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本实用新型提供一种涂胶真空旋转单元，包括旋转电机、以及通过密封机构设于所述旋转电机输出轴上的晶圆旋转平台，所述密封机构包括设于所述输出轴上的限制筒、设于所述晶圆旋转平台下端端面中心位置上的连接筒、以及设于所述限制筒上的密封组件，所述连接筒通...
该专利属于合肥开悦半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥开悦半导体科技有限公司授权不得商用。

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