一种蒸发舟制造技术

技术编号:36206147 阅读:60 留言:0更新日期:2023-01-04 12:01
本实用新型专利技术公开了一种蒸发舟,包括主体和内舟体,主体包括多个安装槽,相邻两个安装槽通过分隔筋隔离,安装槽底部设有电极片,安装槽内安装有内舟体,内舟体下部抵接电极片上部,内舟体包括蒸发池,电极片能够加热蒸发池,蒸发池底部设有多个环形导流槽,多个环形导流槽形成回字形结构,相邻两个环形导流槽通过连接槽连通。本实用新型专利技术通过设置嵌入式可替换的内舟体,当发生腐蚀时,只需更换内舟体,大大降低了成本,而且还便于不同种类金属蒸镀的切换,有利于提高工作效率。有利于提高工作效率。有利于提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发舟


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
,尤其是涉及一种蒸发舟。

技术介绍

[0002]真空镀金属薄膜是在高真空条件下,通过蒸发舟内的电极片对金属丝加热使金属丝熔融气化,在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜的一种工艺,被镀金属材料可以是金、银、铜、铁、锌、铬、铝等,现有的蒸发舟,如授权公告号为CN210367887U公开了一种改进的蒸发舟,其存在不足之处,蒸发池与蒸发舟本体为一体式,由于蒸发舟自身容易被滴落的铝液冲击侵蚀造成损伤,因此当蒸发池损伤时无法对其进行更换,更重要的是当导流槽被侵蚀后,导流槽的作用容易失效,因而得更换整个蒸发舟,而且当需要更换蒸镀的金属材质时,如镀铝完成后需要镀铜时,蒸发池内残留的铝较难清除,因此急需对此进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种蒸发舟,通过设置嵌入式可替换的内舟体,当发生腐蚀时,只需更换内舟体,大大降低了成本,而且还便于不同种类金属蒸镀的切换,有利于提高工作效率。
[0004]为了实现上述目的,本技术采用如下技术方案:
[0005]一种蒸发舟,包括主体和内舟体,所述主体包括多个安装槽,相邻两个安装槽通过分隔筋隔离,所述安装槽底部设有电极片,所述安装槽内安装有内舟体,所述内舟体下部抵接电极片上部;
[0006]所述内舟体包括蒸发池,所述电极片能够加热蒸发池,所述蒸发池底部设有多个环形导流槽,多个所述环形导流槽形成回字形结构,相邻两个环形导流槽通过连接槽连通。
[0007]所述蒸发池中心处设有第一凸台,所述第一凸台侧面设有多个汇流槽,所述汇流槽与连接槽连通。
[0008]所述第一凸台顶部设有通孔,所述电极片包括第二凸台,所述第二凸台上部设有第三凸台,所述第二凸台上部抵接第一凸台上部下表面,所述第三凸台贯穿通孔且第三凸台上部高于第一凸台上部,所述第三凸台环形外壁紧贴通孔内壁。
[0009]所述第一凸台上部上部设有凸筋,相邻两个所述汇流槽通过凸筋连接,所述凸筋高于第一凸台上部。
[0010]所述环形导流槽的截面为倒立的梯形,所述连接槽的截面与环形导流槽一致。
[0011]所述蒸发池内壁为斜面,所述蒸发池内壁从上往下向中心处倾斜设置。
[0012]所述安装槽上部设有限位槽,所述内舟体包括支撑板,所述支撑板插入限位槽内,所述支撑板上部与主体上部齐平。
[0013]所述限位槽相对的两侧设有缺口,所述缺口位于支撑板侧面。
[0014]所述主体上部设有压板,所述压板与主体通过螺栓固定,所述压板包括多个压条,所述压条下部抵接支撑板上部,所述蒸发池位于相邻两个压条之间。
[0015]本技术的有益效果是:
[0016]1、通过安装槽和内舟体的配合,实现了嵌入式可替换内舟体的设计,当内舟体被腐蚀时,只需取出被腐蚀的内舟体进行更换,无需再更换整个蒸发舟,大大降低了成本,而且在蒸镀不同金属时,只需要更换内舟体,无需再对内舟体进行清洁,大大提高了工作效率;
[0017]2、通过多个环形导流槽形成的回字形结构,使得金属液能够充分的分布在蒸发池底部,有利于提高蒸发池内金属液蒸发的均匀性,提高镀膜效果,通过设置连接槽和汇流槽,使得融化后的金属液能够迅速和均匀的充满环形导流槽,有利于提高金属液的蒸发效果。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构示意图;
[0019]图2为本技术的局部剖视图;
[0020]图3为图2在A处的放大图;
[0021]图4为本技术的局部结构示意图;
[0022]图5为内舟体的俯视图;
[0023]图6为环形导流槽的截面图。
[0024]图中:主体1、安装槽11、分隔筋12、限位槽13、缺口14、内舟体2、蒸发池21、第一凸台22、通孔23、环形导流槽24、连接槽25、汇流槽26、凸筋27、支撑板28、电极片3、第二凸台31、第三凸台32、压板4、压条41。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步描述:
[0026]在本说明书的描述中,术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作,因此,不能理解为对本技术的限制。
[0027]如图1至图6所示,一种蒸发舟,包括主体1和内舟体2,所述主体1包括多个安装槽11,相邻两个安装槽11通过分隔筋12隔离,所述安装槽11底部设有电极片3,所述安装槽11内安装有内舟体2,所述内舟体2下部抵接电极片3上部,所述内舟体2包括蒸发池21,所述电极片3能够加热蒸发池21,在镀膜时,金属丝端部抵接到蒸发池21内,对电极片3进行通电加热,热量传导到内舟体2的蒸发池21内,从而对蒸发池21进行加热并使得金属丝熔融气化,通过安装槽11和内舟体2的配合,实现了嵌入式可替换内舟体2的设计,当内舟体2被腐蚀时,只需取出被腐蚀的内舟体2进行更换,无需再更换整个蒸发舟,大大降低了成本,而且在蒸镀不同金属时,只需要更换内舟体2,无需再对内舟体2进行清洁,大大提高了工作效率。
[0028]如图3和图5所示,所述蒸发池21底部设有多个环形导流槽24,多个所述环形导流槽24形成回字形结构,相邻两个环形导流槽24通过连接槽25连通,所述蒸发池21中心处设有第一凸台22,所述第一凸台22侧面设有多个汇流槽26,所述汇流槽26与连接槽25连通,连接槽25呈十字架的形状分布,每个环形导流槽24的一边均连接连接槽25,汇流槽26的数量
与连接槽25一致,一个汇流槽26连接一个连接槽25,汇流槽26的下端与连接槽25连通,汇流槽26上端与第一凸台22上部连通;
[0029]在进行镀膜作业时,金属丝落在第一凸台22的中心处进行融化后向第一凸台22上表面的四周散布,第一凸台22上表面的金属液流入汇流槽26内并流经连接槽25,从而使得环形导流槽24和连接槽25内充满金属液,其中,金属丝在第一凸台22的中心处融化时以及金属液在流动时,均同时在进行蒸发,通过控制金属丝的传输速度,使其在相同时间内的融化量大于蒸发量,从而能够保证金属液能够充满环形导流槽24和连接槽25,当环形导流槽24和连接槽25内充满金属液后,再通过控制金属丝的传输速度,使其融化量与蒸发池21内金属液的蒸发量保持一致,如此能够尽可能的防止金属液从槽内溢出(即使有少许金属液从槽内溢出也不会影响镀膜质量)。
[0030]通过电极片3的加热使得环形导流槽24和连接槽25内的金属液呈气态挥发进行镀膜作业;通过多个环形导流槽24形成的回字形结构,使得金属液能够充分的分布在蒸发池2底部,有利于提高蒸发池2内金属液蒸发的均匀性,提高镀膜效果,通过设置连接槽25和汇流槽26,使得融化后的金属液能够迅速和均匀的充满环形导流槽,有利于提高金属液的蒸发效果。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发舟,其特征在于:包括主体(1)和内舟体(2),所述主体(1)包括多个安装槽(11),相邻两个安装槽(11)通过分隔筋(12)隔离,所述安装槽(11)底部设有电极片(3),所述安装槽(11)内安装有内舟体(2),所述内舟体(2)下部抵接电极片(3)上部;所述内舟体(2)包括蒸发池(21),所述电极片(3)能够加热蒸发池(21),所述蒸发池(21)底部设有多个环形导流槽(24),多个所述环形导流槽(24)形成回字形结构,相邻两个环形导流槽(24)通过连接槽(25)连通。2.如权利要求1所述一种蒸发舟,其特征在于:所述蒸发池(21)中心处设有第一凸台(22),所述第一凸台(22)侧面设有多个汇流槽(26),所述汇流槽(26)与连接槽(25)连通。3.如权利要求2所述一种蒸发舟,其特征在于:所述第一凸台(22)顶部设有通孔(23),所述电极片(3)包括第二凸台(31),所述第二凸台(31)上部设有第三凸台(32),所述第二凸台(31)上部抵接第一凸台(22)上部下表面,所述第三凸台(32)贯穿通孔(23)且第三凸台(32)上部高于第一凸台(22)上部,所述第三凸台(32)环形外壁紧贴通孔(23)内壁。4.如...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈中修周志东
申请(专利权)人:绍兴英冠薄膜科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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