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本发明实施例涉及一种氮氧化物的测量系统及质量流量控制器。其中所述质量流量控制器，包括毛细管，所述毛细管具有用于流体通过的流体通道，所述流体通道的横截面轮廓为圆形，所述流体通道的直径小于等于400μm，可选地，所述流体通道为圆柱状，所述流体通...
该专利属于中国科学院力学研究所清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院力学研究所清华大学授权不得商用。

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