一种高精度水冷冷水机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种高精度水冷冷水机，该机包括保温水箱、水泵、制冷蒸发器、热回收加热器、压缩机和水冷冷凝器，保温水箱设有出水管和进水管，水泵的进水端连接出水管、出水端设有送水管，制冷蒸发器的进水端设有回水管、出水端通过冻水管连接热回收加热器，热回收加热器连接进水管，压缩机设有冷媒回流管和冷媒输出管，冷媒回流管连接制冷蒸发器的冷媒输出端，冷媒输出管设有第一分流管、第二分流管和第三分流管，第一分流管经过水冷冷凝器后接入制冷蒸发器的冷媒输入端，第二分流管经过热回收加热器后接入第一分流管，第三分流管直接接入第一分流管。本实用新型专利技术有利于精确控制冷水机的水温及节能降耗。机的水温及节能降耗。机的水温及节能降耗。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度水冷冷水机


[0001]本技术涉及冷水机的结构改进。

技术介绍

[0002]近年来，随着超大规模集成电路加工制造等高精密加工领域的发展，对高精密加工设备的主轴冷却或光学系统的冷却对温度要求越发严苛，即温度变化波动越小，就越能消除高精密加工设备对加工工件的影响，越能制造出高质量的产品。因此，对高精密加工设备的冷却装置必须达到精度比较高的工业冷水机来消除温度对加工的影响。
[0003]在现有的高精度冷水机中，如中国专利为201620613464.4的技术专利所公开“一种高精度工业冷水机组”，在其正常工作范围内，并没有指明这种冷水机能否在某一设定的工作温度内保证出水温度的精度，例如在涂胶显影机对冷却水温度精度就有严苛要求，必须保证晶圆工作台部位冷却水温度波动在20～23℃
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0.1℃之内，该种“高精度工业冷水机组”难于满足该类型的需求；又如中国专利号为201821247344.2的技术专利所公开的“一种高精度出水冷水机组”，虽然其精度能达到
±
0.1℃的精度，但其采用三相晶闸管调压器的无级调节控制电加热对出水温度进行再调节控制，这就造成了有额外能耗投入的问题。现有高精度冷水机技术中，普遍存在有难于长时间的保证高精度或能达到精度要求，但又需要额外的电加热来补偿温度波动造成的的能源浪费的问题。

技术实现思路

[0004]本技术旨在提供一种温度控制高精度、能耗低、稳定性好的水冷式冷水机，以改善现有冷水机所存在的不足。
[0005]本技术采用的技术方案如下：
[0006]一种高精度水冷冷水机，包括保温水箱、水泵、制冷蒸发器、热回收加热器、压缩机和水冷冷凝器。
[0007]保温水箱外接有出水管，出水管的起始端连通保温水箱箱底所设的出水口、末端设有截止阀，水泵的进水端管接出水管、出水端设有送水管，送水管的末端设为用于连接用水设备进水端的第一自由端。
[0008]制冷蒸发器外接有回水管，回水管的末端连通制冷蒸发器的进水端、起始端设为用于连接用水设备出水端的第二自由端。
[0009]制冷蒸发器和热回收加热器之间设有冻水管，该冻水管的起始端连通制冷蒸发器的出水端、末端连通热回收加热器的进水端。
[0010]热回收加热器和保温水箱之间设有进水管，该进水管的起始端连通热回收加热器的出水端、末端连通保温水箱箱底所设的进水口。
[0011]压缩机的冷媒回流口和冷媒输出口分别接有冷媒回流管和冷媒输出管，冷媒回流管连通制冷蒸发器的冷媒输出端，冷媒输出管设有第一分流管、第二分流管和第三分流管，第一分流管经过水冷冷凝器后末端接入一根节流毛细管的起始端，节流毛细管的末端接入
一根汇总管的起始端，汇总管的末端接入制冷蒸发器的冷媒输入端，第二分流管经过热回收加热器后末端接入水冷冷凝器和节流毛细管之间的第一分流管，第三分流管的末端接入汇总管。
[0012]水冷冷凝器的冷却出水管上设有冷凝压力调节阀，第二分流管设有第一冷媒流量控制阀，第三分流管设有第二冷媒流量控制阀。
[0013]制冷蒸发器内设有蒸发温度传感器，保温水箱内设有出水温度传感器，回水管内设有回水温度传感器，进水管内设有进水温度传感器。
[0014]作为优选方案，保温水箱的侧壁设有溢水口、内侧壁设有水位开关；
[0015]作为优选方案，保温水箱内设有弧形射流管。
[0016]作为优选方案，送水管和回水管之间设有旁通阀。
[0017]作为优选方案，进水管上设有水流开关。
[0018]作为优选方案，出水温度传感器设于保温水箱的出水口处，回水温度传感器设于回水管的末端，进水温度传感器设于进水管的起始端。
[0019]作为优选方案，保温水箱、水泵、制冷蒸发器、热回收加热器、压缩机和水冷冷凝器均设于同一机箱内，其中，保温水箱设于该机箱的内顶部，水泵、制冷蒸发器、热回收加热器、压缩机和水冷冷凝器均设于保温水箱的下方。
[0020]作为优选方案，保温水箱包括顶开式的密封箱体和设于该密封箱体顶部以封闭其顶口的密封箱盖，保温水箱的进水口和出水口均设于密封箱体底部，密封箱盖上设有注水嘴，注水嘴密封插接于机箱顶部所设的注水口内，注水口设有密封口盖。
[0021]本技术具有如下有益效果：
[0022]1本技术的水泵可用于将保温水箱的水输送至用水设备，并将用水设备的回流水送回保温水箱以形成水循环，回流水的温度可由制冷蒸发器进行冷冻，由热回收加热器进行升温，以得到精密调节，以消除用水设备因负荷变化而引起的回流水温度波动，使得进入保温水箱的回流水温度得以精确控制在所需温度值内，可以充分满足高精密加工设备对冷却水温的要求；
[0023]2本技术的冷媒流量控制阀可根据蒸发温度传感器所测得的温度值来对制冷蒸发器的工作状态进行有效控制，使制冷蒸发器的蒸发温度不低于0℃，防止制冷蒸发器因结冰而受损；
[0024]3本技术的热回收加热器采用冷媒的热量来对回流水的温度进行精密调节，无需额外使用电能加热，并且在进行热回收加热时，也可节省水冷冷凝器的冷却能量消耗，具有良好的节能效果，满足社会低碳的需求。
附图说明
[0025]图1为本技术实施例的总体结构外部视图；
[0026]图2为本技术实施例的内部结构示意图。
[0027]图3为本技术实施例的冷媒压力调节阀结构示意图。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和具体实施例对本技术进行说明。
[0029]参照图1
‑
3：
[0030]一种高精度水冷冷水机，包括机箱28及设于该机箱28内的保温水箱1、水泵2、制冷蒸发器3、热回收加热器4、压缩机5和水冷冷凝器6，保温水箱1设于机箱28的内顶部，水泵2、制冷蒸发器3、热回收加热器4、压缩机5和水冷冷凝器6均设于保温水箱1的下方。
[0031]保温水箱1包括顶开式的密封箱体1.1和设于该密封箱体1.1顶部以封闭其顶口的密封箱盖1.2，密封箱体1.1的侧部设有溢水口、底部设有进水口和出水口，溢水口连接有水位开关24，水位开关24设于密封箱体1.1的内侧壁上，密封箱盖1.2上设有注水嘴1.3，注水嘴1.3密封插接于机箱28顶部所设的注水口内，注水口设有密封口盖28.1。
[0032]保温水箱1外接有出水管7，出水管7的起始端连通保温水箱1箱底所设的出水口、末端设有截止阀8，水泵2的进水端管接出水管7、出水端设有送水管9，送水管9的末端设为用于连接用水设备进水端的第一自由端。
[0033]制冷蒸发器3外接有回水管10，回水管10的末端连通制冷蒸发器3的进水端、起始端设为用于连接用水设备出水端的第二自由端。
[0034]送水管9和回水管10之间设有旁通阀26，该旁通阀26的进水端管接送水管9、出水端管接回水管10。
[0035]制冷蒸发器3和热回收加热器4之间设有冻水管11，该冻水管11的起本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度水冷冷水机，其特征在于：包括保温水箱(1)、水泵(2)、制冷蒸发器(3)、热回收加热器(4)、压缩机(5)和水冷冷凝器(6)；保温水箱(1)外接有出水管(7)，出水管(7)的起始端连通保温水箱(1)箱底所设的出水口、末端设有截止阀(8)，水泵(2)的进水端管接出水管(7)、出水端设有送水管(9)，送水管(9)的末端设为用于连接用水设备进水端的第一自由端；制冷蒸发器(3)外接有回水管(10)，回水管(10)的末端连通制冷蒸发器(3)的进水端、起始端设为用于连接用水设备出水端的第二自由端；制冷蒸发器(3)和热回收加热器(4)之间设有冻水管(11)，该冻水管(11)的起始端连通制冷蒸发器(3)的出水端、末端连通热回收加热器(4)的进水端；热回收加热器(4)和保温水箱(1)之间设有进水管(12)，该进水管(12)的起始端连通热回收加热器(4)的出水端、末端连通保温水箱(1)箱底所设的进水口；压缩机(5)的冷媒回流口和冷媒输出口分别接有冷媒回流管(13)和冷媒输出管(14)，冷媒回流管(13)连通制冷蒸发器(3)的冷媒输出端，冷媒输出管(14)设有第一分流管(14.1)、第二分流管(14.2)和第三分流管(14.3)，第一分流管(14.1)经过水冷冷凝器(6)后末端接入一根节流毛细管(15)的起始端，节流毛细管(15)的末端接入一根汇总管(16)的起始端，汇总管(16)的末端接入制冷蒸发器(3)的冷媒输入端，第二分流管(14.2)经过热回收加热器(4)后末端接入水冷冷凝器(6)和节流毛细管(15)之间的第一分流管(14.1)，第三分流管(14.3)经过第二冷媒流量控制阀(19)后接入汇总管(16)；水冷冷凝器(6)的冷却出水管(6.1)上设有冷凝压力调节阀(17)，第二分流管(14.2)设有第一冷媒流量控制阀(18)，第三分流管(14....

【专利技术属性】
技术研发人员：王志雄，
申请(专利权)人：佛山市佳以特冷热设备有限公司，
类型：新型
国别省市：