一种激光与电化学复合加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种激光与电化学复合加工装置，包括光学单元、电化学反应单元和流体控制单元；光学单元包括纳秒绿光激光器、XY两轴激光扫描振镜，聚焦透镜和控制系统；电化学反应单元包括铜片、阴极、金属阳极工件、反应容器、电解液、导线、直流电源、底座和储液槽；反应容器和储液槽均为透明亚克力器皿；纳秒绿光激光器输出的激光束经过XY两轴激光扫描振镜和聚焦透镜后，透过透明的储液槽、反应容器和透明阴极，最终聚焦于金属阳极工件的表面。本发明专利技术采用透明电极代替传统金属电极，激光光束通过振镜扫描和聚焦透镜后输出，穿过透明电极辐射到待加工金属表面，可以实现激光与电化学复合刻蚀工艺对金属表面大面积、任意图案的高效高精度加工。高精度加工。高精度加工。

【技术实现步骤摘要】
一种激光与电化学复合加工装置


[0001]本专利技术属于激光加工领域，具体涉及一种激光与电化学复合加工装置。

技术介绍

[0002]随着科技进步和经济发展，对产品的加工制造工艺提出了更高的要求。在零部件标定刻划的加工领域，激光加工相对传统加工方法具有非接触性、无污染和高效率等众多优势，但是激光加工过程易导致重铸层、毛刺与微裂纹的产生，影响加工质量。
[0003]电化学加工是一种非接触式加工方法，利用金属的阳极溶解原理进行材料去除，可实现极高质量的加工，但加工过程易产生钝化膜导致加工效率较低，由此可见，单一加工工艺在加工能力、加工效率和表面质量等方面难以做到兼容存在的问题。
[0004]激光与电化学复合加工技术综合了激光加工效率高、电化学加工表面质量好等优势，已成为国内外广泛关注的一种高表面质量精密加工技术，但是目前激光与电化学复合加工技术主要通过在直径为0.3
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1mm的中空管电极中通入电解液和激光实现对微孔的加工，其加工面积小，效率低，柔性化程度低，无法实现大面积图案的高效加工。

技术实现思路

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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光与电化学复合加工装置，包括光学单元、电化学反应单元和流体控制单元；其特征在于，所述光学单元包括纳秒绿光激光器(1)、XY两轴激光扫描振镜(2)，聚焦透镜(3)和控制系统(20)；所述电化学反应单元包括铜片(4)、阴极(5)、金属阳极工件(6)、反应容器(7)、电解液(8)、导线(9)、直流电源(10)、底座(18)和储液槽(19)；反应容器(7)和储液槽(19)均为透明亚克力器皿，透光率大于90％；反应容器(7)竖直固定放置在底座(18)上方，反应容器(7)与底座(18)均设置在储液槽(19)内；反应容器(7)底部开有两个凹槽，两个凹槽之间设置有一狭缝；阴极(5)和金属阳极工件(6)均竖直放置在两个凹槽中并固定夹紧，两者分别通过导线(8)与直流电源(9)的负极和正极相连；电解液(8)经由所述狭缝喷入阴极(5)和金属阳极工件(6)之间，阴极(5)为透明的氧化铟锡导电玻璃；所述纳秒绿光激光器(1)输出的激光束经过XY两轴激光扫描振镜(2)和聚焦透镜(3)后，透过透明的储液槽(19)、反应容器(7)和阴极(5)之后，聚焦于金属阳极工件(6)的表面。2.根据权利要求1所述的激光与电化学复合加工装置，其特征在于，所述流体控制单元包括管路(11)、止回阀(12)、过滤器(13)、微量...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹宇，刘军，杨焕，吴建根，陈洁，刘文文，薛伟，
申请(专利权)人：温州大学，
类型：发明
国别省市：