扫描探针显微镜的承载系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于一扫描探针显微镜的承载系统；其中承载系统包括：一载台、以及一固定器。载台包括：一载台顶面、以及一载台侧壁。载台顶面配置以承载一样本。载台侧壁从载台顶面延伸。固定器包括：一固定器固定部、以及一固定器连接部。固定器固定部配置以固定载台顶面上的样本。固定器连接部连接至固定器固定部，并固定到载台侧壁。样本的一待测区域显露于固定器固定部。于固定器固定部。于固定器固定部。

【技术实现步骤摘要】
扫描探针显微镜的承载系统


[0001]本申请是有关于一种承载系统，特别是有关于一种用于扫描探针显微镜(Scanning probe microscopy)(例如，原子力显微镜(atomic force microscopy))的承载系统。

技术介绍

[0002]在使用扫描探针显微镜(例如，原子力显微镜)时，需在导电、高度真空、及稳定的环境下作业。而且，待测的样本需要固定在载台上，以让纳米探针扫描此样本。现行的固定方式是使用胶带(例如，导电铝胶带)将样本贴合在载台上。
[0003]然而，导电铝胶带中的有机物会在低压环境中挥发，并在试片上形成积碳。因此，将使得试片导电困难。再者，由于导电铝胶带在高温环境时会形成应力，因此当应力释放时，会使试片飘移或振动。
[0004]现行的解决方法是借由人工清洁试片上的积碳，并借由长时间的等待来使应力释放。此种方法相当耗时且不经济。因此，需要有一种承载系统，来将试片固定在载台上，而且不会发生材料挥发及热飘移的现象。

技术实现思路

[0005]根据一些实施例，提供一种用于一扫描探针显微本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于一扫描探针显微镜的承载系统，其特征在于，包括：一载台，包括：一载台顶面，配置以承载一样本；以及一载台侧壁，从所述载台顶面延伸；以及一固定器，包括：一固定器固定部，配置以固定所述载台顶面上的所述样本；以及一固定器连接部，连接至所述固定器固定部，并固定到所述载台侧壁，其中，所述样本的一待测区域显露于所述固定器固定部。2.如权利要求1所述的承载系统，其特征在于，所述载台更包括一载台螺丝孔，且所述固定器更包括：一固定器周边，围绕并连接所述固定器固定部，且包括一固定器螺丝孔；以及一固定螺丝，插入到所述载台螺丝孔及所述固定器螺丝孔，以将所述固定器固定到所述载台。3.如权利要求1所述的承载系统，其特征在于，所述固定器固定部对所述样本施加朝向所述样本的一压力。4.如权利要求1所述的承载系统，其特征在于，所述载台侧壁包括一载台侧壁固定部，且所述固定器连接部借由所述载台侧壁固定部而固定到所述载台侧壁。5.如权利要求4所述的承载系统，其特征在于，所述固定器连接部具有一螺线结构，且所述载台侧壁固定部具有一螺纹结构。6.如权利要求4所述的承载系统，其特征在于，所述固定器...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖学钲，
申请(专利权)人：华邦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：