提供一种弹性波装置，能够有效地抑制横模。本发明专利技术的弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和IDT电极(3A～3C)。IDT电极(3A～3C)包括电极指间距相对宽的第一间距部(E)和相对窄的第二间距部(F)。中央区域(B)位于多个电极指延伸的方向上的中央侧，第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)位于中央区域(B)的两侧。在第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)设置有多个质量附加膜。多个质量附加膜包括配置于第一间距部(E)的多个第一质量附加膜(9a)和配置于第二间距部(F)的多个第二质量附加膜(9b)。第一质量附加膜(9a)的沿着弹性波传播方向的长度比第二质量附加膜(9b)的沿着弹性波传播方向的长度长。度长。度长。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
[0001]本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
[0002]以往，弹性波装置被广泛用于便携电话机的滤波器等。
[0003]在下述的专利文献1中，记载了声表面波谐振器的一例。在该声表面波谐振器中，在压电基板上设置有多个IDT(Interdigital Transducer，叉指换能器)电极。多个IDT电极沿着弹性波传播方向配置。各IDT电极的一部分的电极指间距与其他部分的电极指间距不同。
[0004]在下述的专利文献2所记载的弹性波装置中，IDT电极具有中央区域和一对边缘区域。一对边缘区域配置为在电极指延伸的方向上夹着中央区域。在边缘区域，在IDT电极上设置有质量附加膜。质量附加膜沿着弹性波传播方向延伸。由此，实现利用了活塞模式的横模的抑制。
[0005]在先技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2006
‑
333171号公报
[0008]专利文献2：国际公开第2017/110586号
技术实现思路
[0009]专利技术要解决的问题
[0010]在如专利文献1中的IDT电极那样具有电极指间距相对窄的部分及相对宽的部分的情况下，即便与专利文献2同样地设置了质量附加膜，也无法充分地抑制横模。
[0011]本专利技术的目的在于，提供一种能够有效地抑制横模的弹性波装置。
[0012]用于解决问题的手段
[0013]在本专利技术的弹性波装置的某一广泛方面中，具备：压电性基板；多个IDT电极，其设置在所述压电性基板上，在弹性波传播方向上排列，并且分别具有一对汇流条和多个电极指，至少一个所述IDT电极包括电极指间距相对宽的第一间距部和电极指间距相对窄的第二间距部，相邻的所述电极指在弹性波传播方向上重合的部分是交叉区域，所述交叉区域包括中央区域和一对边缘区域，该中央区域位于所述多个电极指延伸的方向上的中央侧，该一对边缘区域配置在所述中央区域的所述多个电极指延伸的方向上的两侧，并且分别包括所述多个电极指的前端部，在各所述IDT电极中，在所述交叉区域与所述一对汇流条之间，配置有一对间隙区域，所述弹性波装置还具备多个质量附加膜，该多个质量附加膜设置为在俯视下与所述多个电极指的位于所述一对边缘区域的部分重叠，所述多个质量附加膜包括配置于所述第一间距部的多个第一质量附加膜和配置于所述第二间距部的多个第二质量附加膜，所述第一质量附加膜设置为在俯视下与至少一个所述电极指重叠，各个所述第二质量附加膜设置为在俯视下与一个所述电极指重叠，不与和该电极指相邻的电极指重
叠，所述第一质量附加膜的沿着弹性波传播方向的长度，比所述第二质量附加膜的沿着弹性波传播方向的长度长。
[0014]在本专利技术的弹性波装置的另一广泛方面中，具备：压电性基板；多个IDT电极，其设置在所述压电性基板上，在弹性波传播方向上排列，并且分别具有一对汇流条和多个电极指，至少一个所述IDT电极包括电极指间距相对宽的第一间距部和电极指间距相对窄的第二间距部，相邻的所述电极指在弹性波传播方向上重合的部分是交叉区域，所述交叉区域包括中央区域和一对边缘区域，该中央区域位于所述多个电极指延伸的方向上的中央侧，该一对边缘区域配置在所述中央区域的所述多个电极指延伸的方向上的两侧，并且分别包括所述多个电极指的前端部，在各所述IDT电极中，在所述交叉区域与所述一对汇流条之间，配置有一对间隙区域，所述第一间距部中的所述多个电极指的所述一对边缘区域中的宽度比所述中央区域中的宽度宽，所述第二间距部中的所述多个电极指的所述一对边缘区域中的宽度为所述中央区域中的宽度以下，所述弹性波装置还具备多个质量附加膜，该多个质量附加膜设置为在俯视下与所述第一间距部及所述第二间距部中的所述多个电极指的位于所述一对边缘区域的部分重叠，各个所述质量附加膜设置为在俯视下与所述多个电极指及位于所述多个电极指之间的部分重叠。
[0015]专利技术效果
[0016]根据本专利技术的弹性波装置，能够有效地抑制横模。
附图说明
[0017]图1是本专利技术的第一实施方式的弹性波装置的俯视图。
[0018]图2是示出本专利技术的第一实施方式的弹性波装置的一部分的正面剖视图。
[0019]图3是示出本专利技术的第一实施方式的第一变形例的弹性波装置的一部分的俯视图。
[0020]图4是示出本专利技术的第一实施方式的第二变形例的弹性波装置的一部分的俯视图。
[0021]图5是示出本专利技术的第一实施方式的第三变形例的弹性波装置的一部分的俯视图。
[0022]图6是本专利技术的第一实施方式的第四变形例的弹性波装置的俯视图。
[0023]图7是示出本专利技术的第二实施方式的弹性波装置的一部分的俯视图。
[0024]图8是本专利技术的第三实施方式的弹性波装置的俯视图。
[0025]图9是示出本专利技术的第三实施方式的弹性波装置的一部分的俯视图。
[0026]图10是示出本专利技术的第三实施方式的弹性波装置的一部分的正面剖视图。
[0027]图11是示出本专利技术的第四实施方式的弹性波装置的沿着第二方向的剖面的一部分的剖视图。
[0028]图12是示出本专利技术的第五实施方式的弹性波装置的一部分的俯视图。
具体实施方式
[0029]以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，由此使本专利技术变得清楚。
[0030]需要说明的是，本说明书所记载的各实施方式是例示性的实施方式，预先指出在
不同的实施方式之间能够进行结构的部分置换或组合。
[0031]图1是本专利技术的第一实施方式的弹性波装置的俯视图。
[0032]本实施方式的弹性波装置1是纵耦合谐振器型弹性波滤波器。弹性波装置1具有压电性基板2。
[0033]在压电性基板2上设置有多个IDT电极。更具体而言，在压电性基板2上设置有IDT电极3A、IDT电极3B及IDT电极3C。这样，弹性波装置1具有三个IDT电极。不过，IDT电极的个数不限于上述。
[0034]IDT电极3A具有一对汇流条及多个电极指。更具体而言，IDT电极3A具有第一汇流条4、第二汇流条5、多个第一电极指6及多个第二电极指7。第一汇流条4及第二汇流条5相对置。多个第一电极指6的一端分别与第一汇流条4连接。多个第二电极指7的一端分别与第二汇流条5连接。多个第一电极指6与多个第二电极指7相互交替插入。需要说明的是，在本说明书中，有时将第一电极指6或第二电极指7仅记载为电极指。IDT电极3B及IDT电极3C也分别具有一对汇流条及多个电极指。
[0035]通过向IDT电极3A施加交流电压来激励弹性波。在IDT电极3B及IDT电极3C中也相同。多个IDT电极在弹性波传播方向上排列。更具体而言，IDT电极3B配置在IDT电极3A与IDT电极3C之间。
[0036]这里，将弹性波传播方向设为第一方向x，将多个电极指延伸的方向设为第二方向y。第一方向x与第二方向y正交。在压电性基板2上的多个IDT电极的第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：压电性基板；以及多个IDT电极，其设置在所述压电性基板上，在弹性波传播方向上排列，并且分别具有一对汇流条和多个电极指，至少一个所述IDT电极包括电极指间距相对宽的第一间距部和电极指间距相对窄的第二间距部，相邻的所述电极指在弹性波传播方向上重合的部分是交叉区域，所述交叉区域包括中央区域和一对边缘区域，该中央区域位于所述多个电极指延伸的方向上的中央侧，该一对边缘区域配置在所述中央区域的所述多个电极指延伸的方向上的两侧，并且分别包括所述多个电极指的前端部，在各所述IDT电极中，在所述交叉区域与所述一对汇流条之间，配置有一对间隙区域，所述弹性波装置还具备多个质量附加膜，该多个质量附加膜设置为在俯视下与所述多个电极指的位于所述一对边缘区域的部分重叠，所述多个质量附加膜包括配置于所述第一间距部的多个第一质量附加膜和配置于所述第二间距部的多个第二质量附加膜，所述第一质量附加膜设置为在俯视下与至少一个所述电极指重叠，各个所述第二质量附加膜设置为在俯视下与一个所述电极指重叠，不与和该电极指相邻的电极指重叠，所述第一质量附加膜的沿着弹性波传播方向的长度，比所述第二质量附加膜的沿着弹性波传播方向的长度长。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述第二间距部中的所述多个电极指的所述一对边缘区域中的宽度为所述中央区域中的宽度以下。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，各个所述第一质量附加膜设置为在俯视下与所述第一间距部中的所述多个电极指及位于所述多个电极指之间的部分重叠。4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，各个所述第一质量附加膜设置为在俯视下与一个所述电极指重叠，不与和该电极指相邻的电极指重叠。5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，所述第一质量附加膜的沿着所述多个电极指延伸的方向的长度，与所述第二质量附加膜的沿着所述多个电极指延伸的方向的长度相同。6.一种弹性波装置，具备：压电性基板；以及多个IDT电极，其设置在所述压电性基板上，在弹性波传播方向上排列，并且分别具有一对汇流条和多个电极指，至少一个所述IDT电极包括电极指间距相对宽的第一间距部和电极指间距相对窄的第二间距部，相邻的所述电极指在弹性波传播方向上重合的部分是交叉区域，所述交叉区域包括中
央区域和一对边缘区域，该中央区域位于所述多个电极指延伸的方向上...
【专利技术属性】
技术研发人员：大门克也，山本浩司，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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