一种基于光学干涉法的真空检漏系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种基于光学干涉法的真空检漏系统及方法。本发明专利技术首先通过光学检漏设备测量待测管路某部位的压力在一定时间内变化的值，然后利用算法软件将测量物理参数代入并计算模型，最后利用算法软件对测试获得的数据信息进行运算处理，找出管道泄漏位置及其漏孔大小。本发明专利技术中提出的基于光学原理的真空检漏方法，具有动态响应快、灵敏度高、非接触性等特点，且在强磁场条件下具有较高的抗干扰能力强，稳定性高，适用于包括磁约束聚变堆在内的多种强磁场高辐射应用场景。多种强磁场高辐射应用场景。多种强磁场高辐射应用场景。

【技术实现步骤摘要】
一种基于光学干涉法的真空检漏系统及方法


[0001]本专利技术属于真空泄漏检测
，具体涉及一种基于光学干涉法的真空检漏系统及方法。

技术介绍

[0002]磁约束聚变是目前自然科学研究中一项具有十分重大意义的研究领域，超导托卡马克装置被认为最具有聚变能利用前景的可控磁约束热核聚变研究装置。真空系统是整个超导托卡马克装置中非常重要的组成部分，外真空室为低温超导提供绝热环境，内真空室为高温的等离子体聚变提供了真空清洁环境，相关辅助加热系统也需要保持真空状态才能与装置主真空相连接。因此当真空室发生泄露，需要及时对泄露部件进行定位并更换，由于真空容器内具有强磁场背景，常规检漏手段如氦质谱法、负压喷氦法及正压冒泡法在聚变环境下的检测效果不佳且难以操作。而且对于超导托卡马克装置而言，聚变反应将长时间稳定运行，真空室内的辐射条件不允许人工检漏。而且若是要破除托卡马克真空室的真空环境，来进行人工检漏，将会造成不可估量的经济损失且检漏流程繁琐且耗时过长，因此抗磁干扰可远程遥操作的检漏方法是未来聚变堆检漏的必然趋势。

技术实现思路
<br/>[0003]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于光学干涉法的真空检漏系统，其特征在于：包括载具、检漏腔、吸嘴、光纤、激光器和数据处理单元；所述载具用于搭载所述检漏腔与吸嘴，并具有x、y、z三维的运动自由度；所述检漏腔内部为法布里波罗谐振腔，所述检漏腔的两端设有高反镜；所述吸嘴与检漏腔相连，用于收集泄漏气体；所述激光器用于提供激光光源；所述光纤用于传输激光器出射的激光并将检测信号传输给数据处理单元；所述数据处理单元用于处理检测信号。2.根据权利要求1所述的一种基于光学干涉法的真空检漏系统，其特征在于：所述法布里波罗谐振腔的材料为零膨胀玻璃，所述高反镜的材料为K9玻璃或熔融石英。3.根据权利要求1所述的一种基于光学干涉法的真空检漏系统，其特征在于：所述光纤与检漏腔由光纤准直器连接。4.一种如权利要求1
‑
3之一所述的基于光学干涉法的真空检漏系统的检漏方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1：将待测管道的管壁用酒精进行清洗，并进行高温除气处理，使漏孔不被污物、油、有机溶剂堵塞；步骤S2：将待测管道充满氦气，光学检测设备利用吸嘴紧贴待测管道的管壁，维持一个检测周期，收集泄漏气体，并检测出光信号频率变化，记录数据处理单元的参数；步骤S3：将上述步骤S2检测得到的光信号进行分析，若是某处的光信号发生变化，则进行判断：(a)若光信号频率变化大于设定阈值，则判定该处有泄漏；(b)若光信号频率变化小于设定阈值，则增加检测时间，按照上述步骤S2进行复测,若光信号频率仍然小于设定阈值，判定该处无泄漏；若光信号频率大于设定阈值，判定该处有泄漏；步骤S4：通过遥控所述载具控制光学检测设备检测待测管道的其他位置，并重复上述步骤S2
‑
S3，直到待测管道的整个壁面检测完...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨庆喜，黄新宇，陈肇玺，余清洲，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：