本实用新型专利技术公开了一种新型腔室盖板提升装置，包括工作腔室以及腔室顶盖，所述腔室顶盖扣设于工作腔室的顶端，所述工作腔室上设置有支撑提升结构；本实用新型专利技术涉及硅晶片加工技术领域，该新型腔室盖板提升装置，采用分体式结构的支撑提升结构，利用可以转动的吊装装置，对腔室盖板进行吊装，吊装装置采用螺纹结构对PECVD的顶盖进行起吊，可以有效地快速举升起腔室盖板，配合转动结构，腾出空间进行维护，便于维护的操作，且开关方便，设备结构组成简单。简单。简单。
【技术实现步骤摘要】
一种新型腔室盖板提升装置
[0001]本技术涉及硅晶片加工
，具体为一种新型腔室盖板提升装置。
技术介绍
[0002]在电子技术高度发达的今天，人们对于硅片的需求量也越来越大，硅片是集成电路中不可或缺的一部分，在加工硅片的过程中，PECVD工艺是重要的加工步骤，PECVD工艺多在工作腔室内完成，而在生产过程中，为了保证设备的稳定运行，不仅需要定期对设备进行清理，而且还需要进行定期检修，现有的工作腔室上盖板的结构沉重，因而开启和关闭都需要大型机械的配合，不仅操作困难增加了设备成本，也增加了检修工作的难度，鉴于此，针对上述问题深入研究，遂有本案产生。
技术实现思路
[0003]针对现有技术的不足，本技术提供了一种新型腔室盖板提升装置，解决了现有的
技术介绍
问题。
[0004]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种新型腔室盖板提升装置，包括工作腔室以及腔室顶盖，所述腔室顶盖扣设于工作腔室的顶端，所述工作腔室上设置有支撑提升结构；
[0005]所述支撑提升结构包括：支撑块、转动槽、转动轴、转动齿轮、转动电机、驱动齿轮、安装轴以及支撑板；
[0006]所述支撑块安装于工作腔室的一侧，所述支撑块上设置有转动槽，所述转动轴嵌装于转动槽内，所述转动轴的底端设置有转动齿轮，所述转动槽内嵌装有转动电机，所述转动电机的驱动端上设置有驱动齿轮，所述驱动齿轮与转动齿轮啮合，所述转动轴的顶端设置有安装轴，所述安装轴的顶端设置有支撑板，所述支撑板的一端设置有提升组件。
[0007]优选的，所述转动槽为柱形空腔结构，所述转动槽与转动轴的直径相互匹配，所述转动轴的底端设置有限位块。
[0008]优选的，所述转动槽的内侧开设有限位槽与限位块匹配。
[0009]优选的，所述支撑块与工作腔室的侧壁面之间通过若干连接螺栓连接。
[0010]优选的，所述提升组件包括：若干旋转槽、若干动力座、若干转动链轮、若干转动螺纹套以及若干螺纹杆；
[0011]所述支撑板上开设有若干旋转槽，若干所述旋转槽的顶端设置有若干动力座，若干所述动力座上设置有若干转动链轮，若干所述动力座的底端设置有若干转动螺纹套，所述腔室顶盖上设置有若干螺纹杆与若干转动螺纹套啮合。
[0012]优选的，所述支撑板的端部设置有驱动电机，所述驱动电机的驱动端上设置有驱动链轮与若干转动链轮通过链条联动。
[0013]有益效果
[0014]本技术提供了一种新型腔室盖板提升装置。具备以下有益效果：该新型腔室
盖板提升装置，采用分体式结构的支撑提升结构，利用可以转动的吊装装置，对腔室盖板进行吊装，吊装装置采用螺纹结构对PECVD的顶盖进行起吊，可以有效地快速举升起腔室盖板，配合转动结构，腾出空间进行维护，便于维护的操作，且开关方便，设备结构组成简单。
附图说明
[0015]图1为本技术所述一种新型腔室盖板提升装置的主视结构示意图。
[0016]图2为本技术所述一种新型腔室盖板提升装置的俯视结构示意图。
[0017]图3为本技术所述一种新型腔室盖板提升装置的局部剖视结构示意图。
[0018]图中：1、工作腔室；2、腔室顶盖；3、支撑块；4、转动槽；5、转动轴；6、转动齿轮；7、转动电机；8、驱动齿轮；9、安装轴；10、支撑板；11、限位块；12、连接螺栓；13、旋转槽；14、动力座；15、转动链轮；16、转动螺纹套；17、螺纹杆；18、驱动电机；19、驱动链轮；20、链条。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器以及编码器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不再对电气控制做说明。
[0021]实施例：根据说明书附图1
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3可知，本案为一种新型腔室盖板提升装置，包括工作腔室1、腔室顶盖2以及移动基座，腔室顶盖2扣设于工作腔室1的顶端，工作腔室1上设置有支撑提升结构，在具体实施过程中，通过工作腔室1身上的腔室顶盖2密封工作腔室1的上部，在检修过程中，通过支撑提升结构将腔室顶盖2举升起来，便于检修；
[0022]根据说明书附图1
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3可知，上述支撑提升结构包括：支撑块3、转动槽4、转动轴5、转动齿轮6、转动电机7、驱动齿轮8、安装轴9以及支撑板10，其连接关系以及位置关系如下；
[0023]支撑块3安装于工作腔室1的一侧，支撑块3上设置有转动槽4，转动轴5嵌装于转动槽4内，转动轴5的底端设置有转动齿轮6，转动槽4内嵌装有转动电机7，转动电机7的驱动端上设置有驱动齿轮8，驱动齿轮8与转动齿轮6啮合，转动轴5的顶端设置有安装轴9，安装轴9的顶端设置有支撑板10，支撑板10的一端设置有提升组件；
[0024]在具体实施过程中，支撑块3是支撑提升结构的整体底部支撑，通过转动槽4与转动轴5匹配，作为上部支撑提升结构的转动区间，通过控制转动电机7转动，从而使转动电机7带动驱动齿轮8与转动齿轮6啮合，进而使转动齿轮6带动转动轴5转动，转动轴5与转动槽4直径匹配，可以保证安装轴9转动稳定，安装轴9固定支撑板10的端部，通过支撑板10上的提升组件可以将腔室顶盖2吊装起来，配合转动轴5将腔室顶盖2转动到外侧而后进行维护，操作方便。
[0025]作为优选方案，更进一步的，转动槽4为柱形空腔结构，转动槽4与转动轴5的直径相互匹配，转动轴5的底端设置有限位块11，转动槽4与转动轴5的形状匹配。
[0026]作为优选方案，更进一步的，转动槽4的内侧开设有限位槽与限位块11匹配，起到限位作用，避免转动轴5对转动电机7造成压力。
[0027]作为优选方案，更进一步的，支撑块3与工作腔室1的侧壁面之间通过若干连接螺栓12连接，支撑块3可以拆装。
[0028]作为优选方案，更进一步的，根据说明书附图1
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3可知，上述提升组件包括：若干旋转槽13、若干动力座14、若干转动链轮15、若干转动螺纹套16以及若干螺纹杆17，其连接关系以及位置关系如下；
[0029]支撑板10上开设有若干旋转槽13，若干旋转槽13的顶端设置有若干动力座14，若干动力座14上设置有若干转动链轮15，若干动力座14的底端设置有若干转动螺纹套16，腔室顶盖2上设置有若干螺纹杆17与若干转动螺纹套16啮合；
[0030]在具体实施过程中，通过支撑板10上的若干旋本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型腔室盖板提升装置，包括工作腔室(1)以及腔室顶盖(2)，所述腔室顶盖(2)扣设于工作腔室(1)的顶端，其特征在于，所述工作腔室(1)上设置有支撑提升结构；所述支撑提升结构包括：支撑块(3)、转动槽(4)、转动轴(5)、转动齿轮(6)、转动电机(7)、驱动齿轮(8)、安装轴(9)以及支撑板(10)；所述支撑块(3)安装于工作腔室(1)的一侧，所述支撑块(3)上设置有转动槽(4)，所述转动轴(5)嵌装于转动槽(4)内，所述转动轴(5)的底端设置有转动齿轮(6)，所述转动槽(4)内嵌装有转动电机(7)，所述转动电机(7)的驱动端上设置有驱动齿轮(8)，所述驱动齿轮(8)与转动齿轮(6)啮合，所述转动轴(5)的顶端设置有安装轴(9)，所述安装轴(9)的顶端设置有支撑板(10)，所述支撑板(10)的一端设置有提升组件。2.根据权利要求1所述的一种新型腔室盖板提升装置，其特征在于，所述转动槽(4)为柱形空腔结构，所述转动槽(4)与转动轴(5)的直径相互匹配，所述转动轴(5)的底端设置有限位块(11)。3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：张道勇，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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