一种MEMS红外光源的衬底结构制造技术

本实用新型专利技术涉及红外光源领域，特别是涉及一种MEMS红外光源的衬底结构。该衬底结构为MEMS光源的底部支撑结构，包括衬底、支撑层以及发射层。衬底结构上负载MEMS光源的发光结构。其中，衬底上表面的中央设有向下凹陷的凹坑，凹坑包括一个水平的底面以及呈坡面状的侧壁。凹坑的上口至少完整覆盖上方的红外发射层。反射层完整覆盖在衬底中凹坑的内壁上；反射层用于反射2

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS红外光源的衬底结构


[0001]本技术涉及红外光源领域，特别是涉及一种MEMS红外光源的衬底结构。

技术介绍

[0002]红外传感技术已经被广泛应用于大气质量检测、温度监控、工业过程控制、空间监控、信息通信、医学及军事等领域。红外光源是红外传感技术的重要元件，常用的发光波长为3
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5微米以及8
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14微米。传统热辐射红外光源如白炽灯，其电光转换效率低、调制特性差；而波长在3
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5微米的红外二极管发光效率低，输出功率小，限制了其应用；量子级联红外激光器能够发射高强度的窄带红外激光，但效率也不高，且制造成本高昂。利用微机电系统(MEMS)技术制作的MEMS红外光源是一种新型的热辐射红外光源，具有电光转换效率高、体积小、能耗低等特点，同时光谱很容易覆盖2
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20微米范围，还具有较快的调制频率，已经被广泛应用于红外传感领域，成为红外光源的趋势性技术。
[0003]常规结构的MEMS红外光源包含衬底，在衬底上设有支撑层，支撑层和衬底采用四边固支结构连接，在支撑层上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS红外光源的衬底结构，所述衬底结构为MEMS光源的底部支撑结构，其上负载MEMS光源的发光结构；所述发光结构包括沿竖向叠层设置的发热电极层、红外发射层，以及与所述发热电极层电连接的两条发热电极焊盘；其特征在于，所述衬底结构包括：衬底，其上表面的中央设有向下凹陷的凹坑，所述凹坑包括一个水平的底面以及呈坡面状的侧壁；所述凹坑的上口至少完整覆盖上方的红外发射层；支撑层，其覆盖在衬底上表面，所述支撑层的覆盖面积大于所述衬底中的凹坑；所述支撑层和所述衬底呈四边固支结构相接，二者之间形成空腔结构；所述支撑层中设有至少一个贯穿的牺牲窗口，所述牺牲窗口与下方的所述衬底中的凹坑连通；牺牲窗口的分布位置与上方的所述发热电极层的分布位置相切或相离；以及反射层，其完整覆盖在所述衬底中凹坑的内壁上；所述反射层采用对2
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14微米波长范围的红外线具有高反射率的材料制备而成的薄膜。2.根据权利要求1所述的MEMS红外光源的衬底结构，其特征在于：所述空腔结构的深度为1
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50μm。3.根据权利要求1所述的MEMS红外光源的衬底结构，其特征在于，所述反射层采用由物理气相沉积或者化学气相沉积工艺制成...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军林，吕全江，侯海港，刘桂武，乔冠军，郝俊操，夏松敏，陈杰，
申请(专利权)人：微集电科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：