一种硅片烘干用烘箱制造技术

本实用新型专利技术涉及烘箱技术领域，尤其为一种硅片烘干用烘箱，包括箱体和电机外壳，所述箱体的内壁左右两侧均设置有烘干器，所述箱体的左端面设置有控制装置，所述箱体的下端面内侧与电机外壳的下端面固定连接，所述电机外壳的内壁固定连接有电机，所述电机外壳的上端面固定连接有底板，所述电机的输出轴末端固定连接有转轴，所述转轴的上端经过底板的导孔固定连接有放置板，本实用新型专利技术中，通过设置的电机、底板、转轴、放置板、第三弹簧等结构使硅片可以通过第三弹簧的弹力对其进行固定，通过滚轮使放置板可以平稳旋转，实现了装置可以对硅片进行快速固定及平稳转动的能力，解决了硅片在烘干过程中旋转时硅片容易滑落的问题，提高了装置的实用性。的实用性。的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片烘干用烘箱


[0001]本技术涉及烘箱
，具体为一种硅片烘干用烘箱。

技术介绍

[0002]硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你，而硅片在生产过程中需要进行烘干工序，因此需要使用到烘箱，而现有的烘箱使用时具有一些问题，如放置盘在转动时硅片没有进行固定，会导致硅片可能会被甩出，当烘干完成后需要打开门进行散热，要等一段时间才能将硅片取出，因此，根据上述问题提出一种硅片烘干用烘箱。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种硅片烘干用烘箱，以解决硅片在烘干过程中旋转时硅片容易滑落的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种硅片烘干用烘箱，包括箱体和电机外壳，所述箱体的内壁左右两侧均设置有烘干器，所述箱体的左端面设置有控制装置，所述箱体的下端面内侧与电机外壳的下端面固定连接，所述电机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片烘干用烘箱，包括箱体(1)和电机外壳(4)，其特征在于：所述箱体(1)的内壁左右两侧均设置有烘干器(2)，所述箱体(1)的左端面设置有控制装置(3)，所述箱体(1)的下端面内侧与电机外壳(4)的下端面固定连接，所述电机外壳(4)的内壁固定连接有电机(5)，所述电机外壳(4)的上端面固定连接有底板(6)，所述电机(5)的输出轴末端固定连接有转轴(7)，所述转轴(7)的上端经过底板(6)的导孔固定连接有放置板(8)，所述放置板(8)的上端面左右两侧均固定连接有侧板(10)，右侧所述侧板(10)的导孔位置滑动连接有拉杆(11)，所述拉杆(11)的右端固定连接有拉环(12)，左侧所述侧板(10)的右端面固定连接有弹簧伸缩杆(15)，所述弹簧伸缩杆(15)与拉杆(11)的另一端均固定连接有夹板(13)，所述拉杆(11)的外侧套接有第三弹簧(31)，所述第三弹簧(31)设置在夹板(13)的右端面与侧板(10)的左端面之间，所述侧板(10)的个数共有6个。2.根据权利要求1所述的一种硅片烘干用烘箱，其特征在于：所述放置板(8)的下端面左右两侧均固定连接有滚轮(9)，所述滚轮(9)的下端与底板(6)的上端滑槽相贴合。3.根据权利要求1所述的一种硅片烘干用烘箱，其特征在于：所述夹板(13)的外端面均固定连接有摩擦垫(14)，所述摩擦垫(14)的厚度为3毫米。4.根据权利要求1所述的一种硅片烘干用烘...

【专利技术属性】
技术研发人员：栾国旗，
申请(专利权)人：天津美芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：