一种人工金刚石生产用耐高温衬底制造技术

本实用新型专利技术公开了一种人工金刚石生产用耐高温衬底，包括：衬底本体，所述衬底本体呈方形结构且外壁上均开设有加强孔，所述加强孔向衬底本体内部水平延伸且加强孔共设置有六个，衬底本体外壁相邻面的三个加强孔末端相连通并形成L形结构的通风孔道，所述通风孔道内壁上均涂抹有耐高温涂层，衬底本体的内部还开设有两个连通孔，所述连通孔贯穿通风孔道的夹角处。本实用新型专利技术在衬底的外壁上开设了多个加强孔，加强孔内壁涂刷耐高温涂层，不仅能够增加衬底的耐高温性能，还提高了其结构强度。同时通过风管将冷空气灌入到连通孔中，通过连通孔进入到不同位置的通风孔道，使衬底内部受热均匀，减少因受热不均使内部应力不同造成碎裂的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种人工金刚石生产用耐高温衬底


[0001]本技术涉及金刚石生产
，更具体为一种人工金刚石生产用耐高温衬底。

技术介绍

[0002]金刚石是一种性能优越的矿物材料，在很多领域都有广泛的应用。化学气相沉积法是合成单晶金刚石的主要方式之一，通过解离含碳的混合气体，活性碳原子在衬底(晶种)上沉积形成金刚石。化学气相沉积法合成单晶金刚石工艺中，温度是晶体合成重要影响因素。在晶体的合成过程中，衬底表面的温度无法直接测得，常使用红外测温设备进行非接触式的温度测量，被测物的红外放射率直接影响了测温的结果。
[0003]目前，现有的人工金刚石生产用耐高温衬底耐高温性能差，只能在低温下进行微晶硅沉积处理，而低温又会使沉积速率降低的缺陷，高温环境中衬底易因温度过高和温度不均匀而产生破裂。为此，需要设计一个新的方案给予改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种人工金刚石生产用耐高温衬底，解决了现有的人工金刚石生产用耐高温衬底耐高温性能差，只能在低温下进行微晶硅沉积处理，而低温又会使沉积速率降低的缺陷，高温环境中衬底易因温度过高和温度不均匀而产生破裂的问题，满足实际使用需求。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种人工金刚石生产用耐高温衬底，包括：衬底本体，所述衬底本体呈方形结构且外壁上均开设有加强孔，所述加强孔向衬底本体内部水平延伸且加强孔共设置有六个，衬底本体外壁相邻面的三个加强孔末端相连通并形成L形结构的通风孔道，所述通风孔道内壁上均涂抹有耐高温涂层，衬底本体的内部还开设有两个连通孔，所述连通孔贯穿通风孔道的夹角处，且连通孔的两端分别与衬底本体对角的通风孔道连通，衬底本体的底面中部开设有出风孔，衬底本体的内顶部且位于出风孔的上方安装有导风机构。
[0006]作为本技术的一种优选方式，所述连通孔的表面且位于两个相邻的通风孔道之间开设有进风孔，所述进风孔的内部设置有风管，所述风管的末端与风机连接。
[0007]作为本技术的一种优选方式，所述连通孔的表面且与进风孔的对立面上形成有导风锥，所述导风锥呈三角形结构。
[0008]作为本技术的一种优选方式，所述导风机构包括缓冲块和导风板，所述缓冲块采用气囊制成且固定在衬底本体的内顶面中部，所述导风板呈弧形结构且倾斜设置且上端与衬底本体的内顶部固定连接，导风板共设置四个且以缓冲块为中心呈环形分布，四个导风板分别置于连通孔的通风路径上。
[0009]作为本技术的一种优选方式，所述连通孔倾斜设置且两个连通孔的中部连接且呈垂直相交，两个连通孔的相交处位于衬底本体的中心处且与出风孔连通。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]本技术，在衬底的外壁上开设了多个加强孔，加强孔内壁涂刷耐高温涂层，不仅能够增加衬底的耐高温性能，还提高了其结构强度。同时通过风管将冷空气灌入到连通孔中，通过连通孔进入到不同位置的通风孔道，使衬底内部受热均匀，减少因受热不均使内部应力不同造成碎裂的问题。
附图说明
[0012]图1为本技术所述人工金刚石生产用耐高温衬底的外部结构图；
[0013]图2为本技术所述人工金刚石生产用耐高温衬底的内部结构图；
[0014]图3为本技术所述人工金刚石生产用耐高温衬底的截面图。
[0015]图中:1、衬底本体；2、加强孔；3、耐高温涂层；4、进风孔；5、出风孔；6、导风板；7、缓冲块；8、连通孔；9、导风锥；10、风管。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种人工金刚石生产用耐高温衬底，包括：衬底本体1，衬底本体1呈方形结构且外壁上均开设有加强孔2，加强孔2向衬底本体1内部水平延伸且加强孔2共设置有六个，衬底本体1外壁相邻面的三个加强孔2末端相连通并形成L形结构的通风孔道，L形结构具有良好的稳定性，提高结构强度，通风孔道用于将内部空气排出，通风孔道内壁上均涂抹有耐高温涂层3，提高通风孔道的耐高温性能，衬底本体1的内部还开设有两个连通孔8，连通孔8贯穿通风孔道的夹角处，且连通孔8的两端分别与衬底本体1对角的通风孔道连通，衬底本体1的底面中部开设有出风孔5，衬底本体1的内顶部且位于出风孔5的上方安装有导风机构，导风机构起到导向和缓冲作用，将内部空气通过出风孔5排出，且在排出过程中减少因排气带来的振动。
[0018]进一步改进地，连通孔8的表面且位于两个相邻的通风孔道之间开设有进风孔4，进风孔4的内部设置有风管10，风管10的末端与风机连接，风机将空气通过风管10导入到连通孔8中，通过通风孔道到达不同位置，提高受热均匀。
[0019]进一步改进地，连通孔8的表面且与进风孔4的对立面上形成有导风锥9，导风锥9呈三角形结构，导风锥9对进风孔4进风起到导向的作用。
[0020]进一步改进地，导风机构包括缓冲块7和导风板6，缓冲块7采用气囊制成且固定在衬底本体1的内顶面中部，缓冲块7的外壁上形成若干个环形的橡胶缓冲片，导风板6呈弧形结构且倾斜设置且上端与衬底本体1的内顶部固定连接，导风板6共设置四个且以缓冲块7为中心呈环形分布，四个导风板6分别置于连通孔8的通风路径上，连通孔8内部分空气通过出风孔5排出，通过导风板6来起到导向作用，导风板6采用软质橡胶材料制成，在受压后末端向缓冲块7倾斜，并与缓冲块7接触达到缓冲减振效果。
[0021]进一步改进地，耐高温涂层3由氧化锡锑和聚奈二甲酸乙二醇酯混合复配制成，提
高了衬底的耐高温性能。
[0022]具体地，连通孔8倾斜设置且两个连通孔8的中部连接且呈垂直相交，两个连通孔8的相交处位于衬底本体1的中心处且与出风孔5连通。
[0023]本技术在使用时，在衬底的外壁上开设了多个加强孔2，加强孔2内壁涂刷耐高温涂层3，不仅能够增加衬底的耐高温性能，还提高了其结构强度。同时通过风管10将冷空气灌入到连通孔8中，通过连通孔8进入到不同位置的通风孔道，使衬底内部受热均匀，减少因受热不均使内部应力不同造成碎裂的问题。
[0024]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种人工金刚石生产用耐高温衬底，包括：衬底本体(1)，其特征在于：所述衬底本体(1)呈方形结构且外壁上均开设有加强孔(2)，所述加强孔(2)向衬底本体(1)内部水平延伸且加强孔(2)共设置有六个，衬底本体(1)外壁相邻面的三个加强孔(2)末端相连通并形成L形结构的通风孔道，所述通风孔道内壁上均涂抹有耐高温涂层(3)，衬底本体(1)的内部还开设有两个连通孔(8)，所述连通孔(8)贯穿通风孔道的夹角处，且连通孔(8)的两端分别与衬底本体(1)对角的通风孔道连通，衬底本体(1)的底面中部开设有出风孔(5)，衬底本体(1)的内顶部且位于出风孔(5)的上方安装有导风机构。2.根据权利要求1所述的一种人工金刚石生产用耐高温衬底，其特征在于：所述连通孔(8)的表面且位于两个相邻的通风孔道之间开设有进风孔(4)，所述进风孔(4)的内部设置有风管(10)，所述风管(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：付国新，马建国，于卫召，
申请(专利权)人：河南博泰圣莎拉机械有限公司，
类型：新型
国别省市：