本发明专利技术公开了一种渐变色真空镀膜装置，真空镀膜装置对基材进行镀膜，包括壳体、导向装置和抽气装置，壳体和导向装置连接，抽气装置和壳体管道连通，导向装置包括喷射头和调节组件，壳体上设有导流道，导流道和靶材管道连通，导流道远离靶材管道一端和喷射头管道连通，壳体上设有截流槽，截流槽位于导流道一侧，调节组件包括截流板，截流板和截流槽滑动连接，截流板下端插入导流道内，通过靶材管道将熔融状态下的靶材送入喷射头内，进行增压喷射，喷射到基材上，进行覆膜，通过截流槽内的截流板对导流道的靶材进行截流，通过调节截流板的截流面积，从而控制瞬时通过量，在进行渐变色镀膜时，通过控制瞬时通过量改变镀膜色度。通过控制瞬时通过量改变镀膜色度。通过控制瞬时通过量改变镀膜色度。
【技术实现步骤摘要】
一种渐变色真空镀膜装置
[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，具体为一种渐变色真空镀膜装置。
技术介绍
[0002]近年来，随着产品个性化的需求和工业设备工艺性要求逐渐提高，在产品的表面添加镀膜成为主要的趋势。在产品的外表添加渐变色的镀膜可以满足个性化追求，在一些工业设备表面添加镀膜，可以形成保护层或者钝化层，从而达到防腐、防氧化、提升使用寿命的目的。
[0003]真空镀膜是指在真空中将金属或者合金进行蒸发、雾化，通过定向沉积，渡附在基材表面的方法。然而，随着产品的复杂程度不断增加，常规的真空镀膜装置已经不再适用，无法生产渐变色镀膜，而且镀膜均匀性能较差，尤其是当基材表面产生不同曲率的凹槽时，只能进行定向、定量喷射，当靶材沉积在基材表面时，由于单位竖直距离内的带镀膜面积大小不同，容易造成厚薄不一的镀膜层，在长期使用时，会造成局部镀膜层脱落，影响连续性使用寿命。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种渐变色真空镀膜装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种渐变色真空镀膜装置，真空镀膜装置对基材进行镀膜，包括壳体、导向装置和抽气装置，壳体和导向装置连接，抽气装置和壳体管道连通，导向装置包括喷射头和调节组件，壳体上设有导流道，导流道和靶材管道连通，导流道远离靶材管道一端和喷射头管道连通，壳体上设有截流槽，截流槽位于导流道一侧，调节组件包括截流板，截流板和截流槽滑动连接，截流板下端插入导流道内。
[0006]壳体为主要的承载基础，对于其他各装置进行安装固定，通过导向装置对喷射头进行滑动导向，从而对基材从下到上依次进行镀膜，通过抽气装置制造真空，便于进行真空镀膜，通过管道连通，进行气体导流，在进行真空镀膜时，通过靶材管道将熔融状态下的靶材送入导流道内，通过管道连通送入喷射头内，进行增压喷射，喷射到基材上，进行覆膜，通过截流槽内的截流板对导流道的靶材进行截流，通过调节截流板的截流面积，从而控制瞬时通过量，在进行渐变色镀膜时，通过控制瞬时通过量改变镀膜色度。
[0007]进一步的，真空镀膜装置还包括电场发生器，壳体上设有真空腔，电场发生器置于真空腔内，喷射头内设有荷电板，荷电板和靶材电连，抽气装置包括真空泵，壳体上设有抽气室，真空泵置于抽气室内，抽气室和真空腔管道连通；导向装置还包括检测组件和载板，载板置于真空腔内，基材置于载板上，载板上设有夹持装置，夹持装置和基材接触，检测组件包括外延板、平行光源、底板和电极板，喷射头位于外延板中间位置，壳体上设有导向槽，外延板和导向槽滑动连接，外延板和喷射头传动
连接，平行光源和外延板紧固连接，导向槽和真空腔连通，喷射头朝向基材，平行光源出射光水平朝向基材外表面，外延板从中部向两侧等距设置有多个底板，底板上设有感光层，感光层两侧设有电极板，调节组件还包括电源，多个电极板和电源电连接，同个感光层上的两个电极板构成分检电路，多个感光层置于平行光源的折射光路上。
[0008]真空泵置于抽气室内，输入端通过抽气室和真空腔连通，在真空腔内制造真空，真空制造完成后，将基材置于载板上，通过载板上的夹持装置副基材进行夹持固定，通过电场发生器制造均匀电场，通过喷射头内的荷电板对熔融状态下的靶材进行荷电，通过喷射头进行增压雾化，荷电后的靶材颗粒在静电场作用下，沿着电场线，水平朝向基材表面移动，进行定向镀膜，通过匀强电场进行镀膜，提高镀膜均匀性，通过检测组件对基材表面凹陷程度进行检测，根据凹陷曲率调节靶材出料量，从而确保镀膜均匀性，喷射头安装在外延板上，从中间向两侧延伸分别设有多个底板，底板按照等间距设置，平行光源位于喷射头上侧，当平行光源的出射光沿水平方向出射时，先射到基材表面，通过基材反射，改变平行光方向，当基材表面为竖直面时，平行光沿原路径返回，不照射在两侧底板的感光层上，当基材表面产生凹陷时，使光线不再沿原路返回，向着外延板反射，并照射在感光层上，感光层为光敏材料制成，在光照作用下，激发出电子
‑
空穴对，两个电极板之间产生导通电流，当基材表面的凹槽曲率较小时，曲率半径较大，水平出射的光线反射到远离喷射头的感光层上；当基材表面的凹槽曲率较大时，曲率半径较小，水平出射的光线反射到靠近喷射头的感光层上；通过不同位置导通的分检电路从而对基材凹槽的曲率进行检测，曲率越大单位竖直长度内的待覆膜面积越小，曲率越小单位竖直长度内的待覆膜面积越大，根据不同分检电路导通状态，自动调节靶材出射量，提高覆膜均匀性，载板为导电材质制成，当靶材贴合在基材表面时，最下层的先和载板接触，通过载板导电，将靶材内多余的电荷量导出，载板另一端和喷射头内多余的电荷量电连接，进行电中和。
[0009]进一步的，调节组件还包括电磁铁，电磁铁置于截流槽上端，截流板为磁铁材质；通电时：电磁铁下端和截流板上端为异名磁极。
[0010]通过截流槽对电磁铁进行固定，当需要改变截流板截流的导流道过流面积时，通过控制电磁铁下端的磁性大小，控制截流板沿截流槽上下移动。
[0011]进一步的，电磁铁和分拣电路电连，电磁铁包括铁芯和螺线管，螺线管位于铁芯外圈，螺线管下端和电源一个电极电连，螺线管从底端向上的线圈分别与从外延板中部向端部延伸的分拣电路对应电连。
[0012]每个分检电路和一个螺线管的线圈的外环对应电连，螺线管最下层接入电源，外延板上靠近中部的分检电路和次下层的螺线管电连，外延板两端的分拣电路和最上层的螺线管电连，根据分检电路和外延板中部的距离，呈正相关调节螺线管的线圈接入电路的圈数，从而调节电磁铁的磁力大小，当基材反射的平行光照射在靠近外延板中部时，此时单位竖向距离内的凹槽部分曲率较大，但涂覆的表面积较小，电磁铁的螺线管接入的线圈匝数较少，磁力较小，因此截流板上移距离较小，导流道被截流板截流后的过流面积较小，因此喷射头喷射的靶材较少；当反射的光线照射在远离外延板中部时，待涂覆的表面积增大，使螺线管接入的线圈匝数增多，随着磁力增大，截流板进一步上移，导流道局部的过流面积增大，单位时间喷射头喷射的靶材量增多。
[0013]进一步的，壳体上设有感压槽，抽气装置还包括感压座，感压槽粗糙度沿向真空腔
的方向逐渐递增，感压座一侧朝向真空腔，另一侧朝向大气。
[0014]通过设置感压槽对真空腔内的抽负压状况进行实时检测，感压座和感压槽摩擦接触，感压座内侧朝向真空腔，外侧朝向大气，随着真空泵抽气，使感压座沿感压槽向真空腔的方向移动，随着感压座向内侧移动，摩擦力逐渐增大，当感压座到达预定位置时，真空泵停止抽气。
[0015]进一步的，抽气装置还包括密封层，密封层为柔性材质，密封层外侧和感压槽壁面紧固连接，密封层中部和感压座通过联动杆传动连接。
[0016]密封层例如为橡胶材质，在外力作用下可以变形，当通过真空泵进行抽真空时，通过密封层内外侧压差，使密封层向内侧形变，形变过程中，通过联动杆传动，带动感压座向内侧移动，通过密封层提高密封等级，防止泄气，影响抽真空效率。
[001本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种渐变色真空镀膜装置，所述真空镀膜装置对基材（5）进行镀膜，其特征在于：所述真空镀膜装置包括壳体（1）、导向装置（2）和抽气装置（3），所述壳体（1）和导向装置（2）连接，所述抽气装置（3）和壳体（1）管道连通，所述导向装置（2）包括喷射头（21）和调节组件（23），所述壳体（1）上设有导流道（14），所述导流道（14）和靶材管道连通，导流道（14）远离靶材管道一端和喷射头（21）管道连通，所述壳体（1）上设有截流槽（15），所述截流槽（15）位于导流道（14）一侧，所述调节组件（23）包括截流板（232），所述截流板（232）和截流槽（15）滑动连接，截流板（232）下端插入导流道（14）内。2.根据权利要求1所述的一种渐变色真空镀膜装置，其特征在于：所述真空镀膜装置还包括电场发生器（4），所述壳体（1）上设有真空腔（11），所述电场发生器（4）置于真空腔（11）内，所述喷射头（21）内设有荷电板，所述荷电板和靶材电连，所述抽气装置（3）包括真空泵（31），所述壳体（1）上设有抽气室（12），所述真空泵（31）置于抽气室（12）内，所述抽气室（12）和真空腔（11）管道连通；所述导向装置（2）还包括检测组件（22）和载板（24），所述载板（24）置于真空腔（11）内，所述基材（5）置于载板（24）上，所述载板（24）上设有夹持装置，所述夹持装置和基材（5）接触，所述检测组件（22）包括外延板（221）、平行光源（222）、底板（223）和电极板（225），所述喷射头（21）位于外延板（221）中间位置，所述壳体（1）上设有导向槽（13），所述外延板（221）和导向槽（13）滑动连接，外延板（221）和喷射头（21）传动连接，所述平行光源（222）和外延板（221）紧固连接，所述导向槽（13）和真空腔（11）连通，所述喷射头（21）朝向基材（5），所述平行光源（222）出射光水平朝向基材（5）外表面，所述外延板（221）从中部向两侧等距设置有多个底板（223），所述底板（223）上设有感光层（224），...
【专利技术属性】
技术研发人员：王贵生，曾德洪，陈浩，
申请(专利权)人：泰州光丽光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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