【技术实现步骤摘要】
氮氧化物的测量系统及质量流量控制器
[0001]本专利技术涉及气体流量检测
，尤其是涉及一种氮氧化物的测量系统及质量流量控制器。
技术介绍
[0002]质量流量控制器对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。现有技术中常采用的质量流量控制器存在寿命低、不耐高温问题，其内部橡胶垫片容易被腐蚀性气体腐蚀，进而严重影响控制精度，此外质量流量控制器一般工作温度小于50℃，在极端高温环境中难以应用。并且，现有技术中采用的质量流量控制器抗干扰性差，其控制电路容易受到电磁干扰而影响测量的精度，其下游压力的波动也会对测量的精度造成干扰和影响。
技术实现思路
[0003]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的实施例提出一种具有高测量精度的氮氧化物的测量系统。
[0004]本专利技术的实施例还提出一种质量流量控制器。
[0005]根据本专利技术实施例的氮氧化物的测量系统，包括：
[0006]反应器，所述反应器包括反应腔室、臭氧进口、第一含氮气体入口、第二含...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氮氧化物的测量系统，其特征在于，包括：反应器(7)，所述反应器(7)包括反应腔室(71)、臭氧进口、第一含氮气体入口、第二含氮气体入口和气体出口(73)，所述臭氧进口、所述第一含氮气体入口、第二含氮气体入口和所述气体出口(73)均与所述反应腔室(71)连通；第一质量流量控制器(6)，所述第一质量流量控制器(6)具有第一流体通道(61)，所述第一流体通道(61)的出口与所述臭氧进口连通；一氧化氮流路(5)，所述一氧化氮流路(5)包括第二质量流量控制器(51)，所述第二质量流量控制器(51)具有第二流体通道(511)，所述第二流体通道(511)的出口与所述第一含氮气体入口连通；二氧化氮流路(8)，所述二氧化氮流路(8)包括第三质量流量控制器(81)和催化还原装置(82)，所述第三质量流量控制器(81)具有第三流体通道(811)，其中所述第一流体通道(61)、所述第二流体通道(511)和所述第三流体通道(811)中的每一者的横截面轮廓为圆形，所述第一流体通道(61)、所述第二流体通道(511)和所述第三流体通道(811)中的每一者的直径小于等于400μm，所述催化还原装置(82)具有第三含氮气体入口(821)和第一含氮气体出口(822)，所述第三流体通道(811)的出口与所述第三含氮气体入口(821)连通，所述第一含氮气体出口(822)与所述第一含氮气体入口连通。2.根据权利要求1所述的氮氧化物的测量系统，其特征在于，还包括臭氧发生器(4)，所述臭氧发生器(4)具有空气进口(41)和臭氧出口(42)，所述第一流体通道(61)与所述空气进口(41)连通，所述臭氧出口(42)与所述臭氧进口连通。3.根据权利要求2所述的氮氧化物的测量系统，其特征在于，所述臭氧进口、所述第一含氮气体入口和第二含氮气体入口为同一个开口；所述测量系统还包括套筒组件(9)，所述套筒组件(9)包括外管和内管，所述内管套设于所述外管内，所述内管的外周面与所述外管的内周面之间间隔开，所述内管与所述臭氧出口(42)连通，或者所述内管与所述第二流体通道(511)和第一含氮气体出口(822)连通，所述外管与所述第二流体通道(511)和第一含氮气体出口(822)连通，或者所述外管与所述臭氧出口(42)连通，所述内管与所述外管中的每一者与所述臭氧进口连通。4.根据权利要求2所述的氮氧化物的测量系统，其特征在于，进一步包括切换装置(10)，所述切换装置(10)包括进口(103)、第一出口(101)和第二出口(102)，所述进口(103)可切换地与所述第一出口(101)和所述第二出口(102)中的一者连通，所述第二流体通道(511)和所述第三流体通道(811)中的每一者与所述进口(103)连通，所述第一出口(101)与所述第一含氮气体入口连通，所述第二出口(102)与所述第三含氮气体入口(821)连通。5.根据权利要求1所述的氮氧化物的测量系统，其特征在于，所述测量系统进一步包括臭氧分解装置，所述臭氧分解装置具有尾气进口(831)和尾气出口...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜艳君，张猛，彭志敏，
申请(专利权)人：中国科学院力学研究所清华大学，
类型：发明
国别省市：
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