一种涂胶真空旋转单元制造技术

本实用新型专利技术提供一种涂胶真空旋转单元，包括旋转电机、以及通过密封机构设于所述旋转电机输出轴上的晶圆旋转平台，所述密封机构包括设于所述输出轴上的限制筒、设于所述晶圆旋转平台下端端面中心位置上的连接筒、以及设于所述限制筒上的密封组件，所述连接筒通过下端面开设的连接槽套设于限制筒上；所述密封组件包括套设于限制筒侧面开设环形槽内的永磁体、套设于限制筒筒身位于所述永磁体上方开设密封槽内的密封圈、以及注入到环形槽和密封槽内的磁性液体；本实用新型专利技术可以避免旋转电机与晶圆旋转平台装配后出现晶圆旋转平台表面倾斜水平和真空失效的问题出现。平和真空失效的问题出现。平和真空失效的问题出现。

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶真空旋转单元


[0001]本技术涉及半导体设备
，具体为一种涂胶真空旋转单元。

技术介绍

[0002]磁性液体又称磁流体、铁磁流体或磁液，是一种新型的功能材料，它既具有液体的流动性又具有固体磁性材料的磁性。是由直径为纳米量级(10纳米以下)的磁性固体颗粒、基载液(也叫媒体)以及界面活性剂三者混合而成的一种稳定的胶状液体。该流体在静态时无磁性吸引力，当外加磁场作用时，才表现出磁性，正因如此，它才在实际中有着广泛的应用，在理论上具有很高的学术价值。用纳米金属及合金粉末生产的磁流体性能优异，可广泛应用于各种苛刻条件的磁性流体密封、减震、医疗器械、声音调节、光显示、磁流体选矿等领域。
[0003]目前制造业芯片短缺的问题凸显，国产半导体设备技术更新换代速度加快。在半导体行业中，涂胶显影机组有多个系统模块组成，其中涂胶单元是涂胶显影的重要组成部分，目前的系统相关的主要零部件有地板、喷胶模块、旋转模块、洗边模块、线路、气管路等零部件，其中旋转电机旋转单元是光刻涂胶显影工艺的核心单元。
[0004]目前市场上的旋转电机在与旋转平本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂胶真空旋转单元，包括旋转电机(1)、以及通过密封机构设于所述旋转电机(1)输出轴(2)上的晶圆旋转平台(5)，其特征在于，所述密封机构包括设于所述输出轴(2)上的限制筒(3)、设于所述晶圆旋转平台(5)下端端面中心位置上的连接筒(4)、以及设于所述限制筒(3)上的密封组件，所述连接筒(4)通过下端面开设的连接槽(10)套设于限制筒(3)上；所述密封组件包括套设于限制筒(3)侧面开设环形槽内的永磁体(9)、套设于限制筒(3)筒身位于所述永磁体(9)上方开设密封槽(6)内的密封圈(7)、以及注入到环形槽和密封槽(6)内的磁性液体。2.根据权利要求1所述的一种涂胶真空旋转单元，其特征在于：所述输出轴(2)内开设有与连接槽(10)贯通的真空通道；所述连接槽(10)与晶圆旋转平台(5)上开设的吸附槽贯通。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵明山，
申请(专利权)人：合肥开悦半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：