方法，其特征在于，包括将所述基片进行预处理；将所述第一高折射率材料层材料、所述第一低折射率材料层材料、所述第二高折射率材料层材料和所述第二低折射率材料层材料依次预熔和烧结；采用真空蒸镀的方法在预处理后的所述基片的第一表面和第二表面分别形成所述第一膜层和所述第二膜层。6.根据权利要求5所述的紫外滤光镜的制备方法，其特征在于，所述预处理的方法为：将所述基片进行超声波清洗，再用惰性气体吹扫烘干，随后用离子源高能离子处理。7.根据权利要求5所述的紫外滤光镜的制备方法，其特征在于，对所述第一高折射率材料层材料和所述第二高折射率材料层材料进行预熔的方法为：采用电子枪在电流0.1
‑
180mA的条件下进行预熔，且电流自0.1mA开始每增加30mA对所述第一高折射率材料层材料或所述第二高折射率材料层材料表面反复预熔，直至所述第一高折射率材料层材料或所述第二高折射率材料层材料颗粒全部熔实，所述第一高折射率材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭志敏，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：