一种用于显微镜检验的装置及系统制造方法及图纸

技术编号:36309404 阅读:47 留言:0更新日期:2023-01-13 10:35
本实用新型专利技术公开了一种用于显微镜检验的装置及系统,属于芯片表面检验技术领域,包括支撑座、第一调节机构、冷光灯具、第二调节机构和暖光灯具,所述支撑座被构造为可供与显微镜相卡接;所述第一调节机构包括第一活动臂和第二活动臂,所述第一活动臂转动的安装于所述支撑座,所述第二活动臂和所述第一活动臂转动连接;所述冷光灯具转动的安装于所述第二活动臂,所述第二活动臂和所述第二活动臂的转动方向与所述第二活动臂和所述第一活动臂的转动方向相垂直;第二调节机构包括第三活动臂和第四活动臂,第三活动臂转动的安装于支撑座,第四活动臂和第三活动臂转动连接。本实用新型专利技术达到芯片表面的杂质容易被识别检出,不易发生检验漏失的技术效果。验漏失的技术效果。验漏失的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于显微镜检验的装置及系统


[0001]本技术属于芯片表面检验
,特别涉及一种用于显微镜检验的装置及系统。

技术介绍

[0002]在摄像模组生产的过程中需要对芯片表面洁净度进行检验,而对芯片表面的洁净度的要求也越来越高。
[0003]目前,在现有的芯片表面检验技术中,通常是将芯片放置在显微镜下进行检验,在显微镜灯下进行检验时,芯片表面的颜色是偏白。但是目前制程产品均有玻璃材质物料,处于芯片表面的常见的白色颗粒物等杂质在偏白情况下是无法被识别检出,容易发生检验漏失,会造成后段成品不良。
[0004]综上所述,在现有的芯片表面检验技术中,存在着芯片表面的杂质难以被识别检出,容易发生检验漏失的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是芯片表面的杂质难以被识别检出,容易发生检验漏失的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题,本技术提供了一种用于显微镜检验的装置,所述装置包括:支撑座、第一调节机构、冷光灯具、第二调节机构和暖光灯具,所述支撑座被构造为可供与显微镜相卡接;所述第一调节机构包括第一活动臂和第二活动臂,所述第一活动臂转动的安装于所述支撑座,所述第二活动臂和所述第一活动臂转动连接;所述冷光灯具转动的安装于所述第二活动臂,所述第二活动臂和所述第二活动臂的转动方向与所述第二活动臂和所述第一活动臂的转动方向相垂直;所述第二调节机构包括第三活动臂和第四活动臂,所述第三活动臂转动的安装于所述支撑座,所述第四活动臂和所述第三活动臂转动连接;所述暖光灯具转动的安装于所述第四活动臂,所述第四活动臂和所述第四活动臂的转动方向与所述第四活动臂和所述第三活动臂的转动方向相垂直。
[0007]进一步地,所述第一调节机构还包括:第一冷光转动部件、第二冷光转动部件和第三冷光转动部件,所述第一冷光转动部件固定于所述支撑座,所述第一活动臂的一端和所述第一冷光转动部件转动连接;所述第二冷光转动部件和所述第一活动臂的另一端固定连接,所述第二活动臂的一端和所述第二冷光转动部件转动连接;所述第三冷光转动部件和所述第二活动臂的另一端固定连接,所述第三冷光转动部件和所述冷光灯具转动连接。
[0008]进一步地,所述第一活动臂的一端和所述第一冷光转动部件的转动方向与所述第二活动臂的一端和所述第二冷光转动部件的转动方向相同;所述第三冷光转动部件和所述冷光灯具的转动方向与所述第二活动臂的一端和所述第二冷光转动部件的转动方向不相同。
[0009]进一步地,所述支撑座包括本体和通槽,所述本体和所述第一活动臂转动连接,所
述本体和所述第三活动臂转动连接,所述本体可供与显微镜相卡接,所述通槽可供放置显微镜。
[0010]进一步地,所述本体设置有第一通孔、第二通孔和第三通孔,于所述第一通孔螺纹连接有第一卡接杆,于所述第二通孔螺纹连接有第二卡接杆,于所述第三通孔螺纹连接有第三卡接杆,所述第一卡接杆、所述第二卡接杆和所述第三卡接杆均与所述显微镜相卡接。
[0011]进一步地,所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔呈等间距分布。
[0012]进一步地,所述第一活动臂和所述第三活动臂相对于所述支撑座的中心呈对称分布。
[0013]依据本技术的又一个方面,本技术还提供一种用于显微镜检验的系统,包括显微镜,还包括所述用于显微镜检验的装置,所述显微镜和所述支撑座相卡接。
[0014]有益效果:
[0015]本技术提供一种用于显微镜检验的装置,通过支撑座被构造为可供与显微镜相互卡接。第一调节机构中第一活动臂转动的安装于支撑座,第二活动臂和所述第一活动臂转动连接。冷光灯具转动的安装于第一调节机构中第二活动臂,所述第二活动臂和所述第二活动臂的转动方向与所述第二活动臂和所述第一活动臂的转动方向相互垂直。第二调节机构中第三活动臂转动的安装于所述支撑座,所述第四活动臂和所述第三活动臂转动连接。暖光灯具转动的安装于第二调节机构中第四活动臂,所述第四活动臂和所述第四活动臂的转动方向与所述第四活动臂和所述第三活动臂的转动方向相互垂直。这样在对芯片表面洁净度进行检验的过程中,将冷光灯具和暖光灯具调节至能够照射芯片表面的位置,通过冷光灯具发射出冷光至芯片表面,同时暖光灯具发射出暖光至芯片表面。照射在冷光至芯片表面上的冷光和暖光,会将芯片表面调节至纯蓝色或纯黑色,此时能够将处于芯片表面的常见的白色颗粒物等杂质突显出来,继而实现容易对芯片表面的洁净度或划痕进行观察,使得芯片表面的杂质容易被识别检出,不易发生检验漏失。从而达到了芯片表面的杂质容易被识别检出,不易发生检验漏失的技术效果。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术实施例提供的一种用于显微镜检验的装置的示意图一;
[0018]图2为本技术实施例提供的一种用于显微镜检验的装置的示意图二;
[0019]图3为本技术实施例提供的一种用于显微镜检验的装置的示意图三。
具体实施方式
[0020]本技术公开了一种用于显微镜检验的装置,通过支撑座被构造为可供与显微镜相互卡接。第一调节机构中第一活动臂21转动的安装于支撑座,第二活动臂22和所述第一活动臂21转动连接。冷光灯具3转动的安装于第一调节机构中第二活动臂22,所述第二活动臂22和所述第二活动臂22的转动方向与所述第二活动臂22和所述第一活动臂21的转动
方向相互垂直。第二调节机构中第三活动臂41转动的安装于所述支撑座,所述第四活动臂42和所述第三活动臂41转动连接。暖光灯具5转动的安装于第二调节机构中第四活动臂42,所述第四活动臂42和所述第四活动臂42的转动方向与所述第四活动臂42和所述第三活动臂41的转动方向相互垂直。这样在对芯片表面洁净度进行检验的过程中,将冷光灯具3和暖光灯具5调节至能够照射芯片表面的位置,通过冷光灯具3发射出冷光至芯片表面,同时暖光灯具5发射出暖光至芯片表面。照射在冷光至芯片表面上的冷光和暖光,会将芯片表面调节至纯蓝色或纯黑色,此时能够将处于芯片表面的常见的白色颗粒物等杂质突显出来,继而实现容易对芯片表面的洁净度或划痕进行观察,使得芯片表面的杂质容易被识别检出,不易发生检验漏失。从而达到了芯片表面的杂质容易被识别检出,不易发生检验漏失的技术效果。
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围;其中本实施中所涉及的“和/或”关键词,表示和、或两种情况,换句话说,本技术实施例所提及的A本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于显微镜检验的装置,其特征在于,所述装置包括:支撑座、第一调节机构、冷光灯具、第二调节机构和暖光灯具,所述支撑座被构造为可供与显微镜相卡接;所述第一调节机构包括第一活动臂和第二活动臂,所述第一活动臂转动的安装于所述支撑座,所述第二活动臂和所述第一活动臂转动连接;所述冷光灯具转动的安装于所述第二活动臂,所述第二活动臂和所述第二活动臂的转动方向与所述第二活动臂和所述第一活动臂的转动方向相垂直;所述第二调节机构包括第三活动臂和第四活动臂,所述第三活动臂转动的安装于所述支撑座,所述第四活动臂和所述第三活动臂转动连接;所述暖光灯具转动的安装于所述第四活动臂,所述第四活动臂和所述第四活动臂的转动方向与所述第四活动臂和所述第三活动臂的转动方向相垂直。2.如权利要求1所述的用于显微镜检验的装置,其特征在于,所述第一调节机构还包括:第一冷光转动部件、第二冷光转动部件和第三冷光转动部件,所述第一冷光转动部件固定于所述支撑座,所述第一活动臂的一端和所述第一冷光转动部件转动连接;所述第二冷光转动部件和所述第一活动臂的另一端固定连接,所述第二活动臂的一端和所述第二冷光转动部件转动连接;所述第三冷光转动部件和所述第二活动臂的另一端固定连接,所述第三冷光转动部件和所述冷光灯具转动连接。3.如权利要求2所述的用于...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡应新汪雄勇黎帅杨威
申请(专利权)人:湖北三赢兴光电科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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