一种人工金刚石生产用耐高温衬底制造技术

本实用新型专利技术公开了一种人工金刚石生产用耐高温衬底，包括：衬底本体，所述衬底本体呈方形结构且外壁上均开设有加强孔，所述加强孔向衬底本体内部水平延伸且加强孔共设置有六个，衬底本体外壁相邻面的三个加强孔末端相连通并形成L形结构的通风孔道，所述通风孔道内壁上均涂抹有耐高温涂层，衬底本体的内部还开设有两个连通孔，所述连通孔贯穿通风孔道的夹角处。本实用新型专利技术在衬底的外壁上开设了多个加强孔，加强孔内壁涂刷耐高温涂层，不仅能够增加衬底的耐高温性能，还提高了其结构强度。同时通过风管将冷空气灌入到连通孔中，通过连通孔进入到不同位置的通风孔道，使衬底内部受热均匀，减少因受热不均使内部应力不同造成碎裂的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种人工金刚石生产用耐高温衬底


[0001]本技术涉及金刚石生产
，更具体为一种人工金刚石生产用耐高温衬底。

技术介绍

[0002]金刚石是一种性能优越的矿物材料，在很多领域都有广泛的应用。化学气相沉积法是合成单晶金刚石的主要方式之一，通过解离含碳的混合气体，活性碳原子在衬底(晶种)上沉积形成金刚石。化学气相沉积法合成单晶金刚石工艺中，温度是晶体合成重要影响因素。在晶体的合成过程中，衬底表面的温度无法直接测得，常使用红外测温设备进行非接触式的温度测量，被测物的红外放射率直接影响了测温的结果。
[0003]目前，现有的人工金刚石生产用耐高温衬底耐高温性能差，只能在低温下进行微晶硅沉积处理，而低温又会使沉积速率降低的缺陷，高温环境中衬底易因温度过高和温度不均匀而产生破裂。为此，需要设计一个新的方案给予改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种人工金刚石生产用耐高温衬底，解决了现有的人工金刚石生产用耐高温衬底耐高温性能差，只能在低温下进行微晶硅沉积处理，而低温又会使沉积速率降低的缺陷，高温环境中衬底易因温度过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种人工金刚石生产用耐高温衬底，包括：衬底本体(1)，其特征在于：所述衬底本体(1)呈方形结构且外壁上均开设有加强孔(2)，所述加强孔(2)向衬底本体(1)内部水平延伸且加强孔(2)共设置有六个，衬底本体(1)外壁相邻面的三个加强孔(2)末端相连通并形成L形结构的通风孔道，所述通风孔道内壁上均涂抹有耐高温涂层(3)，衬底本体(1)的内部还开设有两个连通孔(8)，所述连通孔(8)贯穿通风孔道的夹角处，且连通孔(8)的两端分别与衬底本体(1)对角的通风孔道连通，衬底本体(1)的底面中部开设有出风孔(5)，衬底本体(1)的内顶部且位于出风孔(5)的上方安装有导风机构。2.根据权利要求1所述的一种人工金刚石生产用耐高温衬底，其特征在于：所述连通孔(8)的表面且位于两个相邻的通风孔道之间开设有进风孔(4)，所述进风孔(4)的内部设置有风管(10)，所述风管(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：付国新，马建国，于卫召，
申请(专利权)人：河南博泰圣莎拉机械有限公司，
类型：新型
国别省市：