一种实时监测的真空蒸镀设备制造技术

本发明专利技术涉及蒸镀技术领域，具体公开了一种实时监测的真空蒸镀设备，包括罐体和罐盖，罐体和罐盖之间设有两个压紧组件，所述罐体的内壁阵列设有多个电热棒，所述电热棒的外部活动套设有蒸发源放置组件，所述罐盖的顶部内壁设有基板放置组件；抽真空组件，所述抽真空组件设置在罐体的外壁两侧，所述抽真空组件的上方设有与罐体的外壁固定连接的支撑板；调节驱动组件，所述调节驱动组件设置在抽真空组件的一侧并与所述支撑板连接。本发明专利技术不仅方便实时监测蒸镀的进度，而且还保证蒸镀的质量，而且在蒸镀完成后对蒸发源进行隔离，减少蒸发浪费。减少蒸发浪费。减少蒸发浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种实时监测的真空蒸镀设备


[0001]本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种实时监测的真空蒸镀设备。

技术介绍

[0002]真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法；蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
[0003]现有的真空蒸镀设备主要包括蒸发源、基板和加热元件，通过加热元件对蒸发源进行加热使其蒸发，再凝聚在基板上，而加热元件一般设置在蒸发源的底部，蒸发源的安装位置也都是保持不变的，然而在真空避免空腔内蒸镀时，由于空腔的内壁和空腔中间处温度存在差异，因此分子热运动也就是存在差异，这样蒸发源在蒸镀时，向上蒸发的速度和均匀性存在偏差，因此容易导致基板的边缘部位蒸镀量小于靠近中间部位的蒸镀量，而且在完成蒸镀后，无法及时散热，导致蒸发源还会工作一段时间容易过度蒸发造成浪费，为此我们提出了一种实时监测的真空蒸镀设备。

技术实现思路

[0004]本专利技术提出的一种实时监测的真空蒸镀设备，解决了现有基板边缘部位蒸镀不均，而且结束蒸镀后，蒸发源继续蒸发造成浪费的问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种实时监测的真空蒸镀设备，包括罐体和罐盖，所述罐体和罐盖之间设有两个压紧组件，所述罐体的内壁阵列设有多个电热棒，所述电热棒的外部活动套设有蒸发源放置组件，所述罐盖的顶部内壁设有基板放置组件；
[0007]抽真空组件，所述抽真空组件设置在罐体的外壁两侧，所述抽真空组件的上方设有与罐体的外壁固定连接的支撑板；
[0008]调节驱动组件，所述调节驱动组件设置在抽真空组件的一侧并与所述支撑板连接。
[0009]优选的，所述压紧组件包括转动设置在罐体外壁的转动板，所述转动板上螺纹套设有螺栓，所述螺栓的底端转动设有挤压板。
[0010]优选的，所述蒸发源放置组件包括活动套设在电热棒外部的活动座，所述活动座的一侧固定连接有活动盘，所述活动盘的内部转动设有翻转盘，所述翻转盘的顶部和底部均固定连接有两个电磁铁，所述电磁铁的两侧固定连接有导向杆，所述导向杆的外部活动套设有夹板，所述夹板和电磁铁之间连接有套设在导向杆外部的弹簧，所述翻转盘沿转动轴线的一侧固定连接有第二齿轮。
[0011]优选的，所述基板放置组件包括固定连接在罐盖顶部内壁的两个竖杆，所述竖杆的底端固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定连接有电子天平秤，所述电子天平秤的顶端
固定连接有压板，所述压板的底部两侧固定连接有基板托板；电子天平秤具体可以使用高精度实验室天平可在精密天平的显示屏上将此准确性扩展至4
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5位小数，所使用增量为0.0001g
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0.00001(0.1mg
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0.01mg)，使用冠森品牌的电子精密天平，型号为FA2204，由于将电子天平设置在罐体内，在真空条件下使用减少了气流的干扰，更加适合其精密测量，电子天平秤不直接与蒸发源接触不对电子天平秤带来干扰和影响。
[0012]优选的，所述抽真空组件包括活动套设在罐体两侧的过渡筒，所述过渡筒的内部活动套设有密封活塞，所述密封活塞的一侧固定连接有贯穿过渡筒的活塞杆，所述活塞杆远离密封活塞的一端固定连接有挡板，所述挡板的一侧设有与罐体的外壁固定连接的限位杆，所述过渡筒的底部固定连接有与之连通的抽气管，所述抽气管的中间固定设有抽气泵，所述抽气泵的输出轴延长端固定连接有第一锥齿轮，所述抽气管靠近过渡筒的一侧设有电磁阀。
[0013]优选的，所述调节驱动组件包括铰接在支撑板上的推杆电机，所述推杆电机的输出轴固定连接有推拉环，且推拉环活动套设在抽气管的外部，两个所述支撑板之间固定连接有定位板，所述定位板的内部活动套设有第一转轴，所述第一转轴的一端固定连接有第二锥齿轮，且第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合传动，所述罐体上转动设有第二转轴，所述第二转轴伸入到罐体内部的一端固定连接有第一齿轮，所述第二转轴和第一转轴上均固定连接有皮带轮，两个所述皮带轮的外部套设有皮带。
[0014]优选的，所述过渡筒的一侧内壁固定连接有拨动杆，所述密封活塞活动套设在拨动杆的外部。
[0015]优选的，所述活动盘上开设有翻转孔，所述翻转孔的内部转动设有翻转轴，且翻转盘活动套设在翻转轴的外部，所述第二齿轮与翻转轴固定连接。
[0016]优选的，所述电热棒的上方设有与罐体的内壁固定连接的导流罩。
[0017]与现有的技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0018]1、本专利技术通过安装压紧组件，方便将罐盖与罐体快速密封在一起，方便后续的抽真空；
[0019]2、本专利技术通过安装基板放置组件，通过基板放置组件上的电子天平秤可以实时监测基板的蒸镀重量变化，从而方便工作人员判断蒸镀进程；
[0020]3、本专利技术通过设置蒸发源放置组件和电热棒，蒸发源放置组件可以沿电热棒缓慢匀速下滑，而且设置在罐体内壁的多个电热棒方便蒸镀时分子在靠近罐体内壁的一侧进行热运动，从而方便对基板的边沿进行均匀蒸镀，保证蒸镀的质量；
[0021]4、本专利技术通过设置抽真空组件和蒸发源放置组件，抽真空组件可以将滑落下来的蒸发源放置组件驱动翻转，从而使得蒸发源隔离上方的温度，减少蒸发源的浪费；
[0022]综上所述，本方案结构简单，设计新颖，不仅方便实时监测蒸镀的进度，而且还保证蒸镀的质量，而且在蒸镀完成后对蒸发源进行隔离，减少蒸发浪费。
附图说明
[0023]图1为本专利技术提出的正视结构示意图；
[0024]图2为本专利技术提出的侧视结构示意图；
[0025]图3为本专利技术提出的剖视结构示意图；
[0026]图4为本专利技术提出的俯视结构示意图；
[0027]图5为本专利技术提出的立体结构示意图；
[0028]图6为本专利技术提出的立体透视结构示意图；
[0029]图7为本专利技术提出的局部剖切立体结构示意图。
[0030]图中：1罐体、2罐盖、3转动板、4螺栓、5挤压板、6支撑板、7限位杆、8过渡筒、9活塞杆、10挡板、11抽气管、12抽气泵、13第一锥齿轮、14推杆电机、15推拉环、16定位板、17第一转轴、18第二锥齿轮、19第二转轴、20第一齿轮、21皮带轮、22皮带、23竖杆、24顶板、25电子天平秤、26压板、27基板托板、28电热棒、29活动盘、30翻转盘、31电磁铁、32导向杆、33夹板、34弹簧、35第二齿轮、36导流罩。
具体实施方式
[0031]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0032]参照图1
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7，一种实时监测的真空蒸镀设备，包括罐体1和罐盖2，罐体1和罐盖2之间设有两个压紧组件，罐体1的内壁阵列设有多个电热棒28本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种实时监测的真空蒸镀设备，包括罐体(1)和罐盖(2)，其特征在于，所述罐体(1)和罐盖(2)之间设有两个压紧组件，所述罐体(1)的内壁阵列设有多个电热棒(28)，所述电热棒(28)的外部活动套设有蒸发源放置组件，所述罐盖(2)的顶部内壁设有基板放置组件；抽真空组件，所述抽真空组件设置在罐体(1)的外壁两侧，所述抽真空组件的上方设有与罐体(1)的外壁固定连接的支撑板(6)；调节驱动组件，所述调节驱动组件设置在抽真空组件的一侧并与所述支撑板(6)连接。2.根据权利要求1所述的一种实时监测的真空蒸镀设备，其特征在于，所述压紧组件包括转动设置在罐体(1)外壁的转动板(3)，所述转动板(3)上螺纹套设有螺栓(4)，所述螺栓(4)的底端转动设有挤压板(5)。3.根据权利要求1所述的一种实时监测的真空蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发源放置组件包括活动套设在电热棒(28)外部的活动座，所述活动座的一侧固定连接有活动盘(29)，所述活动盘(29)的内部转动设有翻转盘(30)，所述翻转盘(30)的顶部和底部均固定连接有两个电磁铁(31)，所述电磁铁(31)的两侧固定连接有导向杆(32)，所述导向杆(32)的外部活动套设有夹板(33)，所述夹板(33)和电磁铁(31)之间连接有套设在导向杆(32)外部的弹簧(34)，所述翻转盘(30)沿转动轴线的一侧固定连接有第二齿轮(35)。4.根据权利要求1所述的一种实时监测的真空蒸镀设备，其特征在于，所述基板放置组件包括固定连接在罐盖(2)顶部内壁的两个竖杆(23)，所述竖杆(23)的底端固定连接有顶板(24)，所述顶板(24)的顶部固定连接有电子天平秤(25)，所述电子天平秤(25)的顶端固定连接有压板(26)，所述压板(26)的底部两侧固定连接有基板托板(27)。5.根据权利要求1所述的一种实时监测的真空蒸镀设备，其特征在于，所述抽真空组件包括活动套设在罐体(1)两侧的过渡筒(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：史延锋，史延库，粗鲁，
申请(专利权)人：昆山合泰智能科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：