一种废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种废气处理装置，涉及废气净化领域。废气处理装置包括反应器、第一加热件以及第二加热件。反应器具有反应腔，反应器的两端分别开设有与反应腔连通的进气口和出气口；第一加热件设置于反应腔内靠近进气口的一端，第二加热件设置于反应腔内靠近出气口的一端，第一加热件和第二加热件均用于对通入反应腔内的废气加热；采用第一加热件为电加热、第二加热件为电磁加热的双加热模式，可使得加热过程更加稳定，且将第一加热件设置于在反应腔靠近进气口的一端，第二加热件设置在反应器靠近出气口的一端，可弥补第一加热件或第二加热件在反应腔内加热不到的空间，从而解决反应腔内热量分布不均匀的情况，进而提高了废气的处理效率。气的处理效率。气的处理效率。

【技术实现步骤摘要】
一种废气处理装置


[0001]本技术涉及废气净化领域，具体而言，涉及一种废气处理装置。

技术介绍

[0002]在泛半导体制造的过程中会产生一些有毒有害的气体，现有的废气的净化通常采用回收型技术或销毁型技术，其中，销毁型技术通常采用加热水洗型L/S(Local Scrubber，废气处理装置，简称L/S)设备对废气进行处理。
[0003]然而传统的加热L/S设备因为加热不均匀，导致废气加热不充分，使得废气无法充分燃烧，从而导致废气处理效率低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种废气处理装置，其加热稳定且效率高，加热更加均匀，可有效提高废气处理效率。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术提供一种废气处理装置，包括反应器、第一加热件以及第二加热件；
[0007]所述反应器具有反应腔，所述反应器的两端分别开设有与所述反应腔连通的进气口和出气口；
[0008]所述第一加热件设置于所述反应腔内靠近所述进气口的一端，所述第二加热件设置于所述反应腔内靠近所述出气口的一端，所述第一加热件和所述第二加热件均用于对通入所述反应腔内的废气加热；
[0009]其中，所述第一加热件为电加热，所述第二加热件为电磁加热。
[0010]在上述实施例中，通过第一加热件和第二加热件双加热模式，可使得加热过程更加稳定，且将第一加热件设置于在反应腔靠近进气口的一端，第二加热件设置在反应器靠近出气口的一端，可弥补第一加热件或第二加热件在反应腔内加热不到的空间，从而解决反应腔内热量分布不均匀的情况，进而提高了废气的处理效率。
[0011]在可选的实施方式中，所述废气处理装置还包括电磁件，所述电磁件套设于所述反应器的外壁并与所述第二加热件相对应，所述电磁件用于产生磁场以使所述第二加热件发热。
[0012]在上述实施例中，通过在反应器的外壁设置电磁件，以通过电磁件产生磁场可使得第二加热件进行加热，从而能够使得废气处理装置快速启动，并迅速进行加热，缩短了废气处理装置的预热时间，提高了废气处理效率。
[0013]在可选的实施方式中，所述第二加热件呈筒状，所述第二加热件的一端与所述反应器的底壁连接，所述出气口开设于所述反应器的底壁，且所述出气口(130)与所述第二加热件的内部对应，所述电磁件套设于所述第二加热件对应的所述反应器的部分外壁。
[0014]在上述实施例中，第二加热件呈筒状并与出气口连通，以使得废气从呈筒状的第
二加热件的内侧由出气口流出，且在废气流经第二加热件的过程中，通过第二加热件对废气进行加热，使得反应腔内的热量分布均匀，从而提高废气的处理效率。
[0015]在可选的实施方式中，所述第一加热件呈棒状，所述第一加热件远离所述进气口的一端与所述第二加热件远离所述出气口的一端位于同一平面内。
[0016]在上述实施例中，通过第一加热件和第二加热件对整个高度方向的反应腔均进行加热，从而使得反应腔内的热量均匀分布，以此提高废气的处理效率。
[0017]在可选的实施方式中，所述电磁件的数量包括至少两个，至少两个所述电磁件均套设于所述第二加热件对应的所述反应器的部分外壁。
[0018]在上述实施例中，通过设置至少两个电磁件可增加第二加热件的加热效率，从而适应不同的加热需求，提高了废气处理装置的适应性。
[0019]在可选的实施方式中，所述进气口的数量包括至少两个，至少两个所述进气口以所述反应器的轴线为中心环设于所述反应器的顶部。
[0020]在上述实施例中，通过设置至少两个进气口可增大进入反应腔的废气的速度，以提高废气的处理效率；同时废气通过至少两个进气口同时通入反应腔，可使得废气在反应腔内的分布更加均匀，有利于废气进行充分加热。
[0021]在可选的实施方式中，所述第一加热件的数量包括至少两个，所述进气口的数量包括至少两个，至少两个所述第一加热件环设于至少两个所述进气口的外侧。
[0022]在上述实施例中，通过在至少两个进气口的外圈环设至少两个第一加热件，不仅可提高加热效率，也可使加热更加均匀，从而有利于对废气进行充分加热。
[0023]在可选的实施方式中，所述第二加热件呈筒状，且所述第一加热件和所述第二加热件均沿所述反应器的轴向延伸，所述第二加热件所在圆的直径大于所述至少两个所述进气口所在圆周的直径以及所述出气口的直径，且小于至少两个所述第一加热件所在圆周的直径。
[0024]在上述实施例中，通过第二加热件所在圆的直径大于至少两个进气口所在圆周的直径以及出气口的直径，且小于至少两个第一加热件所在圆周的直径，即使得第二加热件远离出气口的一端与进气口对应，有利于废气依次流经至少两个第一加热件以及第二加热件，并通过第一加热件和第二加热件进行充分加热，从而提高废气的反应效率。
[0025]在可选的实施方式中，所述废气处理装置还包括控制器，所述第一加热件和所述第二加热件均与所述控制器连接，所述控制器用于控制所述第一加热件和所述第二加热件加热以使所述反应腔内的温度加热至与所述废气分解对应的预设温度。
[0026]在上述实施例中，通过控制器控制第一加热件和第二加热件根据不同的废气进行加热，并将反应腔内的温度加热至与对应的废气分解所需的预设温度，从而实现可控制地加热模式，节约能耗且更加环保。
[0027]在可选的实施方式中，所述第一加热件的外壁设置有加热套管，且所述第一加热件可拆卸地与所述反应器连接。
[0028]在上述实施例中，通过在第一加热件的外壁设置加热套管可对第一加热件进行保护，避免反应腔内的气体对第一加热件进行腐蚀，提高第一加热件的使用寿命；而通过使第一加热件可拆卸地安装于反应器，方便更换或检修第一加热件。
[0029]本技术实施例提供的废气处理装置的有益效果包括：通过采用第一加热件和
第二加热件的双加热模式，可使得加热过程更加稳定，且将第一加热件设置于在反应腔靠近进气口的一端，第二加热件设置在反应器靠近出气口的一端，可弥补第一加热件或第二加热件在反应腔内加热不到的空间，从而解决反应腔内热量分布不均匀的情况，进而提高了废气的处理效率。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0031]图1为本技术实施例提供的废气处理装置正视示意图；
[0032]图2为本技术实施例提供的废气处理装置俯视示意图。
[0033]图标：10
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废气处理装置；100
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反应器；110
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反应腔；120
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进气口；130
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出气口；200...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括反应器(100)、第一加热件(200)以及第二加热件(300)；所述反应器(100)具有反应腔(110)，所述反应器(100)的两端分别开设有与所述反应腔(110)连通的进气口(120)和出气口(130)；所述第一加热件(200)设置于所述反应腔(110)内靠近所述进气口(120)的一端，所述第二加热件(300)设置于所述反应腔(110)内靠近所述出气口(130)的一端，所述第一加热件(200)和所述第二加热件(300)均用于对通入所述反应腔(110)内的废气加热；其中，所述第一加热件(200)为电加热，所述第二加热件(300)为电磁加热。2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置还包括电磁件(400)，所述电磁件(400)套设于所述反应器(100)的外壁并与所述第二加热件(300)相对应，所述电磁件(400)用于产生磁场以使所述第二加热件(300)发热。3.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于，所述第二加热件(300)呈筒状，所述第二加热件(300)的一端与所述反应器(100)的底壁连接，所述出气口(130)开设于所述反应器(100)的底壁，且所述出气口(130)与所述第二加热件(300)的内部对应，所述电磁件(400)套设于所述第二加热件(300)对应的所述反应器(100)的部分外壁。4.根据权利要求1
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3任一项所述的废气处理装置，其特征在于，所述第一加热件(200)呈棒状，所述第一加热件(200)远离所述进气口(120)的一端与所述第二加热件(300)远离所述出气口(130)的一端位...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，余欢，江枫涛，
申请(专利权)人：上海盛剑半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：