机械手臂及机械手制造技术

本实用新型专利技术公开一种机械手臂及机械手，用于搬运基板，该机械手臂包括本体以及至少一支撑结构。每一支撑结构包含底座、支撑垫、导电弹性件以及辅助传导部。支撑垫具有边缘部，导电弹性件具有相对的第一端与第二端，该第一端连接该支撑垫，该第二端连接该底座；辅助传导部对应该边缘部设置并位于该底座上；于第一状态时，该导电弹性件处于收缩状态且该支撑垫的该边缘部接触该辅助传导部。本实用新型专利技术提高了电荷释放速度，避免搬运过程中电荷(尤其是聚集于支撑垫的边缘部的电荷)对基板上的元件造成影响。影响。影响。

【技术实现步骤摘要】
机械手臂及机械手


[0001]本技术涉及半导体加工
，特别涉及一种机械手臂及机械手。

技术介绍

[0002]在半导体加工业中，常采用机械手进行待加工产品的搬运。以Micro
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LED显示面板为例，于生产过程中，采用机械手对基板进行搬运。但采用现有的机械手后，在Micro
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LED显示面板制作完成并点亮时发现，显示面板上存在异常显示区，且异常显示区的位置与机械手的支撑垫位置相匹配。经过分析得知，在搬运基板的过程中有静电产生，目前的机械手的支撑垫边缘的电荷无法有效释放，造成了基板上元件的异常。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种机械手臂及机械手，以解决上述问题。
[0004]为了达到上述目的，本技术提供一种机械手臂，用于搬运基板，其包括本体以及至少一支撑结构。至少一支撑结构间隔设置于该本体上，每一支撑结构包含底座、支撑垫、导电弹性件以及辅助传导部。支撑垫具有边缘部；导电弹性件具有相对的第一端与第二端，该第一端连接于该支撑垫，该第二端连接于该底座；辅助传导部对应该边缘部设置并位于该底座上；其中，借由该导电弹性件状态改变调整该支撑垫与该辅助传导部的间距，于第一状态时，该导电弹性件处于收缩状态且该支撑垫的该边缘部接触该辅助传导部。
[0005]作为可选的技术方案，该支撑垫于该底座上的投影呈圆形；该辅助传导部于该底座上的垂直投影呈环形，该圆形与该环形部分重叠。
[0006]作为可选的技术方案，该圆形具有第一圆周，该环形具有同心的第二圆周及第三圆周，该第一圆周位于该第二圆周及该第三圆周之间。
[0007]作为可选的技术方案，该辅助传导部为金属片；或者，该导电弹性件为金属弹簧。
[0008]作为可选的技术方案，该支撑垫还包含中心部，该边缘部环绕该中心部，该本体具有接地端，该底座具有第一传导部，该第一传导部连接至该接地端，且该导电弹性件的该第二端连接该第一传导部，该导电弹性件的该第一端连接该中心部，该中心部、该导电弹性件、该第一传导部及该接地端形成第一放电路径。
[0009]作为可选的技术方案，该底座还具有第二传导部，该第二传导部连接至该接地端，且该第二传导部连接该辅助传导部，该边缘部、该辅助传导部、该第二传导部及该接地端形成第二放电路径。
[0010]作为可选的技术方案，该第二传导部为螺丝，该底座借由该螺丝固定于该本体上，该辅助传导部接触该螺丝。
[0011]作为可选的技术方案，于第二状态时，该弹性件处于伸展状态，且该支撑垫与该辅助传导部具有间隙而不接触。
[0012]作为可选的技术方案，该支撑垫为导电橡胶支撑垫。
[0013]此外，本技术还提出一种机械手，其包含至少一前述的机械手臂。
[0014]本技术的机械手臂及机械手，每一支撑结构的底座上对应支撑垫的边缘部设置有辅助传导部。搬运基板时，基板接触各支撑垫，支撑垫在基板的重力作用下挤压对应的导电弹性件使其收缩同时使得支撑垫自身下沉直到其边缘部接触辅助传导部，如此，可形成对应于支撑垫的边缘部的专门放电路径，从而搬运过程中聚集于支撑垫的边缘部的电荷不需要先传输至中心部后再经由对应中心部的放电路径进行释放，提高了电荷释放速度，避免电荷(尤其是聚集于支撑垫的边缘部的电荷)对基板上的元件造成影响。
[0015]以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。
附图说明
[0016]图1为本技术的机械手的俯视图；
[0017]图2为图1中沿PP线的剖面示意图；
[0018]图3为图2中支撑结构于第二状态时的示意图；
[0019]图4为图1中X区域的局部放大示意图。
具体实施方式
[0020]为使对本技术的目的、构造、特征及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
[0021]请参考图1至图4，图1为本技术的机械手的俯视图，图2为图1中沿PP线的剖面示意图，图3为图2中支撑结构于第二状态时的示意图，图4为图1中X区域的局部放大示意图。本技术的机械手10用于搬运基板20，基板20可用于制作Micro
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LED显示面板。制作完成时，基板20上可阵列排布有多颗Micro
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LED(未绘示)。如图1所示，本实施例中，机械手10包含两个机械手臂100，实际操作中，不以此为限。
[0022]如图1及图2所示，机械手臂100具有本体200以及至少一支撑结构300，所述至少一支撑结构300间隔设置于本体200上。每一支撑结构300包括底座310、支撑垫320、导电弹性件330以及辅助传导部340。其中，支撑垫320具有边缘部A，导电弹性件330具有相对的第一端331与第二端332，第一端331连接于支撑垫320，第二端332连接于底座310，辅助传导部340对应支撑垫320的边缘部A设置并位于底座310上。其中，借由导电弹性件330的状态改变调整支撑垫320与辅助传导部340的间距，于第一状态时，导电弹性件330处于收缩状态且支撑垫320的边缘部A接触辅助传导部340。
[0023]本实施例中，于第一状态时，基板20置于机械手臂100上(具体为置于机械手臂100的各支撑垫320上)，此时支撑垫320在基板20的重力作用力下挤压导电弹性件330使得导电弹性件330收缩而处于收缩状态，同时，伴随着导电弹性件330的收缩，支撑垫320下沉直到其边缘部A接触辅助传导部340。如此，可形成对应于支撑垫320的边缘部A的专门放电路径，从而可大大缩短支撑垫320的边缘部A的电荷的放电路径，提升电荷释放速度。
[0024]结合图1至图4，支撑垫320还包含中心部B，边缘部A环绕中心部B，本体200具有接地端(未绘示)，底座310具有第一传导部311，第一传导部311连接至接地端，且导电弹性件330的第二端332连接底座310的第一传导部311，导电弹性件330的第一端331连接支撑垫320的中心部B，如此，所述中心部B、导电弹性件330、第一传导部311及接地端形成第一放电
路径。本实施例中，所述中心部B、导电弹性件330、第一传导部311垂直连接(或近乎垂直连接)，从而第一放电路径可视为对应于中心部B的最短放电路径。
[0025]如图1所示，第一传导部311可为第一螺丝，底座310借由第一螺丝实现与本体200的固定的同时，还可以借由第一螺丝实现与本体200上的接地端以及导电弹性件330的连接，以形成放电路径。实际操作中，第一传导部311不限于螺丝。
[0026]结合图1至图4，底座310还具有第二传导部312，第二传导部312连接至接地端，且第二传导部312接触(或连接)辅助传导部340，于所述第一状态(即基板20置于机械手臂100上)时，支撑垫320的边缘部A接触辅助传导部340，如此，所述边缘部A、辅助传导部340、第二传导部312及接地端形成第二放电路径。本实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手臂，用于搬运基板，其特征在于，包括，本体；以及至少一支撑结构，间隔设置于该本体上，每一支撑结构包含，底座；支撑垫，具有边缘部；导电弹性件，具有相对的第一端与第二端，该第一端连接于该支撑垫，该第二端连接于该底座；以及辅助传导部，对应该边缘部设置并位于该底座上；其中，借由该导电弹性件状态改变调整该支撑垫与该辅助传导部的间距，于第一状态时，该导电弹性件处于收缩状态且该支撑垫的该边缘部接触该辅助传导部。2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，该支撑垫还包含中心部，该边缘部环绕该中心部，该本体具有接地端，该底座具有第一传导部，该第一传导部连接至该接地端，且该导电弹性件的该第二端连接该底座的该第一传导部，该导电弹性件的该第一端连接该中心部，该中心部、该导电弹性件、该第一传导部及该接地端形成第一放电路径。3.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，该底座还具有第二传导部，该第二传导部连接至该接地端，且该第二传导部连接该辅助传导部，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：张韦诚，王海鑫，陈浩楠，施汉生，
申请(专利权)人：友达光电昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：