【技术实现步骤摘要】
一种光束整形方法、光束整形装置及紫外激光器
[0001]本专利技术一般涉及激光加工
，具体涉及一种光束整形方法、光束整形装置及紫外激光器。
技术介绍
[0002]随着近代科学技术的不断发展，激光更是重要的专利技术之一。在激光
上，紫外激光器的光子所产生的能量更高，可直接破坏靶材的分子键，不会形成“热熔”过程，此种现象被称为“冷加工”，在精密加工领域得到广泛的应用。紫外激光器的稳定性一直是需要攻克的难题，众所周知，紫外激光器为易损坏器件，偏转光路需要高水平的镀膜技术，但造价昂贵，在成本有限的情况下，不是最优的选择。同时，紫外光束的参数也是影响激光加工的影响因素，如何对紫外光束进行调整，成为了需要思考的问题。
技术实现思路
[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种对光束有效整形，降低造价成本的光束整形方法、光束整形装置及紫外激光器。
[0004]第一方面，本申请提供一种光束整形方法，包括以下步骤：采集激光光束的多组光束入射角；将多组光束入射角依次射入具有目标顶角的光束整形装置内...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光束整形方法，其特征在于，包括以下步骤：采集激光光束的多组光束入射角；将多组光束入射角依次射入具有目标顶角的光束整形装置内；所述目标顶角为激光光束在以布儒斯特角入射和以布儒斯特角出射的前提下，根据光束整形装置的材质而设计的顶角；获取每组光束入射角对应的出射后光斑圆度，得到多组出射后光斑圆度；根据多组光束入射角以及出射后光斑圆度，构建入射角
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光斑圆度变化曲线；遍历入射角
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光斑圆度变化曲线，得到目标光斑圆度对应的光束入射角。2.根据权利要求1所述的一种光束整形方法，其特征在于，计算目标顶角，包括以下步骤：采集激光光束的预设偏转角和设定参数；所述设定参数包括：光束整形装置折射率、第一介质折射率、光束入射角与光束出射角；设定光束入射角与光束出射角相等，根据以下公式计算光束整形装置的目标顶角：；其中，为预设偏转角，为第一介质折射率，为光束整形装置折射率，为目标顶角。3.根据权利要求2所述的一种光束整形方法，其特征在于，所述第一介质为空气。4.根据权利要求3所述的一种光束整形方法，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈洪亮，宋佳佳，王铁男，陈晓华，
申请(专利权)人：天津凯普林激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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