一种固定治具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种固定治具，包括位于中部的盘体、沿盘体圆周分布的多个支撑杆以及设于每个支撑杆端部的夹持机构，盘体的中部开设贯通盘体的气流孔，每个支撑杆的一端与盘体连接，每个支撑杆的另一端与夹持机构连接，夹持机构包括夹持钳口，夹持钳口的大小可以调节。本实用新型专利技术所设计的治具可用于MOCVD设备反应腔保护板的安装，降低了保护板的安装难度，也减小了保护板意外掉落导致反应腔内部件破损的风险。的风险。的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种固定治具


[0001]本技术涉及一种固定治具。

技术介绍

[0002]MOCVD（Metal
‑
Organic
‑
Chemical
‑
Vapor
‑
Deposition）即金属有机化合物化学气相沉积是半导体器件制造中常用的一种工艺方法，MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、
Ⅵ
族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种
Ⅲ‑
V族、
Ⅱ‑Ⅵ
族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。用于实施该工艺的设备反应腔的上腔盖上通常装配有可拆卸的圆盘形的保护板，保护板与上腔盖通过卡扣方式连接，在装配时，两者之间的扣合部先扣合然后旋转一定角度才能完成两者的固定连接，该保护板需要定期拆卸下来进行清洁维护，根据统计，在设备满产工作状态下，保护板每两天就需要进行拆卸更换维护，但由于反应腔中通常含磷、砷等对人体有害的化学元素，因此在拆卸或安装保护板时需要隔着手套箱进行操作。现有技术中对保护板的安装作业需要双人托举，在旋转保护板的过程中还需要稳稳的托举住，稍有不慎存在保护板从手上掉落砸破反应腔下腔体小盘及大盘的风险。

技术实现思路

[0003]本技术公开一种固定治具，可用于MOCVD设备中实现保护板与上腔盖的装配，通过该治具将保护板的边缘夹持住，然后利用该治具将保护板的边缘与反应腔的上腔盖边缘一起夹持住，由此作业人员的双手可进行旋转扣合操作，降低了保护板的安装难度，也减小了保护板意外掉落导致反应腔内部件破损的风险。
[0004]为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案为：
[0005]一种固定治具，包括位于中部的盘体、沿所述盘体圆周分布的多个支撑杆以及设于每个所述支撑杆端部的夹持机构，所述盘体的中部开设贯通所述盘体的气流孔，每个所述支撑杆的一端与所述盘体连接，每个所述支撑杆的另一端与所述夹持机构连接，所述夹持机构包括夹持钳口，所述夹持钳口的大小可以调节。
[0006]进一步，所述夹持机构上设有调节螺栓，所述调节螺栓用于调节所述夹持钳口的大小。
[0007]进一步，所述盘体包括第一圆盘、第二圆盘以及柱状体，所述第一圆盘与所述第二圆盘平行设置，所述第一圆盘与所述第二圆盘通过所述柱状体连接，所述气流孔依次贯通所述第一圆盘、所述柱状体及所述第二圆盘。
[0008]进一步，所述支撑杆连接所述盘体的一端设有卡块，所述第一圆盘与所述第二圆盘之间设有限位机构，所述卡块被所述限位机构限制在所述第一圆盘、所述柱状体及所述第二圆盘共同围合而成的空间，所述卡块可沿所述柱状体的外圆周滑动。
[0009]进一步，所述限位机构包括第一环形壁和第二环形壁，所述第一环形壁的一端与所述第一圆盘相连，所述第一环形壁的另一端为悬空端；所述第二环形壁的一端与所述第
二圆盘相连，所述第二环形壁的另一端为悬空端；所述第一环形壁的悬空端与所述第二环形壁的悬空端相对且两个悬空端之间的距离小于所述卡块的宽度。
[0010]进一步，所述夹持机构包括固定板和活动板，所述固定板与所述活动板围合形成所述夹持钳口；所述固定板与所述支撑杆固定连接，所述活动板与所述固定板通过弹簧连接，所述固定板上开设贯通螺纹孔，所述调节螺栓插入所述固定板上的螺纹孔并垂直于所述活动板。
[0011]进一步，所述固定板包括横板和竖板，所述横板与所述竖板连接形成L型结构，所述横板的一端与所述支撑杆固定连接，所述活动板与所述横板平行，所述竖板的一端连接所述横板，所述竖板的另一端与所述活动板之间通过弹簧连接。
[0012]进一步，所述横板上开设第一螺纹孔，所述竖板上开设第二螺纹孔，所述第一螺纹孔与所述第二螺纹孔相互贯通，所述调节螺栓的一端穿过所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔且能够抵至所述活动板。
[0013]进一步，所述盘体及所述支撑杆采用铝合金材质。
[0014]进一步，所述夹持钳口的内壁上贴合橡胶层。
[0015]本技术所设计的固定治具可用于MOCVD设备的反应腔保护板与上腔盖的安装，该治具上设有夹持机构，夹持机构上设有夹持钳口，保护板在安装时可利用夹持机构的夹持钳口将保护板边缘夹持住，然后将该治具的盘体套设在反应腔的上腔盖气流口周围，由于盘体上设有气流孔，不会对反应腔上腔盖的气流口造成遮盖；盘体套设好后，将保护板的边缘与上腔盖的边缘一起夹持住避免两者脱离，调节夹持机构上夹持钳口的大小，令保护板的边缘与上腔盖的边缘之间产生缝隙，目的是令保护板与上腔盖被夹持的松动些，方便能够转动保护板完成两者之间的扣合，此时操作人员无需对保护板进行托举，直接转动保护板使之与上腔盖完成扣合固定即可，借助该治具降低了保护板的安装难度，也减小了保护板在安装过程中因意外掉落导致反应腔内部件破损的风险。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例中固定治具的结构示意图。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0018]本实施例公开一种固定治具，该固定治具的结构如图1所示，主要包括位于中部的盘体、沿盘体圆周分布的多个支撑杆5以及设于每个支撑杆5端部的夹持机构。盘体的中部开设有贯通盘体的气流孔4，多个支撑杆5可沿盘体中心呈放射状分布，每个支撑杆5的一端与盘体连接，每个支撑杆5的另一端与夹持机构连接，该夹持机构包括夹持钳口11，夹持钳口11用于夹持住被夹持件的边缘，夹持钳口11的大小可以调节。
[0019]上述给出的固定治具可用于通过相对移动完成扣合连接的两个物体固定使用，本实施例中是以用于MOCVD设备实现反应腔中保护板与上腔盖的安装为例来说明，被夹持件在以下举例中是指保护板和/或上腔盖。正如本技术
技术介绍
部分所介绍，现有MOCVD设备反应腔中的保护板与上腔盖是采用卡扣方式装配连接的，在安装保护板时需要先将保
护板与上腔盖贴合住，令两者扣合部对应，然后将保护板转动一定角度令扣合部彼此扣合锁紧。因此，在使用本实施例上述给出结构的固定治具时，先将保护板放置于固定治具的盘体上，令多个支撑杆5沿保护板的周向分布开，将保护板的边缘利用夹持机构的夹持钳口11进行夹持，再将固定治具的盘体套设在MOCVD设备反应腔上腔盖的气流口处，由于盘体中部开设有气流孔4，不会对MOCVD设备的气流口造成遮挡，利用可调整大小的夹持钳口11将上腔盖的边缘与保护板的边缘一起夹持住，避免保护板与上腔盖彼此脱离掉落，然后调节夹持钳口11的大小（此处是指扩大夹持钳口11的开口大小），令保护板的边缘与上腔盖的边缘之间产生一定的缝隙，避免两者被完全夹死不能令保护板相对于上腔盖转动，后续直接对保护板进行转动完成保护板与上腔盖的扣合锁紧。
[0020]为实现对保护板与上腔盖更稳定的夹持，支撑杆5至少设置三个，当支撑杆5设置三个时，相邻支撑杆5之间的夹角为120
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固定治具，其特征在于：包括位于中部的盘体、沿所述盘体圆周分布的多个支撑杆以及设于每个所述支撑杆端部的夹持机构，所述盘体的中部开设贯通所述盘体的气流孔，每个所述支撑杆的一端与所述盘体连接，每个所述支撑杆的另一端与所述夹持机构连接，所述夹持机构包括夹持钳口，所述夹持钳口的大小可以调节。2.根据权利要求1所述的一种固定治具，其特征在于：所述夹持机构上设有调节螺栓，所述调节螺栓用于调节所述夹持钳口的大小。3.根据权利要求1所述的一种固定治具，其特征在于：所述盘体包括第一圆盘、第二圆盘以及柱状体，所述第一圆盘与所述第二圆盘平行设置，所述第一圆盘与所述第二圆盘通过所述柱状体连接，所述气流孔依次贯通所述第一圆盘、所述柱状体及所述第二圆盘。4.根据权利要求3所述的一种固定治具，其特征在于：所述支撑杆连接所述盘体的一端设有卡块，所述第一圆盘与所述第二圆盘之间设有限位机构，所述卡块被所述限位机构限制在所述第一圆盘、所述柱状体及所述第二圆盘共同围合而成的空间，所述卡块可沿所述柱状体的外圆周滑动。5.根据权利要求4所述的一种固定治具，其特征在于：所述限位机构包括第一环形壁和第二环形壁，所述第一环形壁的一端与所述第一圆盘相连，所述第一环形壁的另一端为悬空端；所述第二环形壁的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海亮，刘东亮，
申请(专利权)人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：