照明装置以及检测设备制造方法及图纸

本申请实施例公开了一种照明装置以及检测设备，用于减少目标光束产生的散斑，包括：光源、散光元件以及匀光元件；所述光源用于发出初始光束；所述散光元件用于分散所述散光元件接收的所述初始光束，得到漫射光束；所述匀光元件用于减小所述匀光元件接收的至少部分漫射光束的发散角，得到目标光束。得到目标光束。得到目标光束。

【技术实现步骤摘要】
照明装置以及检测设备


[0001]本申请实施例涉及光学检测
，尤其涉及照明装置以及检测设备。

技术介绍

[0002]因为激光聚焦较高的亮度和平行度，能够很好的提高检测精度，所以光学检测设备中经常使用激光照明。
[0003]光学检测过程中，待测物表面光斑的均匀性会直接到影响光学检测精度。但是，由于激光的相干性，使用激光进行照明时容易在待测物表面形成散斑，导致待测物表面光斑不均匀，进而导致光学检测精度不高。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种照明装置，用于减少目标光束产生的散斑。
[0005]本申请实施例第一方面提供的一种照明装置，包括：光源、散光元件以及匀光元件；
[0006]所述光源用于发出初始光束；
[0007]所述散光元件用于分散所述散光元件接收的所述初始光束，得到漫射光束；
[0008]所述匀光元件用于减小所述匀光元件接收的至少部分漫射光束的发散角，得到目标光束。
[0009]在一种具体实现方式中，所述匀光元件包括光导管以及光纤组件，所述光导管以及所述光纤组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种照明装置，其特征在于，包括：光源、散光元件以及匀光元件；所述光源用于发出初始光束；所述散光元件用于分散所述散光元件接收的所述初始光束，得到漫射光束；所述匀光元件用于减小所述匀光元件接收的至少部分漫射光束的发散角，得到目标光束。2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述匀光元件包括光导管以及光纤组件，所述光导管以及所述光纤组件沿所述初始光束的出射方向依次排列，所述光纤组件为光纤束，所述光纤束包括多条长度可调的光纤。3.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述照明装置还包括：驱动装置；所述散光元件设置于所述驱动装置，所述驱动装置用于调整所述散光元件的位置以调整所述匀光元件接收的所述至少部分漫射光束的入射角度。4.根据权利要求3所述的照明装置，其特征在于，所述散光元件的位置包括所述散光元件相对于所述初始光束光轴之间的夹角，和/或所述散光元件的中心与所述光源的中心在平行或垂直于所述初始光束光轴的方向的相对位置。5.根据权利要求3所述的照明装置，其特征在于，所述散光元件为毛玻璃，所述匀光元件为六边形光导管。6.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述匀光元件为匀光棒，所述匀光棒的横截面形状为矩形、梯形和/或六边形。7.根据权利要求6所述的照明装置，其特征在于，所述匀光棒入光面的横截面尺寸为第一尺寸且出光面的横截面尺寸为第二尺寸，其中所述第二尺寸小于或等于所述第一尺寸。8.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述匀光元件与所述散光元件在垂直于所述匀光元件的光学中心的方向上的相对位置为0.5毫米至2毫米中的任一值；所述匀光元件的横截面尺寸为1毫米至5毫米中的任一值。9.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：季鹏，周璐阳，杨乐，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：