本发明专利技术公开了一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备，属于研磨设备技术领域，尤其是一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备，包括处理室，处理室内开设有处理腔，处理腔内转动安装有研磨台，处理腔内转动安装有载物盘，处理腔内固定安装有储液箱，储液箱下方固定安装有出液管，本发明专利技术通过在研磨台周围设置储液盘来收集使用后的研磨液，达到防止研磨液飞散的效果，通过伺服电机、蜗杆、蜗轮和直齿轮转动，再带动与直齿轮啮合的齿条连和活动板移动，使研磨液在重力作用下从瓣膜口流出，达到周期流通研磨液的效果，通过与活动板连接的活动杆、竖杆和活塞的往复运动，达到挤压出液管内腔的研磨液从瓣膜口周期流出的效果。管内腔的研磨液从瓣膜口周期流出的效果。管内腔的研磨液从瓣膜口周期流出的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备
[0001]本专利技术涉及研磨设备
，特别涉及一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备。
技术介绍
[0002]对于硬脆材料的研磨时主要分为两大研磨方式：游离磨料研磨和固结磨料研磨。
[0003]游离磨料研磨加工是一种传统的加工方法，是目前硬脆材料精密加工常用的加工方法，其加工原理为将工件装夹在工件载物盘上，放置在研磨台上，当机器以一定主轴转速、工件转速和研磨压力作用下进行研磨时，磨粒被添加在研磨液内通过研磨液输送装置输送到研磨盘上，磨粒随研磨盘与工件的转动而相对运动，随着磨粒不断与工件表面进行接触划擦或滚轧，实现对工件的研磨效果。
[0004]而在通过研磨液输送装置输送研磨液时，研磨液同一时间落在研磨台上过少时影响研磨效果，过多时大部分研磨液会在未使用的情况下直接飞出研磨台造成浪费，因此周期定量地滴落研磨液是有必要的，因此，我提出一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在不能周期定量地滴落研磨液的缺点，而提出的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0007]设计一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备，包括处理室和开合机构，所述处理室内开设有所述处理腔，所述处理腔内转动安装有所述研磨台，所述处理腔内转动安装有所述载物盘，且所述载物盘位于所述研磨台上方；
[0008]所述处理腔内固定安装有所述储液箱，所述储液箱下方开设有连接孔，所述储液箱下方固定安装有所述出液管，所述出液管内开设有所述出液管内腔，所述出液管内腔与所述储液箱通过连接孔连通，所述储液箱上对称开设有两组所述滑槽，且两组所述滑槽均与贯穿孔连通，两组所述滑槽内均活动布置有所述活动板，所述开合机构的一端固定连接在其中一块所述活动板上、另一端固定连接在另一块所述活动板上，所述开合机构用于控制所述活动板的开合。
[0009]优选的，所述开合机构包括伺服电机、两块载物板、两根蜗杆、两组蜗轮、两根齿条、两组直齿轮、两根连接杆和传动机构，两块所述载物板分别固定安装在所述储液箱两侧，两根所述蜗杆的下端转动安装在对应的所述载物板上、上端贯穿所述处理腔并延伸至外界，两根所述蜗杆的上端之间通过所述传动机构连接，所述伺服电机的输出轴固定连接在其中一根所述蜗杆的上端，两根所述齿条的一端分别固定连接在对应的所述活动板上、另一端贯穿所述储液箱并延伸至外界，两组所述蜗轮分别转动安装在所述储液箱的两侧，两组所述直齿轮分别转动安装在所述储液箱的两侧，且对应侧的所述直齿轮和所述蜗轮之
间通过所述连接杆同轴转动，两组所述直齿轮的下端分别与对应的所述齿条啮合，两组所述蜗轮分别与对应的所述蜗杆啮合。
[0010]优选的，所述传动机构包括链条、两组链轮、第一齿轮和第二齿轮，其中一组所述链轮套设安装在其中一根所述蜗杆上，另一组所述链轮转动安装在所述处理室上，且所述第一齿轮固定连接在另一组所述链轮上，两组所述链轮之间通过所述链条连接，所述第二齿轮固定连接在另一根所述蜗杆上，且所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合。
[0011]优选的，所述出液管内开设有所述出液管内腔，所述出液管内腔内固定安装有所述挤压机构，所述挤压机构穿过所述滑槽、并与所述活动板转动连接，所述挤压机构用于将所述储液箱流通至所述出液管内腔的研磨液挤压排出。
[0012]优选的，所述挤压机构包括两根活动杆、竖杆、两组活动槽、活塞、固定块和若干流通孔，所述固定块固定安装在所述出液管内腔中，所述固定块中心开设有所述贯穿孔，若干所述流通孔开设在所述固定块上，所述活塞活动布置在所述贯穿孔内，所述竖杆铰接安装在所述活塞上，两组所述活动槽分别开设在所述储液箱两侧，且两组所述活动槽分别与对应的所述滑槽连通，两根所述活动杆的一端转动连接在对应的所述活动板上、另一端转动连接在所述竖杆的上端。
[0013]优选的，所述处理腔内固定安装有所述储液机构，且所述储液机构位于所述研磨台下方。
[0014]优选的，所述储液机构包括储液盘和若干支撑杆，所述储液盘位于所述研磨台下方，若干所述支撑杆的上端固定连接在所述储液盘上、下端固定连接在所述处理腔内。
[0015]优选的，所述出液管下端开口处由若干所述瓣膜组成，且若干所述瓣膜构成顶端朝下的圆锥型，所述瓣膜内开设有所述瓣膜内腔。
[0016]本专利技术提出的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备，有益效果在于：该机械加工研磨设备通过在研磨台周围设置储液盘来收集使用后的研磨液，达到防止研磨液飞散的效果，通过伺服电机、蜗杆和蜗轮转动，带动通过连接杆连接的直齿轮同轴转动，再带动与直齿轮啮合的齿条连和活动板移动，使研磨液在重力作用下从瓣膜开口流出，达到周期流通研磨液的效果，通过与活动板连接的活动杆和竖杆带动活塞在贯穿孔中往复运动，达到挤压出液管内腔的研磨液从瓣膜开口周期流出的效果。
附图说明
[0017]图1为本专利技术提出的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备的等轴测视结构示意图。
[0018]图2为本专利技术提出的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备的剖面结构示意图。
[0019]图3为本专利技术提出的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备的剖面放大结构示意图。
[0020]图4为本专利技术提出的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备的出液管部分结构示意图。
[0021]图5为本专利技术提出的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备的A部放大结构示意图。
[0022]图6为本专利技术提出的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备的B部放大结构示意图。
[0023]图7为本专利技术提出的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备的C部放大结构示意图。
[0024]图中：1处理室、2处理腔、3瓣膜、4开合机构、41伺服电机、42载物板、43蜗杆、44蜗轮、45齿条、46直齿轮、47连接杆、5挤压机构、51活动杆、52竖杆、53活动槽、54活塞、55固定块、56流通孔、6传动机构、61链条、62链轮、63第一齿轮、64第二齿轮、7研磨台、8载物盘、9储液盘、10储液箱、11密封盒、12出液管、13滑槽、14活动板、15支撑杆、16出液管内腔、17瓣膜内腔、18贯穿孔。
具体实施方式
[0025]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0026]实施例1：
[0027]参照图1
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7，一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备，包括处理室1、开合机构4和传动机构6，处理室1内开设有处理腔2，处理腔2内转动安装有研磨台7，研磨台7通过转动进行研磨，处理腔2内转动安装有载物盘8，且载物盘8位于研磨台7上方，载物盘8通过旋转与转动的研磨台7配合摩擦载物盘8上的晶片；
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备，包括处理室(1)和开合机构(4)，所述处理室(1)内开设有所述处理腔(2)，所述处理腔(2)内转动安装有所述研磨台(7)，所述处理腔(2)内转动安装有所述载物盘(8)，且所述载物盘(8)位于所述研磨台(7)上方，其特征在于；所述处理腔(2)内固定安装有所述储液箱(10)，所述储液箱(10)下方开设有连接孔，所述储液箱(10)下方固定安装有所述出液管(12)，所述出液管(12)内开设有所述出液管内腔(16)，所述出液管内腔(16)与所述储液箱(10)通过连接孔连通，所述储液箱(10)上对称开设有两组所述滑槽(13)，且两组所述滑槽(13)均与连接孔连通，两组所述滑槽(13)内均活动布置有所述活动板(14)，所述开合机构(4)的一端固定连接在其中一块所述活动板(14)上、另一端固定连接在另一块所述活动板(14)上，所述开合机构(4)用于控制所述活动板(14)的开合。2.根据权利要求1所述的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备，其特征在于，所述开合机构(4)包括伺服电机(41)、两块载物板(42)、两根蜗杆(43)、两组蜗轮(44)、两根齿条(45)、两组直齿轮(46)、两根连接杆(47)和传动机构(6)，两块所述载物板(42)分别固定安装在所述储液箱(10)两侧，两根所述蜗杆(43)的下端转动安装在对应的所述载物板(42)上、上端贯穿所述处理腔(2)并延伸至外界，两根所述蜗杆(43)的上端之间通过所述传动机构(6)连接，所述伺服电机(41)的输出轴固定连接在其中一根所述蜗杆(43)的上端，两根所述齿条(45)的一端分别固定连接在对应的所述活动板(14)上、另一端贯穿所述储液箱(10)并延伸至外界，两组所述蜗轮(44)分别转动安装在所述储液箱(10)的两侧，两组所述直齿轮(46)分别转动安装在所述储液箱(10)的两侧，且对应侧的所述直齿轮(46)和所述蜗轮(44)之间通过所述连接杆(47)同轴转动，两组所述直齿轮(46)的下端分别与对应的所述齿条(45)啮合，两组所述蜗轮(44)分别与对应的所述蜗杆(43)啮合。3.根据权利要求2所述的一种自动控制机械加工用高精度平面研磨设备，其特征在于，所述传动机构(6)包括链条(61)、两组链轮(62)、第一齿轮(63)和第二齿轮(64)，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱士镇，
申请(专利权)人：钱士镇，
类型：发明
国别省市：
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