一种桌面分隔防撞装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了半导体加工制造领域内的一种桌面分隔防撞装置，包括工作台面，所述工作台面上铺设有防静电橡胶皮，所述防静电橡胶皮上放置有晶圆提篮，所述防静电橡胶皮上表面沿横向和纵向分别设置有若干防撞条，所述防撞条将所述工作台面划分出若干矩形区域，所述矩形区域的长度和宽度分别大于晶圆提篮的长度和宽度。本实用新型专利技术能够便于统一提篮的放置位置，达到整齐划一的视觉效果，确保相邻提篮间不碰撞不产生Particle（金属颗粒），保证产品品质。品质。品质。

【技术实现步骤摘要】
一种桌面分隔防撞装置


[0001]本技术属于半导体加工制造领域，特别涉及一种桌面分隔防撞装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆制造厂把这些多晶硅融解，再在融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成。硅晶棒再经过切段、滚磨、切片、倒角、抛光、激光刻和包装后，即成为集成电路工厂的基本原料—硅晶圆片，这就是“晶圆”。
[0003]半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后的测试组成，制造过程中通常将晶圆放置提篮中进行转移，备料工作台面上通常只铺设防静电橡胶皮，用于减轻金属提篮与桌面的直接撞击，减少Particle（金属颗粒）的产生，其不足之处在于：由于工作台面面积较大，提篮放置位置杂乱，工作人员在拿取提篮时，相邻提篮间易发生碰撞，增加Particle（金属颗粒）的产生，影响产品品质。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种桌面分隔防撞装置，方便管理提篮，避免相邻提篮间发生碰撞，减少Particle（金属颗粒）的产生。
[0005]本技术的目的是这样实现的：一种桌面分隔防撞装置，包括工作台面，所述工作台面上铺设有防静电橡胶皮，所述防静电橡胶皮上放置有晶圆提篮，所述防静电橡胶皮上表面沿横向和纵向分别设置有若干防撞条，所述防撞条将所述工作台面划分成出若干的矩形区域，所述矩形区域的长度和宽度分别大于晶圆提篮的长度和宽度。
[0006]本技术使用时，根据提篮的长度和宽度用防撞条对工作台面进行划分，工作人员放置提篮时的顺序为：从远到近，从左到右依次摆放，与现有技术相比，本技术的有益效果在于：便于统一提篮的放置位置，达到整齐划一的视觉效果，确保相邻提篮间不碰撞不产生Particle（金属颗粒），保证产品品质。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述防撞条沿横向设置有2条，所述防撞条沿纵向设置有3条。通常情况下，工作台面是长为1500mm，宽为850mm的矩形平台，所述防撞条将工作台面划分出12个长为350mm，宽为250mm的矩形区域。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述防撞条为橡塑材质，所述防撞条的高度为5mm。工作人员在拿取提篮时需先抬高，避免因直接拖出而造成防静电橡胶皮磨损。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述防撞条与防静电橡胶皮的连接方式为双面胶粘合。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述防撞条的下侧沿长度方向等间距设置有凸起部，所述凸起部内置有加固块，所述防静电橡胶皮上表面开设有若干横向凹槽条和纵向凹
槽条，所述凸起部与凹槽条插接固定。可按需通过安装防撞条来划分矩形区域用于放置提篮。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述凸起部横截面为梯形结构。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述防静电橡胶皮四周外侧均设置有防滑条，所述防滑条的材质为PVC，所述防滑条的高度为5mm。
附图说明
[0013]图1为本技术的俯视图。
[0014]图2防撞条安装在防静电橡胶皮上的第一实施例的侧视结构示意图。
[0015]图3防撞条安装在防静电橡胶皮上的第二实施例的侧视结构示意图。
[0016]图4防撞条的第二实施例的结构示意图。
[0017]其中，1工作台面，2防静电橡胶皮，201凹槽条，3提篮，4防撞条，401凸起部，402加固块，5矩形区域，6双面胶，7防滑条。
具体实施方式
[0018]实施例1
[0019]如图1所示，为一种桌面分隔防撞装置，包括长为1500mm，宽为850mm的矩形工作台面1，所述工作台面1上铺设有防静电橡胶皮2，所述防静电橡胶皮2上放置有晶圆提篮3，所述防静电橡胶皮2上表面沿横向设置有2条橡塑材质的防撞条4，沿纵向设置有3条橡塑材质的防撞条4，将所述工作台面1划分出12个长为350mm，宽为250mm的矩形区域5，即可满足矩形区域5的长度和宽度分别大于晶圆提篮3的长度和宽度，也可使工作台面1空间利用率达到最高；为避免工作人员直接拖出提篮3而造成防静电橡胶皮2磨损，所述防撞条4的高度为优选为5mm；所述防静电橡胶皮2四周外侧均设置有材质为PVC的防滑条7，所述防滑条7的高度优选为5mm，可预防提篮3从工作台面1滑落。
[0020]如图2所示，为防撞条4安装在防静电橡胶皮2上的第一实施例的侧视结构示意图，所述防撞条4与防静电橡胶皮2的连接方式为双面胶6粘合。
[0021]实施例2
[0022]如图3~4所示，为防撞条4安装在防静电橡胶皮2上的第二实施例的结构示意图，所述防撞条4的下侧沿长度方向等间距设置有凸起部401，所述凸起部401内置有加固块402，工作人员可预先在所述防静电橡胶皮2上表面开设若干横向凹槽条201和纵向凹槽条201，再根据不同尺寸规格的提篮3选择相应的凹槽条201，将所述凸起部401与凹槽条201插接固定，按需规划矩形区域5，为加强凸起部401与凹槽条201之间的插拔力，所述凸起部401优选为横截面为梯形的结构。
[0023]本技术在使用时，工作人员放置提篮3时的顺序为：从远到近，从左到右依次摆放；拿取提篮3时，需先将提篮3提高至少5mm，从而减轻了提篮3对防静电橡胶皮2的磨损，降低了防静电橡胶皮2的更换频率，降低了生产成本。本技术的优点在于：便于统一提篮3的放置位置，达到整齐划一的视觉效果，确保相邻提篮3间不碰撞不产生Particle（金属颗粒），保证产品品质。
[0024]本技术并不局限于上述实施例，在本技术公开的技术方案的基础上，本
领域的技术人员根据所公开的
技术实现思路
，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本技术的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种桌面分隔防撞装置，包括工作台面，所述工作台面上铺设有防静电橡胶皮，所述防静电橡胶皮上放置有晶圆提篮，其特征在于，所述防静电橡胶皮上表面沿横向和纵向分别设置有若干防撞条，所述防撞条将所述工作台面划分出若干矩形区域，所述矩形区域的长度和宽度分别大于晶圆提篮的长度和宽度。2.根据权利要求1所述的一种桌面分隔防撞装置，其特征在于，所述防撞条沿横向设置有2条，所述防撞条沿纵向设置有3条。3.根据权利要求1所述的一种桌面分隔防撞装置，其特征在于，所述防撞条为橡塑材质，所述防撞条的高度为5mm。4.根据权利要求3所述的一种桌面分隔防撞装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王步燕，王志亮，王庆香，朱锦健，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：