一种加热炉和半导体设备制造技术

本实用新型专利技术实施例提供了一种加热炉和半导体设备，所述加热炉包括：炉体、第一加热部和第二加热部，所述炉体内部设有反应腔，所述反应腔的至少一端设置开口，所述开口用于导入载板，所述第一加热部套设于所述炉体外侧，所述第二加热部设于所述炉体内侧；所述第二加热部包括多个独立工作的加热分部。在本实用新型专利技术中，通过第二加热部上设置的多个加热分部，分别独立工作，各个加热分部可以分别改善相应区域的温度，对炉体温场进行调控，改善温场不均的问题，使镀膜生成速率更均匀，使镀膜均匀性更好，提高镀膜颜色的一致性。提高镀膜颜色的一致性。提高镀膜颜色的一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种加热炉和半导体设备


[0001]本技术涉及光伏
，具体涉及一种加热炉和半导体设备。

技术介绍

[0002]现有的管式等离子增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)设备，通常采用石英管作为沉积腔室，在石英管的外周设置加热电阻，对石英管进行加热。在工艺运行过程中，首先将一个可以放置多片硅片的载板冷态插进沉积腔室中，然后等待沉积腔室整体升温至工艺温度后开始沉积镀膜。
[0003]随着管式等离子增强化学气相沉积单管单批产能的逐渐提升，载板和沉积腔室的体积也越来越大，载板的不同区域与沉积腔室的间距不同，导致现有的加热方式，在载板的不同区域产生的温场不均匀。另外，在沉积的过程中，冷特气持续进入沉积腔室，载板的不同区域与沉积腔室的间距不同，导致冷特气带走的热量也不同，也会进一步导致载板的不同区域的温场差异变大。载板不同区域的温场不同，造成载板不同区域沉积速率不同，进而导致镀膜颜色不均匀。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供了一种加热炉和半导体设备，以解决现有技术中存在的载板不同区域与反应腔之间的距离不同，以及冷特气持续进入反应腔带走反应腔内的热量，导致反应腔内温场不均的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术提供了一种加热炉，所述加热炉包括：炉体、第一加热部和第二加热部，所述炉体内部设有反应腔，所述反应腔的至少一端设置开口，所述开口用于导入载板，所述第一加热部套设于所述炉体外侧，所述第二加热部设于所述炉体内侧；所述第二加热部包括多个独立工作的加热分部。
[0007]可选地，所述第二加热部为多个，多个所述第二加热部沿所述炉体预设方向间隔设置。
[0008]可选地，所述第二加热部为两组，两组所述第二加热部沿所述炉体预设方向相对设置，其中，所述第二加热部为加热管或加热板。
[0009]可选地，所述载板为石墨舟、石英舟或金属舟。
[0010]可选地，所述炉体包括：圆环形炉体和盖体，所述圆环形炉体的至少一端设置开口，所述盖体可拆卸的连接于所述开口。
[0011]可选地，所述第一加热部包括多个加热管，多个所述加热管间隔套设于所述炉体外侧，相邻两个所述加热管之间存在预设间隔；所述加热分部与所述预设间隔对应设置。
[0012]可选地，沿所述炉体的预设方向，所述加热分部的长度与所述预设间隔长度相适配。
[0013]可选地，对应每个所述加热分部分别设置温度传感器，所述温度传感器用于监测
所述反应腔内相应区域的温度。
[0014]可选地，所述加热分部设置于所述温度传感器与所述炉体之间，所述温度传感器朝远离所述炉体的一边设置。
[0015]第二方面，本技术提供了一种半导体热处理设备，所述半导体热处理设备包括第一方面所述的加热炉。
[0016]本技术公开了一种加热炉，所述加热炉包括：炉体、第一加热部和第二加热部，所述炉体内部设有反应腔，所述反应腔的至少一端设置开口，所述开口用于导入载板，所述第一加热部套设于所述炉体外侧，所述第二加热部设于所述炉体内侧；所述第二加热部包括多个独立工作的加热分部。在本技术中，通过第二加热部上设置的多个加热分部，分别独立工作，各个加热分部可以分别改善相应区域的温场，对炉体温场进行调控，改善温场不均的问题，使镀膜生成速率更均匀，使镀膜均匀性更好，提高镀膜颜色的一致性。
附图说明
[0017]图1表示本技术实施例中加热炉的结构示意图。
[0018]图2表示本技术实施例中第二加热部的结构示意图。
[0019]附图标记：
[0020]10：炉体；11：盖体；20：第一加热部；21：加热管；30：第二加热部；31：加热分部；40：载板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术固定的范围。
[0022]应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本技术的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。
[0023]参照图1，示出了本技术实施例中所述加热炉的结构示意图，参照图2，示出了本技术实施例中所述第二加热部的结构示意图。
[0024]如图1和图2所示，所述加热炉包括：炉体10、第一加热部20和第二加热部30，炉体10内部设有反应腔，所述反应腔的至少一端设置开口，所述开口用于导入载板40，第一加热部20套设于炉体10外侧，第二加热部设于炉体10内侧；第二加热部30包括多个独立工作的加热分部31。通过第二加热部30上设置的多个加热分部31，分别独立工作，各个加热分部31可以分别改善相应区域的温度，对炉体10温场进行调控，改善温场不均的问题，使镀膜生成速率更均匀，使镀膜均匀性更好，提高镀膜颜色的一致性。
[0025]在本技术实施例中，炉体10可以是柱状结构，在柱状结构内部设置空腔，空腔作为反应腔，反应腔设置一个开口，开口的大小与载板40的大小适配，用于将载板40导入空腔中。炉体10也可以为环形管，环形管的内部为反应腔，反应腔的大小与载板40的大小适
配，环形管的一端或两端设置开口，载板40从所述开口进入反应腔中。在本技术中，对于炉体10的具体结构不做过多限制，在实际的应用中，由技术人员，根据实际的需求进行设置。
[0026]需要说明的是，炉体10可以为石英管，石英管是由二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料。石英管化学性能方面，具有良好的耐高温、耐腐蚀性。石英管物理性能方面，具有热稳定性好、透光性能好、电绝缘性能好等特点。当然，炉体10也可以由其他材质构成，在本技术中，对于炉体10的具体材质，不做限制。
[0027]在本技术实施例中，第一加热部20可以为加热管、加热丝、加热板等。第一加热部20可以设置一个，也可以设置多个。在本技术实施例中，对于第一加热部20具体为何种类型的加热设施，以及，第一加热部20的具体设置数量，均不做限制，在实际的应用中，由技术人员根据需要进行设置。
[0028]其中，第二加热部30也可以为加热管、加热丝、加热板等。第二加热部30可以设置一个，也可以设置多个。在本技术实施例中，对于第二加热部30具体为何种类型的加热设施，以及，第二加热部30的具体设置数量，也不做限制，在实际的应用中，由技术人员根据需要进行设置。
[0029]在本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热炉，其特征在于，所述加热炉包括：炉体、第一加热部和第二加热部，所述炉体内部设有反应腔，所述反应腔的至少一端设置开口，所述开口用于导入载板，所述第一加热部套设于所述炉体外侧，所述第二加热部设于所述炉体内侧；所述第二加热部包括多个独立工作的加热分部。2.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述第二加热部为多个，多个所述第二加热部沿所述炉体预设方向间隔设置。3.根据权利要求2所述的加热炉，其特征在于，所述第二加热部为两组，两组所述第二加热部沿所述炉体预设方向相对设置，其中，所述第二加热部为加热管或加热板。4.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述载板为石墨舟、石英舟或金属舟。5.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述炉体包括：圆环形炉体和盖体，所述圆环形炉体的至少一端设置开口，所述盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙占峰，童洪波，李金雨，於龙，李华，
申请(专利权)人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：