沉积炉观测装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于沉积炉观测装置，包括与观测孔连通的观测筒，所述观测筒固定于沉积炉外壁，所述观测筒内部竖直方向分别设有基准镜和刻度镜，所述基准镜和刻度镜均设有十字标线，两个所述十字标线在水平方向相重叠，所述刻度镜竖向设有刻度，本发明专利技术能够快速准确的确认熔石英砣料沉积面的调整范围，减少单次确认熔石英砣料沉积面高度变化量的时间，并可以有效的延长相邻两次确认熔石英砣料沉积面高度变化量的时间间隔，节约人力。节约人力。节约人力。

【技术实现步骤摘要】
沉积炉观测装置


[0001]本专利技术属于熔石英砣料生产
，具体涉及沉积炉观测装置。

技术介绍

[0002]如图1所示，熔石英砣料CVD气相沉积生产过程中，熔石英砣料不停的自转，熔石英砣料沉积面位置1在垂直方向上的变化，使熔石英砣料料头距燃烧器喷口的距离发生变化，进而导致熔石英砣料料头所处环境的温场与得料气氛环境发生变化，影响SiO2颗粒在熔石英砣料料头的熔化沉积过程，最终对熔石英玻璃的物理结构和光学性能造成不良影响，因此需要不断对熔石英砣料沉积面位置1进行调整，使其始终保持在最佳的沉积位置。
[0003]由于熔石英砣料CVD气相沉积炉内为高温强光的气相沉积环境，熔石英砣料的椭圆形玻璃态料头对电子光束具有反射、折射能力，导致电子监测类设备无法监测其沉积面位置在垂直方向上的位置变化情况，因此目前行业内对熔石英砣料CVD气相沉积生产过程中，熔石英砣料沉积面位置1在垂直方向上的变化监测，仍采用人眼通过观测孔2直接观察，仅凭视觉感观做定形判断，由于人眼判断的误差较大，导致为保证产品质量，需要多次观察反复确认才能初步确定调整值，且由于误差的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种沉积炉观测装置，其特征在于：包括与观测孔(2)连通的观测筒(4)，所述观测筒(4)固定于沉积炉外壁，所述观测筒(4)内部竖直方向分别设有基准镜(44)和刻度镜(45)，所述基准镜(44)和刻度镜(45)均设有十字标线，两个所述十字标线在水平方向相重叠，所述刻度镜(45)竖向设有刻度。2.根据权利要求1所述的沉积炉观测装置，其特征在于：所述熔石英砣料沉积面位置(1)在垂直方向上的变化移动距离L的计算公式为：n：以本装置刻度镜(45)、基准镜(44)两处的水平标线重合而形成的水平面为基准平面观测料尖，视线与刻度镜(45)的刻度线有一个交叉点，交叉点的刻度值；a：本装置观测端至刻度镜(45)的水平距离；b：本装置刻度镜(45)至熔石英砣料料尖的水平距离。3.根据权利要求1所述的沉积炉观测装置，其特征在于：所述观测筒(4)包括法兰(41)、连接筒(42)和延长筒(43)，所述法兰(41)与连接筒(42)固定连接，所述法兰(41)内部设有与刻度镜(45)相匹配的第一装配槽(411)，所述连接筒(42)另一端内部设有与基准镜(44)相匹配的第二装配槽(421)，所述连接筒(42)和延长筒(43)螺纹连接。4.根据权利要求3所述的沉积炉观测装置，其特征在于：所述连接筒(42)靠近法兰(41)一侧上部设有螺纹通孔(422)，所述螺纹通孔(422)螺纹连接有定位螺杆(423)，所述定位螺杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：何海建，付江，羊亮，于露平，刘明民，褚艳丽，
申请(专利权)人：江油神光石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：