一种回转加热间歇式气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种回转加热间歇式气相沉积炉，包括炉体、进气控制模块和尾气处理模块，炉体通过转动机构水平转动设置于机架上，炉体的一端密封连接有进气控制模块、另一端密封连接有尾气处理模块，炉体上设置有物料进出口，进气控制模块能够供应多种气体。本实用新型专利技术的回转加热间歇式气相沉积炉，气体控制模块可以为炉体内供应多种气体，实现不同气体的流量控制，也可以实现多种气体按不同比例进行混合，可以进行多种原料的沉积，更加灵活多变；尾气处理模块将沉积后的反应气体进行处理，实验更加安全；转动机构可实现卧式金属炉管的转动，使炉体内物料分散，达到更好的沉积效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种回转加热间歇式气相沉积炉


[0001]本技术涉及气相沉积炉的
，特别是涉及一种回转加热间歇式气相沉积炉。

技术介绍

[0002]随着电动汽车、储能电站及便携式电子设备等的快速发展，高比能锂离子电池受到越来越多的关注。然而，目前石墨负极依旧牢牢占据着统治地位，其理论比容量372mAh/g已经无法满足高比能电池负极材料的要求，严重制约了锂电池能量密度的提高。
[0003]多年来世界各地的科学家试图开发出能够替代石墨的负极材料，如硅基负极材料，锡基材料以及钛酸锂材料。而硅或硅氧负极材料是目前唯一实现商业化应用的新型高容量负极材料。
[0004]目前，主流的商业化的氧化亚硅复合负极材料一般都是通过立式的气相沉积炉进行碳包覆，来提高材料的循环性能。然而立式的气相沉积炉一般都是上进料，物料会在炉体内自然沉降，通常会堵塞炉体内的透气孔，影响物料气相沉积的均匀性。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种回转加热间歇式气相沉积炉，以解决上述现有技术存在的问题，使物料会在炉体内气相沉积更为均匀。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0007]本技术提供了一种回转加热间歇式气相沉积炉，包括炉体、进气控制模块和尾气处理模块，所述炉体通过转动机构水平转动设置于机架上，所述炉体的一端密封连接有所述进气控制模块、另一端密封连接有所述尾气处理模块，所述炉体上设置有物料进出口，所述进气控制模块能够供应多种气体。
[0008]优选的，还包括电控柜，所述转动机构、所述进气控制模块和所述尾气处理模块分别与所述电控柜电连接。
[0009]优选的，所述炉体包括金属壳、金属炉管、炉衬和加热元件，所述金属炉管外依次套设有所述炉衬和所述金属壳，所述炉衬固定设置于所述金属壳内，所述金属壳固定设置于所述机架上，所述金属炉管的一端设置有进气口、另一端上设置有所述物料进出口，所述加热元件浇铸于所述炉衬内壁上，所述金属炉管与所述炉衬为间隙配合，所述炉衬的外表面设置有保温层。
[0010]优选的，所述金属炉管的两端分别通过一法兰轴承与所述机架密封转动连接，所述金属炉管的内壁上交错设置有若干个导料板，两端的所述导料板向所述金属炉管的中部倾斜设置。
[0011]优选的，所述加热元件根据所述金属炉管的长度依次划分为三个加热区域，且每个加热区域均设置有一温度传感器且不同区域的温度能够设置为不同，所述加热元件为螺旋绕制的铁铬铝加热丝。
[0012]优选的，所述金属炉管的进气端与一L型支架通过法兰轴承连接，所述机架上设置有翻转机构和距离传感器，所述距离传感器用于检测所述金属炉管的进气端升高的距离。
[0013]优选的，所述机架包括基座和载炉平台，所述基座与所述载炉平台的一端铰接、另一端通过所述翻转机构连接，所述翻转机构为电动推杆，所述基座的底部设置有带刹车的滚轮。
[0014]所述转动机构包括两个减速电机，两个所述减速电机的输出轴分别与所述金属炉管之间通过链轮传动机构连接。
[0015]优选的，所述进气控制模块包括若干个并联设置的进气支管，所述进气支管汇集于一进气总管上，每条所述进气支管均能够与一种气源连通，每条所述进气支管上均设置有两个控制阀和一个流量控制器，所述流量控制器设置于两个所述控制阀的中间，所述进气总管通过金属软管与所述进气口的法兰轴承密封连接，所述控制阀为手动控制阀。
[0016]优选的，所述尾气处理模块包括水箱、燃烧筒和风机，所述物料进出口通过密封炉堵和金属软管与所述水箱的进气管连通，所述进气管的下端位于所述水箱的中部，所述水箱的顶部通过金属软管与所述燃烧筒连通、底部设置有排水口，所述排水口上设置有阀门，所述燃烧筒上通过阀门设置有惰性气体进气口和空气进气口，所述燃烧筒的顶部上设置有所述风机、下部设置有排料锥斗，所述风机连通有除尘筒。
[0017]本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0018]本技术的回转加热间歇式气相沉积炉，气体控制模块可以为炉体内供应多种气体，实现不同气体的流量控制，也可以实现多种气体按不同比例进行混合，可以进行多种原料的沉积，更加灵活多变；尾气处理模块将沉积后的反应气体进行处理，实验更加安全；转动机构可实现卧式金属炉管的转动，使炉体内物料分散，达到更好的沉积效果。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术回转加热间歇式气相沉积炉的结构示意图一；
[0021]图2为本技术回转加热间歇式气相沉积炉的结构示意图二；
[0022]图3为本技术回转加热间歇式气相沉积炉的结构示意图三；
[0023]图4为本技术中转动机构的结构示意图；
[0024]图5为本技术中进气控制模块的结构示意图；
[0025]其中：1
‑
金属壳，2
‑
金属炉管，3
‑
炉衬，4
‑
加热元件，5
‑
基座，6
‑
载炉平台，7
‑
铰链，8
‑
电动推杆，9
‑
法兰轴承，10
‑
L型支架，11
‑
密封炉堵，12
‑
导料板，13
‑
水箱，14
‑
排水口，15
‑
燃烧筒，16
‑
风机，17
‑
除尘筒，18
‑
金属软管，19
‑
惰性气体进气口，20
‑
空气进气口，21
‑
控制阀，22
‑
流量控制器，23
‑
进气控制模块，24
‑
进气总管，25
‑
链轮传动机构，26
‑
减速电机，27
‑
带刹车的滚轮，28
‑
轴承，29
‑
电控柜。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]本技术的目的是提供一种回转加热间歇式气相沉积炉，以解决现有技术存在的问题，使物料会在炉体内气相沉积更为均匀。
[0028]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种回转加热间歇式气相沉积炉，其特征在于：包括炉体、进气控制模块和尾气处理模块，所述炉体通过转动机构水平转动设置于机架上，所述炉体的一端密封连接有所述进气控制模块、另一端密封连接有所述尾气处理模块，所述炉体上设置有物料进出口，所述进气控制模块能够供应多种气体。2.根据权利要求1所述的回转加热间歇式气相沉积炉，其特征在于：还包括电控柜，所述转动机构、所述进气控制模块和所述尾气处理模块分别与所述电控柜电连接。3.根据权利要求1所述的回转加热间歇式气相沉积炉，其特征在于：所述炉体包括金属壳、金属炉管、炉衬和加热元件，所述金属炉管外依次套设有所述炉衬和所述金属壳，所述炉衬固定设置于所述金属壳内，所述金属壳固定设置于所述机架上，所述金属炉管的一端设置有进气口、另一端上设置有所述物料进出口，所述加热元件浇铸于所述炉衬内壁上，所述金属炉管与所述炉衬为间隙配合，所述炉衬的外表面设置有保温层。4.根据权利要求3所述的回转加热间歇式气相沉积炉，其特征在于：所述金属炉管的两端分别通过一法兰轴承与所述机架密封转动连接，所述金属炉管的内壁上交错设置有若干个导料板，两端的所述导料板向所述金属炉管的中部倾斜设置。5.根据权利要求3所述的回转加热间歇式气相沉积炉，其特征在于：所述加热元件根据所述金属炉管的长度依次划分为三个加热区域，且每个加热区域均设置有一温度传感器且不同区域的温度能够设置为不同，所述加热元件为螺旋绕制的铁铬铝加热丝。6.根据权利要求3所述的回转加热间歇式气相沉积炉，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：章镇，胡亮，彭天权，俞有康，谭桂明，陈厚富，
申请(专利权)人：赣州立探新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：