激光照射装置、信息处理方法和可读取地记录有程序的记录介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种激光照射装置、信息处理方法和可读取地记录有程序的记录介质。激光照射装置包括激光光源，还包括进行可动零部件的故障预测的故障预测部，所述可动零部件在利用所述激光光源进行基板加工时被使用，所述故障预测部取得所述可动零部件动作时的物理量，并根据所取得的物理量来推导所述可动零部件的故障时期。障时期。障时期。

【技术实现步骤摘要】
激光照射装置、信息处理方法和可读取地记录有程序的记录介质


[0001]本专利技术涉及激光照射装置、信息处理方法和可读取地记录有程序的记录介质。

技术介绍

[0002]已知用于形成多晶硅薄膜的激光退火装置(例如专利文献1)。专利文献1中记载的激光退火装置包含对激光脉冲的波形进行整形的波形整形装置，由该波形整形装置成形为线状的激光照射到非晶硅膜上，由此形成多晶硅薄膜。
[0003]先行技术文献
[0004]专利文献1：日本特开2012
‑
15545号公报

技术实现思路

[0005]专利技术要解决的课题
[0006]但是，专利文献1的激光退火装置并没有考虑该激光退火装置所含的各种零部件的故障预测这一点。
[0007]本专利技术鉴于上述情况而做出，目的在于提供能够有效率地进行激光照射装置所含零部件的故障预测的激光照射装置等。
[0008]用于解决课题的手段
[0009]本专利技术的激光照射装置，其包括激光光源，还包括进行可动零部件的故障预测的故障预测部，该可动零部件在利用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光照射装置，其包括激光光源，其特征在于，还包括进行可动零部件的故障预测的故障预测部，该可动零部件在利用所述激光光源进行基板加工时被使用，所述故障预测部取得所述可动零部件动作时的物理量，并根据所取得的物理量推导所述可动零部件的故障时期。2.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，所述可动零部件设有检测所述可动零部件动作时的物理量的检测部，所述检测部包含温度传感器和振动传感器中的至少任意一者，所述故障预测部从所述检测部取得所述可动零部件动作时的物理量。3.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，所述故障预测部通过向学习模型输入所取得的物理量来推导所述可动零部件的故障时期，所述学习模型在输入了所述可动零部件动作时的物理量的情况下输出该可动零部件的距离发生故障的时间。4.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，所述故障预测部取得所述可动零部件的累计动作时间，并根据所取得的累计动作时间和物理量推导所述可动零部件的故障时期。5.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，所述可动零部件是吸入被封入所述激光光源的腔内的气体的真空泵，所述故障预测部取得从所述真空泵开始气体吸入时起、至...

【专利技术属性】
技术研发人员：大森贤一，太田佑三郎，松下玲，
申请(专利权)人：JSW阿克迪纳系统有限公司，
类型：发明
国别省市：