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本发明涉及蒸镀技术领域，具体公开了一种实时监测的真空蒸镀设备，包括罐体和罐盖，罐体和罐盖之间设有两个压紧组件，所述罐体的内壁阵列设有多个电热棒，所述电热棒的外部活动套设有蒸发源放置组件，所述罐盖的顶部内壁设有基板放置组件；抽真空组件，所述抽...
该专利属于昆山合泰智能科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山合泰智能科技发展有限公司授权不得商用。

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