一种实时监测的真空蒸镀设备制造技术

本发明专利技术涉及蒸镀技术领域，具体公开了一种实时监测的真空蒸镀设备，包括罐体和罐盖，罐体和罐盖之间设有两个压紧组件，所述罐体的内壁阵列设有多个电热棒，所述电热棒的外部活动套设有蒸发源放置组件，所述罐盖的顶部内壁设有基板放置组件；抽真空组件，所述抽真空组件设置在罐体的外壁两侧，所述抽真空组件的上方设有与罐体的外壁固定连接的支撑板；调节驱动组件，所述调节驱动组件设置在抽真空组件的一侧并与所述支撑板连接。本发明专利技术不仅方便实时监测蒸镀的进度，而且还保证蒸镀的质量，而且在蒸镀完成后对蒸发源进行隔离，减少蒸发浪费。减少蒸发浪费。减少蒸发浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种实时监测的真空蒸镀设备


[0001]本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种实时监测的真空蒸镀设备。

技术介绍

[0002]真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法；蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
[0003]现有的真空蒸镀设备主要包括蒸发源、基板和加热元件，通过加热元件对蒸发源进行加热使其蒸发，再凝聚在基板上，而加热元件一般设置在蒸发源的底部，蒸发源的安装位置也都是保持不变的，然而在真空避免空腔内蒸镀时，由于空腔的内壁和空腔中间处温度存在差异，因此分子热运动也就是存在差异，这样蒸发源在蒸镀时，向上蒸发的速度和均匀性存在偏差，因此容易导致基板的边缘部位蒸镀量小于靠近中间部位的蒸镀量，而且在完成蒸镀后，无法及时散热，导致蒸发源还会工作一段时间容易过度蒸发造成浪费，为此我们提出了一种实时监测的真空蒸镀设备。

技术实现思路

[0004]本专利技术提出的一种实时监本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种实时监测的真空蒸镀设备，包括罐体(1)和罐盖(2)，其特征在于，所述罐体(1)和罐盖(2)之间设有两个压紧组件，所述罐体(1)的内壁阵列设有多个电热棒(28)，所述电热棒(28)的外部活动套设有蒸发源放置组件，所述罐盖(2)的顶部内壁设有基板放置组件；抽真空组件，所述抽真空组件设置在罐体(1)的外壁两侧，所述抽真空组件的上方设有与罐体(1)的外壁固定连接的支撑板(6)；调节驱动组件，所述调节驱动组件设置在抽真空组件的一侧并与所述支撑板(6)连接。2.根据权利要求1所述的一种实时监测的真空蒸镀设备，其特征在于，所述压紧组件包括转动设置在罐体(1)外壁的转动板(3)，所述转动板(3)上螺纹套设有螺栓(4)，所述螺栓(4)的底端转动设有挤压板(5)。3.根据权利要求1所述的一种实时监测的真空蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发源放置组件包括活动套设在电热棒(28)外部的活动座，所述活动座的一侧固定连接有活动盘(29)，所述活动盘(29)的内部转动设有翻转盘(30)，所述翻转盘(30)的顶部和底部均固定连接有两个电磁铁(31)，所述电磁铁(31)的两侧固定连接有导向杆(32)，所述导向杆(32)的外部活动套设有夹板(33)，所述夹板(33)和电磁铁(31)之间连接有套设在导向杆(32)外部的弹簧(34)，所述翻转盘(30)沿转动轴线的一侧固定连接有第二齿轮(35)。4.根据权利要求1所述的一种实时监测的真空蒸镀设备，其特征在于，所述基板放置组件包括固定连接在罐盖(2)顶部内壁的两个竖杆(23)，所述竖杆(23)的底端固定连接有顶板(24)，所述顶板(24)的顶部固定连接有电子天平秤(25)，所述电子天平秤(25)的顶端固定连接有压板(26)，所述压板(26)的底部两侧固定连接有基板托板(27)。5.根据权利要求1所述的一种实时监测的真空蒸镀设备，其特征在于，所述抽真空组件包括活动套设在罐体(1)两侧的过渡筒(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：史延锋，史延库，粗鲁，
申请(专利权)人：昆山合泰智能科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：