沉积炉观测装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于沉积炉观测装置，包括与观测孔连通的观测筒，所述观测筒固定于沉积炉外壁，所述观测筒内部竖直方向分别设有基准镜和刻度镜，所述基准镜和刻度镜均设有十字标线，两个所述十字标线在水平方向相重叠，所述刻度镜竖向设有刻度，本发明专利技术能够快速准确的确认熔石英砣料沉积面的调整范围，减少单次确认熔石英砣料沉积面高度变化量的时间，并可以有效的延长相邻两次确认熔石英砣料沉积面高度变化量的时间间隔，节约人力。节约人力。节约人力。

【技术实现步骤摘要】
沉积炉观测装置


[0001]本专利技术属于熔石英砣料生产
，具体涉及沉积炉观测装置。

技术介绍

[0002]如图1所示，熔石英砣料CVD气相沉积生产过程中，熔石英砣料不停的自转，熔石英砣料沉积面位置1在垂直方向上的变化，使熔石英砣料料头距燃烧器喷口的距离发生变化，进而导致熔石英砣料料头所处环境的温场与得料气氛环境发生变化，影响SiO2颗粒在熔石英砣料料头的熔化沉积过程，最终对熔石英玻璃的物理结构和光学性能造成不良影响，因此需要不断对熔石英砣料沉积面位置1进行调整，使其始终保持在最佳的沉积位置。
[0003]由于熔石英砣料CVD气相沉积炉内为高温强光的气相沉积环境，熔石英砣料的椭圆形玻璃态料头对电子光束具有反射、折射能力，导致电子监测类设备无法监测其沉积面位置在垂直方向上的位置变化情况，因此目前行业内对熔石英砣料CVD气相沉积生产过程中，熔石英砣料沉积面位置1在垂直方向上的变化监测，仍采用人眼通过观测孔2直接观察，仅凭视觉感观做定形判断，由于人眼判断的误差较大，导致为保证产品质量，需要多次观察反复确认才能初步确定调整值，且由于误差的存在导致相邻两次的设置调整值时间间隔短，工作人员工作量增加，浪费人力。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是：旨在提供一种沉积炉观测装置，能够快速准确的确认熔石英砣料沉积面的调整范围，减少单次确认熔石英砣料沉积面高度变化量的时间，并观测的精度高，可以有效的延长相邻两次确认熔石英砣料沉积面高度变化量的时间间隔，节约人力。
[0005]为实现上述技术目的，本专利技术采用的技术方案如下：
[0006]一种沉积炉观测装置，包括与观测孔连通的观测筒，所述观测筒固定于沉积炉外壁，所述观测筒内部竖直方向分别设有基准镜和刻度镜，所述基准镜和刻度镜均设有十字标线，两个所述十字标线在水平方向相重叠，所述刻度镜竖向设有刻度，设置十字标线用于对观察者的眼睛位置进行校准，仅当观察者的眼睛位置能够观察到两个所述十字标线相互重叠时，再观测熔石英砣料料尖而读取的刻度镜刻度值为有效值，通过读取该值并用相似三角形公式能够推导出熔石英砣料沉积面位置在垂直方向上的变化移动距离，这样计算出的数值相对于人眼直接观察调试，能够更加快速准确的将熔石英砣料料尖保持在合理的生产环境下，保证产品的质量。
[0007]其中，所述熔石英砣料沉积面位置在垂直方向上的变化移动距离L的计算公式为：
[0008][0009]n：以本装置刻度镜、基准镜两处的水平标线重合而形成的水平面为基准平面观测料尖，视线与刻度镜的刻度线有一个交叉点，交叉点的刻度值；
[0010]a：本装置观测端至刻度镜的水平距离；
[0011]b：本装置刻度镜至熔石英砣料料尖的水平距离。
[0012]其中，所述观测筒包括法兰、连接筒和延长筒，所述法兰与连接筒固定连接，所述法兰内部设有与刻度镜相匹配的第一装配槽，所述连接筒另一端内部设有与基准镜相匹配的第二装配槽，所述连接筒和延长筒螺纹连接。
[0013]其中，所述连接筒靠近法兰一侧上部设有螺纹通孔，所述螺纹通孔螺纹连接有定位螺杆，所述定位螺杆竖直贯穿连接筒并设有与刻度镜相匹配的指针。
[0014]其中，所述定位螺杆下侧套设有第一转动环，所述第一转动环连接有连接杆，所述连接杆连接有一字指针，所述一字指针靠近刻度镜，所述连接杆与一字指针构成T形形状。
[0015]其中，所述定位螺杆下侧套设有第二转动环，所述第二转动环与连接杆之间设有加固杆。
[0016]其中，所述法兰与沉积炉外壁之间还设有通气环，所述四周沿径向设有若干气孔，若干所述气孔连接有进气管。
[0017]其中，若干所述气孔均与同一根进气管连接，所述气孔内部设有均压片，所述均压片设有若干通气气孔。
[0018]其中，所述气孔与进气管之间连接有接头，所述接头与通气环螺纹连接，所述均压片设于接头底部。
[0019]其中，延长筒尾端包裹有软垫。
[0020]本专利技术与现有技术相对比具有以下有益点：
[0021]1.本装置通过读取观测熔石英砣料料尖而读取的刻度镜刻度值，并用相似三角形公式能够推导出熔石英砣料沉积面位置在垂直方向上的变化移动距离，这样计算出的数值相对于人眼直接观察调试，能够更加快速准确的得出数值，使熔石英砣料料尖始终保持在合理的生产环境下，保证产品的质量；
[0022]2.本装置基准镜安装于连接筒的另一端，且连接筒与法兰固定连接，使刻度镜和基准镜能够提前安装于连接筒内，便于提前调整两个十字标线在水平方向相重叠，方便安装；
[0023]3.本装置通过设置定位螺杆和指针，能够快速将指针移动至读数位置，不仅便于准确的读数，而且能提升读数效率，将原本四个旋转周期的读数时间降低至两周，大大的节约时间；
[0024]4.本装置使用定位螺杆套设第一转动环，第一转动环依次连接连接杆和一字指针，在结构简单安装方便的同时，实现了定位螺杆左右转动时一字指针始终有一端与刻度镜抵接，第一转动环相对定位螺杆保持不转动，一字指针能够一直指示在刻度镜的刻度上，便于精准读数
[0025]5.使用通气环向观测孔内部通气，在观测孔内部形成气幕，防止沉积炉内气相沉积的熔石英颗粒飘散到观测孔内，堵塞观测孔，从而对读取刻度进行干扰。
附图说明
[0026]本专利技术可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；
[0027]图1为现有沉积炉的剖面结构示意图；
[0028]图2为本专利技术实施例一的观测筒结构示意图；
[0029]图3为本专利技术实施例一的观测筒剖面结构示意图；
[0030]图4为本专利技术实施例一的观测筒和沉积炉结构示意图；
[0031]图5为本专利技术实施例二的观测筒剖面结构示意图；
[0032]图6为本专利技术实施例三的观测筒剖面结构示意图；
[0033]图7为本专利技术实施例四的观测筒剖面结构示意图；
[0034]图8为图7中A处的结构放大示意图；
[0035]图9为本专利技术实施例四的定位螺杆、第一转动环、连接杆、一字指针、第二转动环和加固杆装配结构示意图；
[0036]图10为本专利技术实施例五的通气环结构示意图；
[0037]图11为本专利技术实施例五的通气环剖面结构示意图；
[0038]图12为图11中B处的结构示意图；
[0039]图13为本专利技术实施例六的观测筒结构示意图；
[0040]主要元件符号说明如下：
[0041]熔石英砣料沉积面位置1、观测孔2、观测筒4、法兰41、第一装配槽411、连接筒42、第二装配槽421、螺纹通孔422、定位螺杆423、第一转动环424、连接杆425、一字指针426、第二转动环427、加固杆428、延长筒43、软垫431、基准镜44、刻度镜45、通气环5、气孔51、进气管52、第二调节阀521、均压片53、接头54、冷却进口61、第一调节阀611、排气口62、连接管7。
具体实施方式
[0042]为了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种沉积炉观测装置，其特征在于：包括与观测孔(2)连通的观测筒(4)，所述观测筒(4)固定于沉积炉外壁，所述观测筒(4)内部竖直方向分别设有基准镜(44)和刻度镜(45)，所述基准镜(44)和刻度镜(45)均设有十字标线，两个所述十字标线在水平方向相重叠，所述刻度镜(45)竖向设有刻度。2.根据权利要求1所述的沉积炉观测装置，其特征在于：所述熔石英砣料沉积面位置(1)在垂直方向上的变化移动距离L的计算公式为：n：以本装置刻度镜(45)、基准镜(44)两处的水平标线重合而形成的水平面为基准平面观测料尖，视线与刻度镜(45)的刻度线有一个交叉点，交叉点的刻度值；a：本装置观测端至刻度镜(45)的水平距离；b：本装置刻度镜(45)至熔石英砣料料尖的水平距离。3.根据权利要求1所述的沉积炉观测装置，其特征在于：所述观测筒(4)包括法兰(41)、连接筒(42)和延长筒(43)，所述法兰(41)与连接筒(42)固定连接，所述法兰(41)内部设有与刻度镜(45)相匹配的第一装配槽(411)，所述连接筒(42)另一端内部设有与基准镜(44)相匹配的第二装配槽(421)，所述连接筒(42)和延长筒(43)螺纹连接。4.根据权利要求3所述的沉积炉观测装置，其特征在于：所述连接筒(42)靠近法兰(41)一侧上部设有螺纹通孔(422)，所述螺纹通孔(422)螺纹连接有定位螺杆(423)，所述定位螺杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：何海建，付江，羊亮，于露平，刘明民，褚艳丽，
申请(专利权)人：江油神光石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：