制程尾气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种制程尾气处理装置包括一气体入口、一气体出口、一洗涤室、一风机、一主要通道、一分流通道、一压力传感器组和一控制阀门组。主要信道包括一第一信道、一第二信道和一第三信道。第一通道连通气体入口和洗涤室。第二通道连通洗涤室和风机。第三通道连通风机和气体出口。分流通道连通气体入口和气体出口。压力传感器组设置于气体入口、气体出口、主要通道和分流通道，以感测一气压。控制阀门组设置于主要通道和分流通道，以调节气压。以调节气压。以调节气压。

【技术实现步骤摘要】
制程尾气处理装置


[0001]本专利技术是关于一种制程尾气处理装置，特别是一种可以确保通道内的气压稳定以避免跳机的制程尾气处理装置。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，会用气体处理设备来吸取制程的尾气并对尾气过滤，以避免尾气污染外部。在气体处理设备吸取尾气的过程中，尾气流通的管道应维持稳定的负压；若是负压变化太大，则制程前端的真空泵会启动保护机制而跳机。
[0003]然而，制程后端的气体处理设备的洗涤室需要定期清洁维护，而在清洁维护期间会启用分流通道，以使尾气继续流通。但是启用分流通道时，会造成管道的负压大幅度变化，而使得真空泵跳机。
[0004]因此，有必要提供一种可以确保通道内的气压稳定，以避免跳机的尾气处理装置。

技术实现思路

[0005]本专利技术的主要目的在于提供一种可以确保通道内的气压稳定以避免跳机的制程尾气处理装置。
[0006]为达成上述的目的，本专利技术的一种制程尾气处理装置包括一气体入口、一气体出口、一洗涤室、一风机、一主要通道、一分流通道、一压力传感器组和一控制阀门组。主要信道包括一第一信道、一第二信道和一第三信道。第一通道连通气体入口和洗涤室。第二通道连通洗涤室和风机。第三通道连通风机和气体出口。分流通道连通气体入口和气体出口。压力传感器组设置于气体入口、气体出口、主要通道和分流通道，以感测一气压。控制阀门组设置于主要通道和分流通道，以调节气压。
[0007]根据本专利技术的一实施例，其中压力传感器组更包括一入口压力传感器，入口压力传感器设置于气体入口。
[0008]根据本专利技术的一实施例，其中压力传感器组更包括一分流压力传感器，分流压力传感器设置于分流通道。
[0009]根据本专利技术的一实施例，其中压力传感器组更包括一风机压力传感器，风机压力传感器设置于第二通道。
[0010]根据本专利技术的一实施例，其中压力传感器组更包括一出口压力传感器，出口压力传感器设置于气体出口。
[0011]根据本专利技术的一实施例，其中压力传感器组更包括一洗涤室压力传感器，洗涤室压力传感器设置于洗涤室。
[0012]根据本专利技术的一实施例，其中控制阀门组更包括一洗涤室阀门，洗涤室阀门设置于第一通道。
[0013]根据本专利技术的一实施例，其中控制阀门组更包括一分流入口阀门，分流入口阀门设置于分流通道靠近气体入口的一端。
[0014]根据本专利技术的一实施例，其中控制阀门组更包括一风机阀门，风机阀门设置于第三通道。
[0015]根据本专利技术的一实施例，其中控制阀门组更包括一分流出口阀门，分流出口阀门设置于分流通道靠近气体出口的一端。
附图说明
[0016]附图是为提供对本申请进一步的理解，它们被收录并构成本申请的一部分，附图示出了本申请的实施例，并与本说明书一起起到解释本专利技术原理的作用。附图中：
[0017]图1是本专利技术的一实施例的制程尾气处理装置的示意图。
[0018]图2是本专利技术的一实施例的制程尾气处理装置的系统架构图。
[0019]附图标记
[0020]制程尾气处理装置1
[0021]气体入口10
[0022]气体出口20
[0023]洗涤室30
[0024]风机40
[0025]主要通道50
[0026]第一通道51
[0027]第二通道52
[0028]第三通道53
[0029]分流通道60
[0030]压力传感器组70
[0031]入口压力传感器71
[0032]分流压力传感器72
[0033]风机压力传感器73
[0034]出口压力传感器74
[0035]洗涤室压力传感器75
[0036]控制阀门组80
[0037]洗涤室阀门81
[0038]分流入口阀门82
[0039]风机阀门83
[0040]分流出口阀门84
[0041]控制件90
具体实施方式
[0042]为让本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，特举较佳具体实施例说明如下。
[0043]以下请一并参考图1至图2关于本专利技术的一实施例的制程尾气处理装置。图1是本专利技术的一实施例的制程尾气处理装置的示意图。图2是本专利技术的一实施例的制程尾气处理
装置的系统架构图。
[0044]如图1和图2所示，在本专利技术的一实施例中，制程尾气处理装置1应用于半导体制程，且可以确保通道内的气压稳定，以避免和制程尾气处理装置1相连的真空泵(图未示)跳机。制程尾气处理装置1包括一气体入口10、一气体出口20、一洗涤室30、一风机40、一主要通道50、一分流通道60、一压力传感器组70、一控制阀门组80和一控制件90。
[0045]在本专利技术的一实施例中，气体入口10连通外部的真空泵，并用以供半导体制程中的尾气进入制程尾气处理装置1。气体出口20用以让被制程尾气处理装置1处理过的尾气输出至外部。
[0046]在本专利技术的一实施例中，洗涤室30用以冲洗和清洁尾气，以去除尾气里具有污染性质的杂质。风机40用以抽取气体并产生气流，以驱使尾气从气体入口10流向气体出口20。
[0047]在本专利技术的一实施例中，主要通道50用以供尾气从气体入口10流向气体出口20。主要信道50包括一第一通道51、一第二通道52和一第三通道53。第一通道51连通气体入口10和洗涤室30，以供尾气从气体入口10流向洗涤室30。第二通道52连通洗涤室30和风机40，以供尾气从洗涤室30流向风机40。第三通道53连通风机40和气体出口20，以供尾气从风机40流向气体出口20。
[0048]在本专利技术的一实施例中，分流通道60连通气体入口10和气体出口20。分流通道60用以在洗涤室30需进行维护时，暂时代替主要通道50，以使气体入口10和气体出口20互相连通。
[0049]在本专利技术的一实施例中，压力传感器组70设置于气体入口10、气体出口20、主要通道50、分流通道60和洗涤室30，以感测一气压。压力传感器组70包括一入口压力传感器71、一分流压力传感器72、一风机压力传感器73、一出口压力传感器74和一洗涤室压力传感器75。入口压力传感器71设置于气体入口10。分流压力传感器72设置于分流通道60。风机压力传感器73设置于第二通道52。出口压力传感器74设置于气体出口20。洗涤室压力传感器75设置于洗涤室30。藉由入口压力传感器71、分流压力传感器72、风机压力传感器73、出口压力传感器74和洗涤室压力传感器75，可以感测各个压力传感器设置的区域的气压，以确认各个区域的气压是否一致。
[0050]在本专利技术的一实施例中，控制阀门组80设置于主要通道50和分流通道60，以调节气压。控制阀门组80更包括一洗涤室阀门81、一分流入口阀门82、一风机阀门83和一分流出口阀门84。洗涤室阀门81设置于第一通道51。分流入口阀门82设置于分流通道60靠近气体入口10的一端。风机阀门83本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制程尾气处理装置，其特征在于，该制程尾气处理装置包括：一气体入口；一气体出口；一洗涤室；一风机；一主要通道，包括：一第一通道，连通该气体入口和该洗涤室；一第二通道，连通该洗涤室和该风机；以及一第三通道，连通该风机和该气体出口；一分流通道，连通该气体入口和该气体出口；一压力传感器组，设置于该气体入口、该气体出口、该主要通道和该分流通道，以感测一气压；以及一控制阀门组，设置于该主要通道和该分流通道，以调节该气压。2.如权利要求1所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一入口压力传感器，该入口压力传感器设置于该气体入口。3.如权利要求2所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一分流压力传感器，该分流压力传感器设置于该分流通道。4.如权利要求3所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一风机压力传感器，该风机压力传感器设置于该第...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾崇诚，
申请(专利权)人：信强宁波半导体设备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：