真空泵和旋转驱动结构制造技术

本发明专利技术公开一种旋转驱动结构，应用于一真空泵，真空泵包括二个转子。旋转驱动结构包括一槽体、多个磁性柱、二个磁性旋转柱和多个电磁线圈。二个磁性旋转柱位于槽体内并分别与两转子枢接。各磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边，其中各磁性柱分散设置并与槽体以第一连接端连接，且第二连接端环绕两磁性旋转柱。各电磁线圈系分散设各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。散设各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。散设各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。

【技术实现步骤摘要】
真空泵和旋转驱动结构


[0001]本专利技术涉及一种真空泵和旋转驱动结构，特别是涉及一种借由均匀的磁力线而驱动泵的转子旋转的真空泵和旋转驱动结构。

技术介绍

[0002]真空泵是将气体从容器内排出，使容器内形成负压的泵。一般的真空泵具有十二只磁性柱、一对磁性旋转轴和一对转子。十二只磁性柱环绕该对磁性旋转轴，并借由磁力而驱使磁性旋转轴同步反向旋转。当该对磁性旋转轴同步反向旋转时，会带动转子一起同步反向旋转，以将气体排出。
[0003]然而，十二只磁性柱所形成的磁力线较不均匀，且密度较稀疏，因此会造成磁性旋转轴有时无法平稳转动。因此，有必要提供一种新的真空泵，以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的在于提供一种借由均匀的磁力线而驱动泵的转子旋转的旋转驱动结构。
[0005]为达成上述的目的，本专利技术的旋转驱动结构应用于一真空泵，真空泵包括二个转子。旋转驱动结构包括一槽体、多个磁性柱、二个磁性旋转柱和多个电磁线圈。二个磁性旋转柱位于槽体内并分别与两转子枢接。各磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边，其中各磁性柱分散设置并与槽体以第一连接端连接，且第二连接端环绕两磁性旋转柱。各电磁线圈系分散设于各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。
[0006]根据本专利技术的一实施例，其中两磁性旋转柱皆包括一主体和多个磁性件，各磁性件分散设置于主体。
[0007]根据本专利技术的一实施例，其中各个磁性旋转柱更包括一转轴，转轴设于主体内，且各磁性件分散并以转轴为圆心以相隔90度设置于转轴的四周。
[0008]根据本专利技术的一实施例，其中任两个相邻的磁性件具有相反的磁极。
[0009]根据本专利技术的一实施例，其中槽体更包括多个内侧壁面，各第一连接端连接多个内侧壁面。
[0010]根据本专利技术的一实施例，其中至少一内侧壁面包括一延伸柱，其中多个磁性柱的其中至少一磁性柱连接延伸柱。
[0011]根据本专利技术的一实施例，其中各电磁线圈系分散设于各第一侧边及各第二侧边，并紧靠各内侧壁面。
[0012]根据本专利技术的一实施例，其中多个磁性柱的数目为24个，且其中的十二个该磁性柱以两磁性旋转柱的其中一为中心呈放射状排列，且此十二个磁性柱的第二连接端以两磁性旋转柱的其中一形成一旋转区。
[0013]本专利技术的主要目的在于提供一种借由均匀的磁力线而驱动泵的转子旋转的真空泵。
[0014]为达成上述的目的，本专利技术的真空泵包括二个转子和如上所述的旋转驱动结构。
[0015]借由本专利技术的真空泵和旋转驱动结构的结构设计，可以产生密度高且分布均匀的磁力线，故可以使二个磁性旋转柱更为平顺地转动，以带动二个转子平顺地转动以稳定抽取气体。
附图说明
[0016]图1是本专利技术的一实施例的真空泵的示意图。
[0017]图2是本专利技术的一实施例的旋转驱动结构的示意图。
[0018]图3是本专利技术的一实施例的旋转驱动结构的部分示意图。
[0019]附图标记
[0020]旋转驱动结构1
[0021]槽体10
[0022]内侧壁面11、11a
[0023]延伸柱111
[0024]磁性柱20
[0025]第一连接端22
[0026]第二连接端23
[0027]第一侧边24
[0028]第二侧边25
[0029]旋转区26
[0030]磁性旋转柱30
[0031]主体31
[0032]磁性件32、32a
[0033]转轴33
[0034]电磁线圈40
[0035]真空泵200
[0036]转子210
[0037]旋转方向A、B
具体实施方式
[0038]为让本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，以下结合附图对本专利技术的具体实施方式作详细说明。
[0039]以下请一并参考图1至图3关于本专利技术的一实施例的旋转驱动结构。图1是本专利技术的一实施例的真空泵的示意图；图2是本专利技术的一实施例的旋转驱动结构的示意图；图3是本专利技术的一实施例的旋转驱动结构的部分示意图。
[0040]如图1至图3所示，在本专利技术的一实施例中，真空泵200用以抽取一容器(图未示)内的气体。真空泵200包括二个转子210和一旋转驱动结构1。旋转驱动结构1可产生均匀的磁力线，以驱动真空泵200的二个转子210平稳得旋转。旋转驱动结构1包括一槽体10、二十四个磁性柱20、二个磁性旋转柱30和多个电磁线圈40。
[0041]在本专利技术的一实施例中，槽体10是以金属制成的容纳槽且二十四个磁性柱20设于槽体10内，槽体10内壁分隔为八个内侧壁面11、11a，八个内侧壁面11、11a呈现为平坦的表面；平坦的金属制的内侧壁面11、11a可以帮助槽体10内的金属线分布均匀。在八个内侧壁面11、11a中，其中二个内侧壁面11a分别包括一延伸柱111，延伸柱111用以设置一部分的磁性柱20，以使二十四个磁性柱20的排列方式呈现为放射状。然而，内侧壁面11、11a的数量不以八个为限，其可依照设计需求而改变。
[0042]在本专利技术的一实施例中，二十四个磁性柱20设于槽体10内，磁性柱20具有磁力，磁性柱20的磁力可以产生磁力线以使磁性旋转柱30旋转。各磁性柱20皆包括一第一连接端22、一第二连接端23、一第一侧边24以及一第二侧边25。二十四个磁性柱20分散设置，并与八个内侧壁面11、11a以第一连接端22连接，其中四个磁性柱20连接二个延伸柱111。第二连接端23环绕两磁性旋转柱30。在二十四个磁性柱20之中，其中十二个磁性柱20以两磁性旋转柱30的其中一为中心而呈放射状排列并形成其中一旋转区26，另外十二个磁性柱20以两磁性旋转柱30的另一者为中心而呈放射状排列并形成另一旋转区26；由于二十四个磁性柱20密集地设置在槽体10内并环绕二个旋转区26，故可以产生密度高且分布均匀的磁力线。
[0043]在本专利技术的一实施例中，二个磁性旋转柱30分别位于二个旋转区26内。各个磁性旋转柱30包括一主体31、四个磁性件32、32a和一转轴33。主体31是圆环形的结构。四个磁性件32、32a分散设置于主体31，并以转轴33为圆心以相隔90度设置于转轴33的四周；其中的磁性件32例如为N极的磁铁，磁性件32a例如为S极的磁铁。N极的磁铁的磁性件32和S极的磁铁的磁性件32a交错排列，因此任两个相邻的磁性件32、32a具有相反的磁极。转轴33设于主体31内。二个磁性旋转柱30的转轴33分别枢接二个转子210。二十四个磁性柱20的磁力产生的磁力线，会驱动二个磁性旋转柱30的磁性件32、32a转动，使得二个磁性旋转柱30分别沿着旋转方向A、B旋转；旋转方向A是逆时钟旋转，旋转方向B则是顺时钟旋转。当二个磁性旋转柱30分别沿着旋转方向A、B时，会带动二个转子210一起沿着旋转方向A、B旋转。
[0044]在本专利技术的一实施例中，多个电磁线圈40是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转驱动结构，应用于一真空泵，该真空泵包括二个转子，其特征在于，该旋转驱动结构包括：一槽体；两磁性旋转柱，其系位于该槽体内并分别与该两转子枢接；多个磁性柱，各该磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边，其中各该磁性柱分散设置并与该槽体以该第一连接端连接，且该第二连接端环绕该两磁性旋转柱；以及多个电磁线圈，各该电磁线圈系分散设于各该第一侧边及各该第二侧边并紧靠该槽体。2.如权利要求1所述的旋转驱动结构，其特征在于，其中该两磁性旋转柱皆包括一主体和多个磁性件，各该磁性件分散设置于该主体。3.如权利要求2所述的旋转驱动结构，其特征在于，其中各个磁性旋转柱更包括一转轴，该转轴设于该主体内，且各该磁性件分散并以该转轴为圆心以相隔90度设置于该转轴的四周。4.如权利要求3所述的旋转驱动结构，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾崇诚，
申请(专利权)人：信强宁波半导体设备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：